纹理和蚀刻浴
在光伏电池的制造过程中,单晶或多晶硅被加工成块。这些块,也称为锭,通过线锯切割成所需厚度的晶圆。在这个锯切过程中,由于机械应力,晶圆表面会产生锯切损伤和残留物。在进一步加工之前,必须通过蚀刻和纹理化去除这些,因为受损的层包含大量机械诱导的晶体缺陷缩短了太阳能电池的寿命。
通过对晶圆表面的纹理化,还产生了一种粗糙的、结构优化的表面,可以吸收更多的光,从而显著影响后续电池的效率。根据晶圆的工艺和类型,然后进行酸性或碱性蚀刻,使用氢氧化钠或氢氧化钾,或硝酸、硫酸以及氢氟酸。接下来是中和和去除任何残留物。
力声® 在氢氧化钾中的声速测量
晶圆在碱性或酸性蚀刻浴中被清洗、去除锯切损伤并进行纹理化。碱性蚀刻溶液,如氢氧化钾、氢氧化钠或TMAH用于硅的各向异性蚀刻,而酸性蚀刻溶液,如氢氟酸和硝酸3,用于各向同性蚀刻。通过纹理浴优化了晶圆的表面结构,从而产生了一种光阱并提高了能量吸收能力。在过程中,蚀刻深度和去除量通过浴液浓度和停留时间来控制。
由于在纹理化过程中消耗和排放,酸性或碱性蚀刻溶液以及水必须不断监测并在必要时进行补充。借助 力声® 在线测量技术 可以确定当前蚀刻浴的浓度,并通过控制系统进行补充剂量的控制。这样可以确保持续一致的产品质量。
该 力声® 浸入式传感器 可以轻松安装在浴循环流的管道中或直接安装在纹理浴中。该 力声® 控制器30 可以连接多达4个传感器。因此,可以同时监测多个测量点。
典型测量范围:氢氧化钾浓度范围:0至55 m% | 温度范围:80至120 °C
坚固的传感器结构和特殊材料的选择,如Halar或PFA,确保了系统的长时间运行。 力声®减少耗时的实验室测量:
通过避免过量和不足剂量,还可以节省材料成本。
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力声® 确保对蚀刻浴浓度进行精确分析,并持续记录数据。这样可以控制蚀刻溶液的再加注,以保持蚀刻浴的最佳浓度并确保最佳效率。这样可以避免蚀刻溶液的过量和不足。
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