LiquiSonic® mesure la concentration de HF en utilisant la vitesse du son dans le liquide de procédé. Une impulsion ultrasonore traverse le liquide entre l'émetteur et le récepteur ; La concentration est calculée en temps réel à partir du temps de fonctionnement. Le procédé est indépendant de la couleur, de la turbidité ou de la conductivité du liquide et travaille directement dans le procédé, sans prélèvement d'échantillons.

Pour les applications HF, le système de mesure LiquiSonic® est utilisé. Il se compose d’un capteur et d’un contrôleur et est installé directement dans la conduite principale de l’installation.

La précision de mesure est de ± 0,05 % en poids. Cette précision est obtenue grâce à la mesure directe de la vitesse du son, combinée à une compensation de température intégrée qui compense les fluctuations de la température du procédé.

Les capteurs SensoTech sont réalisés, selon le domaine d’application, avec des matériaux spéciaux résistants à la corrosion, adaptés à la chimie du procédé concerné. Pour tous les composants en contact avec le fluide, des matériaux résistants au HF sont utilisés afin de garantir une stabilité à long terme, même avec des fluides agressifs.

Grâce à la mesure en ligne de LiquiSonic® directement dans la conduite de process, le prélèvement manuel d’échantillons est entièrement supprimé. Cela réduit non seulement la charge de travail, mais surtout le risque pour la sécurité du personnel, qui serait autrement en contact direct avec le fluide de process contenant du HF.

Oui, LiquiSonic® fournit des valeurs de mesure continuellement mises à jour plusieurs fois par seconde, qui peuvent être affichées, enregistrées et analysées en ligne. En revanche, les analyses de laboratoire ne fournissent que des instantanés ponctuels.

Les capteurs sont intégrés directement dans la conduite principale existante. Cela réduit considérablement les efforts d’installation par rapport aux méthodes d’analyse alternatives.

Grâce à leur conception robuste et sans usure, les capteurs fonctionnent pratiquement sans maintenance et sans consommables. De plus, tous les composants en contact avec le fluide sont fabriqués à partir de matériaux résistants au HF. Il n’est donc pas nécessaire d’effectuer des recalibrages réguliers, comme c’est le cas avec les méthodes de mesure conventionnelles.

Oui, le système de mesure LiquiSonic® met les données de mesure à disposition sous forme numérique et peut être raccordé à des systèmes de contrôle-commande supérieurs. Les dépassements ou sous-dépassements de seuil sont immédiatement signalés, de sorte qu’ils peuvent être intégrés aux procédures de sécurité existantes.

Les fluctuations de la concentration en HF modifient les conditions de réaction dans le procédé et peuvent affecter à la fois la qualité du produit et la sécurité de l’installation, par exemple par une consommation accrue d’acide fluorhydrique, une corrosion renforcée ou un risque croissant de fuite. Une mesure continue rend immédiatement visibles de tels écarts et permet de prévenir les risques.

La mesure en ligne continue avec LiquiSonic® détecte immédiatement les changements dans la composition du milieu avant qu’ils ne deviennent critiques. Il est ainsi possible d’agir suffisamment tôt et de réduire considérablement le risque d’un déroulement incontrôlé de la réaction (« Acid Runaway »).

Grâce à une surveillance permanente de la concentration et des phases avec LiquiSonic®, les écarts et les fuites peuvent être détectés à un stade précoce, avant que l’acide fluorhydrique ne passe inaperçu dans les circuits en aval. Un enregistrement continu des données en ligne facilite en outre la traçabilité en cas d’incident.

Les capteurs LiquiSonic® sont installés directement dans la conduite principale de l’unité d’alkylation et mesurent simultanément la concentration d’acide fluorhydrique, d’eau et d’huiles solubles dans l’acide avec une précision de ± 0,05 % en poids. Cela permet d’obtenir une qualité de produit optimale avec une consommation minimale d’acide fluorhydrique et réduit le risque d’acid runaways, de corrosion et de fuites.

Dans la fabrication des semi-conducteurs, LiquiSonic® surveille en temps réel et avec compensation de température la concentration en HF dans les procédés de gravure et de nettoyage tels que SC1, SC2 ou BOE/BHF. La solution de gravure peut ainsi être dosée avec précision et maintenue dans la plage de concentration optimale, ce qui évite une surgravure ou une sous-gravure de la plaquette.