Wie kann man Flusssäure inline messen?

LiquiSonic® misst die HF-Konzentration mit Hilfe der Schallgeschwindigkeit in der Prozessflüssigkeit. Ein Ultraschallimpuls durchläuft die Flüssigkeit zwischen Sender und Empfänger; aus der Laufzeit wird die Konzentration in Echtzeit berechnet. Das Verfahren ist unabhängig von Farbe, Trübung oder Leitfähigkeit der Flüssigkeit und arbeitet direkt im Prozess, ohne Probenentnahme.

Mit welchem Sensor kann man HF-Konzentration messen?

Für HF-Anwendungen kommt das LiquiSonic® Messsystem zum Einsatz. Es besteht aus Sensor und Controller und wird direkt in die Hauptleitung der Anlage eingebaut.

Wie genau ist die Konzentrationsmessung mit LiquiSonic®?

Die Messgenauigkeit liegt bei ± 0,05 wt%. Diese Präzision wird durch die direkte Schallgeschwindigkeitsmessung erreicht, kombiniert mit einer integrierten Temperaturkompensation, die Schwankungen der Prozesstemperatur ausgleicht.

Welche Werkstoffe sind beständig gegen Flusssäure?

SensoTech-Sensoren werden je nach Einsatzgebiet mit korrosionsbeständigen Sondermaterialien ausgeführt, die auf die jeweilige Prozesschemie abgestimmt sind. Bei allen medienberührenden Komponenten werden HF-resistente Materialien eingesetzt, um Langzeitstabilität auch bei aggressiven Medien sicherzustellen.

Wie lassen sich Laborproben von Flusssäure vermeiden?

Durch Inline-Messung von LiquiSonic® direkt in der Prozessleitung entfällt die manuelle Probenahme vollständig. Das reduziert nicht nur den Arbeitsaufwand, sondern vor allem das Sicherheitsrisiko für Personal, das sonst in direkten Kontakt mit der HF-haltigen Prozessflüssigkeit kommen würde.

Kann HF-Konzentration kontinuierlich gemessen werden?

Ja, LiquiSonic® liefert kontinuierlich aktualisierte Messwerte mehrmals pro Sekunde, die online angezeigt, gespeichert und ausgewertet werden. Im Gegensatz dazu liefern Labor-Analysen nur punktuelle Momentaufnahmen.

Wie aufwendig ist die Inbetriebnahme des Messsystems?

Die Sensoren werden direkt in die vorhandene Hauptleitung integriert. Das reduziert den Installationsaufwand gegenüber alternativen Analyseverfahren erheblich.

Wie hoch ist der Wartungsaufwand bei der Flusssäuremessung?

Die Sensoren arbeiten durch ihre robuste, verschleißfreie Bauweise weitgehend wartungsfrei und ohne Verbrauchsmaterialien. Zudem werden alle medienberührenden Komponenten aus HF-resistenten Materialien gefertigt. Dadurch entfällt die regelmäßige Rekalibrierung, wie sie bei herkömmlichen Messverfahren erforderlich ist.

Lässt sich LiquiSonic® in bestehende Leit- und Sicherheitssysteme einbinden?

Ja, das LiquiSonic® Messsystem stellt die Messdaten digital zur Verfügung und kann an übergeordnete Leitsysteme angebunden werden. Grenzwertüber- oder -unterschreitungen werden dabei sofort signalisiert, sodass sie in bestehende Sicherheitsabläufe einfließen können.

Was passiert bei Konzentrationsschwankungen im Flusssäure-Bad?

Schwankungen der HF-Konzentration verändern die Reaktionsbedingungen im Prozess und können sowohl die Produktqualität als auch die Anlagensicherheit beeinträchtigen, etwa durch erhöhten Flusssäureverbrauch, verstärkte Korrosion oder ein steigendes Leckagerisiko. Eine kontinuierliche Messung macht solche Abweichungen sofort sichtbar und beugt Risiken vor.

Wie können Acid Runaways verhindert werden?

Kontinuierliche Inline-Messung mit LiquiSonic® erkennt Änderungen in der stofflichen Zusammensetzung unmittelbar, bevor sie kritisch werden. Dadurch lässt sich frühzeitig gegensteuern und das Risiko eines unkontrollierten Reaktionsverlaufs („Acid Runaway“) deutlich reduzieren.

Wie verhindert man, dass Flusssäure in Sekundärkreisläufe gelangt?

Durch permanente Konzentrations- und Phasenüberwachung mit LiquiSonic® lassen sich Abweichungen und Leckagen frühzeitig erkennen, bevor Flusssäure unbemerkt in nachgelagerte Kreisläufe übertritt. Eine lückenlose Online-Datenaufzeichnung unterstützt zusätzlich die Rückverfolgbarkeit im Störungsfall.

Wie wird HF in Alkylierungsanlagen überwacht?

Die LiquiSonic® Sensoren werden direkt in der Hauptleitung der Alkylierungsanlage installiert und messen simultan die Konzentration von Flusssäure, Wasser und säurelöslichen Ölen mit einer Genauigkeit von ± 0,05 wt%. Das ermöglicht eine optimale Produktqualität bei minimalem Flusssäureverbrauch und reduziert das Risiko von Acid Runaways, Korrosion und Leckagen.

Wie kann Flusssäure in Ätzbädern in der Halbleiterfertigung kontrolliert werden?

In der Halbleiterfertigung überwacht LiquiSonic® die HF-Konzentration in Ätz- und Reinigungsprozessen wie SC1, SC2 oder BOE/BHF in Echtzeit und temperaturkompensiert. So lässt sich die Ätzlösung präzise nachdosieren und im optimalen Konzentrationsbereich halten, was eine Über- oder Unterätzung des Wafers vermeidet.

氢氟酸浓度测量：
安全、精确、在线

采用耐氢氟酸特殊材料进行HF浓度测量，精度达±0.05 wt%。

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氢氟酸（HF）是氟化氢的水溶液，在化学中具有特殊地位：虽然它属于中等强酸，但由于其极高毒性以及能够溶解玻璃和硅酸盐材料的能力，它是最危险的工业化学品之一。同时，氢氟酸在某些关键行业中又不可或缺，例如半导体生产、石化烷基化装置或金属处理。在这些应用中，对HF浓度的精确监测不是可选项，而是确保过程安全、产品质量和设备保护的前提。LiquiSonic^® 正是为满足这些要求而开发，采用能够耐受氢氟酸的特殊涂层和测量原理。

HF会腐蚀玻璃、石英和硅酸盐——传统传感器和电极无法使用！
即使是少量也存在急性生命危险——人工取样具有安全风险！
浓度会在过程中发生变化——没有测量就无法实现稳定工艺！

LiquiSonic 如何^® 测量HF浓度

LiquiSonic^® 开发时特别考虑了在氢氟酸工艺中的安全应用。所有接液部件可选用PFA、ETFE或其他耐HF材料制成。不使用任何无法承受该酸腐蚀的标准材料。

例如，在石化烷基化装置中，该系统可同时测量HF浓度、含水量和ASO含量，这三项是工艺控制和安全的关键参数。可预先定义的限值可确保系统在出现关键偏差时立即报警。此外，LiquiSonic^®还可无缝集成到现有过程控制系统中。

我们的测量系统可连续、全自动运行。这意味着完全无需人工取样。同时，精确的浓度数据还能实现针对性、按需补加氢氟酸，从而显著降低消耗和运营成本。

典型挑战

材料腐蚀性极强——标准材料无法胜任
毒性高且需保护人员——人工取样风险极高
浓度漂移——组成会持续变化
安全关键反应——例如酸失控反应
泄漏风险——HF可能进入二级回路

我们的解决方案

所有接液部件均采用耐HF材料
全自动在线测量
连续实时测量
可定义限值并可直接集成到过程控制系统
即使最微小的浓度变化也能被检测到

应用示例

氢氟酸在全球一些要求最高的工业过程中不可或缺。这也正是为什么精确监测至关重要。在石化烷基化装置中，HF作为催化剂用于生产高辛烷值燃料；即使含水量发生微小变化，也可能导致不可控的酸反应。在半导体制造中，蚀刻槽中HF浓度的精确性决定了每一片晶圆的质量。而在所有通过管道和换热器输送HF的场合，二级回路中未被发现的泄漏都可能在短时间内造成严重损害。这些应用的共同点在于：对HF浓度的精确监测不是可选项，而是确保过程安全、产品质量和设备保护的前提。