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纹理和蚀刻浴

在制造光伏电池时,单晶或多晶硅被加工成块。这些块(也称为锭)通过线锯制成所需厚度的晶圆。在此锯切过程中,由于机械应力,晶圆表面会产生锯切损伤和残留物。在进一步加工之前,必须通过蚀刻和纹理化去除这些,因为受损层包含大量机械诱导的晶体缺陷。缩短了太阳能电池的寿命。

通过对晶圆表面的纹理化处理,还会产生粗糙的、结构优化的表面,从而吸收更多的光,并显著影响后续电池的效率。根据晶圆的工艺和类型,然后进行酸性或碱性蚀刻,使用氢氧化钠或氢氧化钾,以及硝酸、硫酸和氢氟酸。接下来是中和和去除任何残留物。

液体声波® 在氢氧化钾中的声速测量

应用

晶圆在碱性或酸性蚀刻浴中被清洗,去除锯切损伤并进行纹理化处理。碱性蚀刻溶液,如KOH、NaOH或TMAH用于硅的各向异性蚀刻,而酸性蚀刻溶液,如HF和HNO3,用于各向同性蚀刻。通过纹理浴优化晶圆的表面结构,从而产生一种光阱并提高能量吸收能力。在工艺过程中,蚀刻深度或去除量通过浴液浓度和停留时间进行控制。

由于在纹理化过程中会消耗和排出,酸性或碱性蚀刻溶液以及水必须不断监测,并在必要时重新加药。借助 液体声波® 在线测量技术 可以确定当前的蚀刻浴浓度,并通过控制系统管理再加药。这样可以确保持续一致的产品质量。

安装

液体声波® 浸入式传感器 可以轻松安装在浴液循环流的管道中或直接安装在纹理浴中。 液体声波® 控制器30 可以连接多达4个传感器。因此,可以同时监控多个测量点。

典型测量范围:
KOH浓度范围:0至55 m% | 温度范围:80至120°C

客户利益

坚固的传感器结构和特殊材料的选择,如Halar或PFA,确保系统的长时间运行。 液体声波®减少耗时的实验室测量:

  • 时间消耗:每天1小时

通过避免过量和不足的加药,还可以节省材料成本。

液体声波® 确保蚀刻浴浓度的精确分析和永久数据记录。 这样可以控制蚀刻溶液的再添加,以保持蚀刻浴的最佳浓度并确保最佳效率。 这样可以避免蚀刻溶液的过量和不足。

下载

纹理和蚀刻浴

应用报告

纹理和蚀刻浴 | 2 MB