太陽電池を製造する場合、単結晶シリコンまたは多結晶シリコンはさらにブロックに加工されます。インゴットとも呼ばれるこれらのブロックは、ワイヤーソーイングを使用して目的の厚さのウェーハを製造するために使用されます。このソーイングプロセス中に、ウェーハ表面に機械的ストレスが発生し、ソーイングによる損傷や残留物が発生します。損傷層には機械的に誘発された結晶欠陥が大量に蓄積されており、これにより太陽電池の寿命が短くなるため、これらはさらなる処理の前にエッチングとテクスチャリングによって除去する必要があります。
ウェーハの表面にテクスチャリングを施すと、構造的に最適化された粗い表面が作成され、より多くの光を吸収するため、後続のセルの効率に大きな影響を与えます。次に、プロセスとウェーハの種類に応じて、苛性ソーダ、水酸化カリウム、硝酸、硫酸、またはフッ化水素酸を使用して酸またはアルカリエッチングが実行されます。続いて中和し、残留物を除去します。
リキソニック® 水酸化カリウム溶液中での音速測定
応用
ウェーハはアルカリ性または酸性のエッチング浴で洗浄され、鋸による損傷がなくなり、テクスチャーが付けられます。シリコンの異方性エッチングにはKOH、NaOH、TMAHなどの塩基性エッチング液が使用され、HFやHNOなどの酸性エッチング液が使用されます。3、等方性エッチングに使用されます。テクスチャーバスはウェーハの表面構造を最適化し、一種の光トラップを作り出し、エネルギー吸収能力を高めます。プロセス中、エッチングの深さまたは除去は、浴の濃度と滞留時間によって制御されます。
テクスチャリング中の消費と排出のため、酸性またはアルカリ性のエッチング溶液と水は常に監視し、必要に応じて再投与する必要があります。の助けを借りて、 リキソニック® インライン測定技術 現在のエッチング浴の濃度を決定することができ、その後の照射量は制御システムを介して制御できます。これにより、一貫した製品品質が保証されます。
インストール
の リキソニック® ダイビングセンサー バス循環流の配管またはテクスチャーバスに直接簡単に取り付けることができます。の リキソニック® コントローラー 30 最大 4 つのセンサーに接続できます。これにより、複数の測定点を同時に監視することが可能になります。
一般的な測定範囲:
KOH 濃度範囲: 0 ～ 55 m% |温度範囲：80～120℃
顧客のメリット
堅牢なセンサー構造と Halar や PFA などの特殊な材料の選択により、システムの長いプロセス寿命が保証されます。 リキソニック®時間のかかる実験室での測定を削減します。
- 所要時間：1日あたり1時間
過剰投与や過少投与を避けることで、材料費も節約されます。
リキソニック® 永続的なデータ記録により、エッチング浴の濃度を正確に分析できます。これにより、エッチング浴を最適な濃度に保ち、可能な限り最高の効率を確保するために、その後のエッチング溶液の投与量を制御することができます。このようにして、エッチング溶液の過少投与および過剰投与を回避することができる。
