在制造光伏电池时，单晶或多晶硅被进一步加工成块。这些块，也称为锭，通过线锯切割成所需厚度的晶圆。在这个锯切过程中，由于机械应力，晶圆表面会产生锯切损伤和残留物。在进一步加工之前，必须通过蚀刻和纹理化去除这些，因为受损层包含大量机械诱导的晶体缺陷，这缩短了太阳能电池的寿命。
通过对晶圆表面的纹理化处理，还可以形成粗糙的、结构优化的表面，从而吸收更多光线，并显著影响后续电池的效率。根据晶圆的工艺和类型，然后进行酸性或碱性蚀刻，使用碳酸钠或氢氧化钾以及硝酸、硫酸和氢氟酸。接下来是中和和去除任何残留物。
LiquiSonic® 在氢氧化钾溶液中测量声速
应用
晶圆在碱性或酸性蚀刻浴中清洗，去除锯切损伤并进行纹理化处理。碱性蚀刻溶液，如KOH、NaOH或TMAH用于硅的各向异性蚀刻，而酸性蚀刻溶液，如HF和HNO3，用于各向同性蚀刻。通过纹理浴优化晶圆的表面结构，从而产生一种光陷阱并提高能量吸收能力。在过程中，蚀刻深度或去除量通过浴液浓度和停留时间进行控制。
由于在纹理化过程中消耗和排放，酸性或碱性蚀刻溶液以及水必须不断监测并在必要时补充。借助 LiquiSonic® 在线测量技术 可以确定当前蚀刻浴浓度，并通过控制系统进行补充。这确保了持续稳定的产品质量。
安装
这些 LiquiSonic® 浸入式传感器 可以轻松安装在浴循环流的管道中或直接安装在纹理浴中。 LiquiSonic® 控制器30 可以连接多达4个传感器。因此，可以同时监测多个测量点。
典型测量范围：
KOH浓度范围：0到55 m% | 温度范围：80到120°C
客户收益
坚固的传感器结构和特殊材料的选择，如Halar或PFA，确保系统的长时间运行。 LiquiSonic®减少耗时的实验室测量：
- 时间投入：每天1小时
通过避免过量和不足剂量，还可以节省材料成本。
