LiquiSonic® misst die HF-Konzentration mit Hilfe der Schallgeschwindigkeit in der Prozessflüssigkeit. Ein Ultraschallimpuls durchläuft die Flüssigkeit zwischen Sender und Empfänger; aus der Laufzeit wird die Konzentration in Echtzeit berechnet. Das Verfahren ist unabhängig von Farbe, Trübung oder Leitfähigkeit der Flüssigkeit und arbeitet direkt im Prozess, ohne Probenentnahme.

Für HF-Anwendungen kommt das LiquiSonic® Messsystem zum Einsatz. Es besteht aus Sensor und Controller und wird direkt in die Hauptleitung der Anlage eingebaut.

Die Messgenauigkeit liegt bei ± 0,05 wt%. Diese Präzision wird durch die direkte Schallgeschwindigkeitsmessung erreicht, kombiniert mit einer integrierten Temperaturkompensation, die Schwankungen der Prozesstemperatur ausgleicht.

SensoTech-Sensoren werden je nach Einsatzgebiet mit korrosionsbeständigen Sondermaterialien ausgeführt, die auf die jeweilige Prozesschemie abgestimmt sind. Bei allen medienberührenden Komponenten werden HF-resistente Materialien eingesetzt, um Langzeitstabilität auch bei aggressiven Medien sicherzustellen.

Durch Inline-Messung von LiquiSonic® direkt in der Prozessleitung entfällt die manuelle Probenahme vollständig. Das reduziert nicht nur den Arbeitsaufwand, sondern vor allem das Sicherheitsrisiko für Personal, das sonst in direkten お問い合わせ mit der HF-haltigen Prozessflüssigkeit kommen würde.

Ja, LiquiSonic® liefert kontinuierlich aktualisierte Messwerte mehrmals pro Sekunde, die online angezeigt, gespeichert und ausgewertet werden. Im Gegensatz dazu liefern Labor-Analysen nur punktuelle Momentaufnahmen.

Die Sensoren werden direkt in die vorhandene Hauptleitung integriert. Das reduziert den Installationsaufwand gegenüber alternativen Analyseverfahren erheblich.

Die Sensoren arbeiten durch ihre robuste, verschleißfreie Bauweise weitgehend wartungsfrei und ohne Verbrauchsmaterialien. Zudem werden alle medienberührenden Komponenten aus HF-resistenten Materialien gefertigt. Dadurch entfällt die regelmäßige Rekalibrierung, wie sie bei herkömmlichen Messverfahren erforderlich ist.

Ja, das LiquiSonic® Messsystem stellt die Messdaten digital zur Verfügung und kann an übergeordnete Leitsysteme angebunden werden. Grenzwertüber- oder -unterschreitungen werden dabei sofort signalisiert, sodass sie in bestehende Sicherheitsabläufe einfließen können.

Schwankungen der HF-Konzentration verändern die Reaktionsbedingungen im Prozess und können sowohl die Produktqualität als auch die Anlagensicherheit beeinträchtigen, etwa durch erhöhten Flusssäureverbrauch, verstärkte Korrosion oder ein steigendes Leckagerisiko. Eine kontinuierliche Messung macht solche Abweichungen sofort sichtbar und beugt Risiken vor.

Kontinuierliche Inline-Messung mit LiquiSonic® erkennt Änderungen in der stofflichen Zusammensetzung unmittelbar, bevor sie kritisch werden. Dadurch lässt sich frühzeitig gegensteuern und das Risiko eines unkontrollierten Reaktionsverlaufs („Acid Runaway“) deutlich reduzieren.

Durch permanente Konzentrations- und Phasenüberwachung mit LiquiSonic® lassen sich Abweichungen und Leckagen frühzeitig erkennen, bevor Flusssäure unbemerkt in nachgelagerte Kreisläufe übertritt. Eine lückenlose Online-Datenaufzeichnung unterstützt zusätzlich die Rückverfolgbarkeit im Störungsfall.

Die LiquiSonic® Sensoren werden direkt in der Hauptleitung der Alkylierungsanlage installiert und messen simultan die Konzentration von Flusssäure, Wasser und säurelöslichen Ölen mit einer Genauigkeit von ± 0,05 wt%. Das ermöglicht eine optimale Produktqualität bei minimalem Flusssäureverbrauch und reduziert das Risiko von Acid Runaways, Korrosion und Leckagen.

In der Halbleiterfertigung überwacht LiquiSonic® die HF-Konzentration in Ätz- und Reinigungsprozessen wie SC1, SC2 oder BOE/BHF in Echtzeit und temperaturkompensiert. So lässt sich die Ätzlösung präzise nachdosieren und im optimalen Konzentrationsbereich halten, was eine Über- oder Unterätzung des Wafers vermeidet.