濃度

および密度

インライン測定

無料ウェビナーにご参加いただき、酸および鉄塩濃度のインライン監視が、いかに安定した浴品質と一貫した酸洗い結果に寄与するかをご確認ください。酸洗い設備向けのまったく新しい浴技術をご紹介し、LiquiSonic^® がどのように効率的で安定した酸洗いプロセスに貢献するかをご紹介します。プロセスの逸脱を早期に検知し、手動サンプリングによる遅延を低減し、より的確な酸添加を支援する方法をご確認ください。

SensoTechは、SC1、SC2、BOE/BHFなどの湿式化学半導体プロセス向けに特別設計された新しい超音波センサーを開発しました。このシステムは、稼働中のプロセス内で化学濃度をリアルタイム測定でき、ウェハ製造における繊細な洗浄およびエッチング工程の安定した制御を支援します。

次回のウェビナーでは、半導体プロセスにおける重要な化学薬品の濃度をLiquiSonic^® Sensor SCを用いて、リアルタイムで温度補償付きかつメンテナンスフリーでプロセス内を直接監視できる方法をご紹介します。高精度なインライン測定が、可視性の向上、より安定した運用、一貫して高い製品品質にどのように寄与するかをお見せします。ぜひ無料でウェビナーにご登録いただき、当社技術が設備運用にもたらす具体的なメリットをご確認ください。