在制造光伏电池时，单晶或多晶硅被加工成块。这些块（也称为锭）通过线锯制成所需厚度的晶圆。在此锯切过程中，由于机械应力，晶圆表面会产生锯切损伤和残留物。在进一步加工之前，必须通过蚀刻和纹理化去除这些，因为受损层包含大量机械诱导的晶体缺陷。缩短了太阳能电池的寿命。
通过对晶圆表面的纹理化处理，还会产生粗糙的、结构优化的表面，从而吸收更多的光，并显著影响后续电池的效率。根据晶圆的工艺和类型，然后进行酸性或碱性蚀刻，使用氢氧化钠或氢氧化钾，以及硝酸、硫酸和氢氟酸。接下来是中和和去除任何残留物。
液体声波® 在氢氧化钾中的声速测量
应用
晶圆在碱性或酸性蚀刻浴中被清洗，去除锯切损伤并进行纹理化处理。碱性蚀刻溶液，如KOH、NaOH或TMAH用于硅的各向异性蚀刻，而酸性蚀刻溶液，如HF和HNO3, beim isotropen Ätzen genutzt werden. Durch die Texturbäder wird die Oberflächenstruktur des Wafers optimiert, sodass eine Art Lichtfalle erzeugt und die Energieaufnahmekapazität erhöht wird. Während des Prozess wird die Ätztiefe bzw. der Abtrag über die Badkonzentration sowie die Verweilzeit gesteuert.
由于在纹理化过程中会消耗和排出，酸性或碱性蚀刻溶液以及水必须不断监测，并在必要时重新加药。借助 液体声波® 在线测量技术 可以确定当前的蚀刻浴浓度，并通过控制系统管理再加药。这样可以确保持续一致的产品质量。
安装
该 液体声波® 浸入式传感器 可以轻松安装在浴液循环流的管道中或直接安装在纹理浴中。 液体声波® 控制器30 可以连接多达4个传感器。因此，可以同时监控多个测量点。
典型测量范围：
Konzentrationsbereich KOH: 0 bis 55 m% | Temperaturbereich: 80 to 120 °C
客户利益
坚固的传感器结构和特殊材料的选择，如Halar或PFA，确保系统的长时间运行。 液体声波®减少耗时的实验室测量：
- 时间消耗：每天1小时
通过避免过量和不足的加药，还可以节省材料成本。
