Mesure des concentrations
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Industrie des semi-conducteurs
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Industrie des semi-conducteurs
Surveillance de la concentration pour les processus de semi-conducteurs – pour une production efficace, des processus stables et une qualité optimale.
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Jusqu'à ±0,02 % en poids
Mesure en temps réel
Sans entretien
Économie de coûts
Défis liés à la mesure de la concentration dans les processus de semi-conducteurs
Dans la production de semi-conducteurs, le rapport exact des concentrations chimiques est crucial, mais les analyses classiques en laboratoire fournissent souvent des résultats trop tard. Avec LiquiSonique® SensoTech permet une surveillance fiable en temps réel qui peut être facilement intégrée aux processus existants. Le système fournit des données de mesure précises sans maintenance, augmentant ainsi la fiabilité et l'efficacité du processus.
défis
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Concentrations chimiques hors plage cible
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Des analyses de laboratoire chronophages
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Aucune information immédiate et fiable sur la composition chimique
Solution : LiquiSonic®
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Surveillance claire avec LiquiSonic®
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Affichage instantané de la concentration chimique
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Intégration transparente dans les systèmes existants
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Sans entretien et sans consommables
Vos avantages
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Résultats de mesure traçables et fiables
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Résultats de mesure en temps réel
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Capteurs totalement sans entretien et matériaux résistants aux produits chimiques
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Intégration facile dans des systèmes de toutes tailles et configurations
Notre solution : Le LiquiSonic® Système de mesure
Surveiller la concentration en temps réel
LiquiSonique® combine la technologie moderne des ultrasons avec des mesures compensées en température pour fournir des résultats précis pour les mélanges chimiques critiques dans la fabrication de semi-conducteurs. La surveillance en temps réel garantit une qualité de produit stable, réduit les écarts et fournit des données pour l'optimisation des processus. Cela réduit les coûts d’exploitation et la consommation de produits chimiques, tandis que la fiabilité et l’efficacité du processus augmentent.
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Assurer la qualité : La surveillance en temps réel garantit des résultats précis sans écarts.
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Réduisez les coûts : Des processus optimisés pour une fiabilité maximale et moins Consommation.
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Augmenter l'efficacité : Qualité du produit supérieure coûts d’exploitation réduits.
Détails techniques et spécifications
Principe de mesure par ultrasons
La vitesse du son dans les liquides est directement liée à la concentration des substances dissoutes. Des mesures temporelles de haute précision permettent de déterminer avec précision la concentration.
Intégration de conductivité
Dans les systèmes à trois composants, la conductivité est utilisée comme deuxième paramètre physique pour déterminer clairement les deux concentrations.
Compensation de température
Deux capteurs PT1000 intégrés à la cellule de mesure assurent une compensation automatique de la température et donc des valeurs mesurées précises dans toutes les conditions. En détectant directement la température du processus, la vitesse du son est corrigée en temps réel, améliorant ainsi la stabilité et la précision même en cas de fluctuations.
Avantage économique
La mesure de concentration en temps réel augmente Qualité, efficacité et fiabilité, tandis qu'en même temps Les coûts et la consommation de ressources diminuent :
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Coûts d’exploitation réduits grâce à une moindre consommation de produits chimiques et moins d’analyses en laboratoire
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Moins de rebuts et de retouches, car les écarts peuvent être identifiés et corrigés immédiatement
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Qualité du produit stable garantit la compétitivité et réduit les plaintes
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Des processus plus efficaces grâce à des données en temps réel au lieu de mesures de laboratoire différées
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Disponibilité accrue du système grâce à des capteurs sans entretien et sans consommables
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Optimisation des processus grâce à des données précises conduit à une amélioration continue et à une meilleure utilisation des ressources
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Retour sur investissement rapide grâce aux économies d'énergie et de coûts d'exploitation
Spécifications techniques
Précision des mesures | Jusqu'à ±0,02 % en poids |
Plage de température | 5°C à 60°C |
Zone d'impression | Jusqu'à 4 bars |
Matériau et revêtement | PFA |
Transmission numérique | Jusqu'à 1 000 m (plus sur demande) |
Interfaces | 4-20 mA, Profibus, Ethernet, Modbus, bus de terrain, ... |
Classe de protection | IP65 |
étalonnage | Étalonnage unique en usine |
entretien | Totalement sans entretien |
Exemples d'applications
Typique étapes du processus chimique et le nôtre utilisé pour ça Solutions de processus pour les processus de nettoyage et de gravure ainsi que les processus spéciaux de gravure et de développement :
SC-1 (APM)
NH4OHH2O2
SC-2 (HPM)
HCI/H2O2
SPM (Piranha)
H2DONC4/H2O2
Élimination des oxydes (DHF)
HF
Élimination des oxydes (BOE/BHF)
HF/NH4F
Gravure Si₃N₄
H3P.O.4
Gravure isotrope du silicium
IC/ORL3
Gravure anisotrope du silicium (MEMS)
KOH/Si
TMAH/Si
Développement de photorésist
TMAH
Acide nitrique / acide acétique
ORL3/CH3COOH
HF/HCl
HF/HCl
Histoires de réussite et références :
Des études de cas détaillées et des références clients sont disponibles auprès de notre équipe commerciale. Contactez-nous pour des exemples d’applications spécifiques de votre secteur.
Les principaux avantages en un coup d'œil
Qualité constante
La surveillance en temps réel évite les écarts et garantit une qualité constante des produits.
Économies de coûts
Moins de consommation de produits chimiques et des coûts d’exploitation réduits grâce à des processus optimisés.
Efficacité maximale
Les données en temps réel permettent des décisions plus rapides et des processus optimisés.
Sans entretien
Les capteurs sont résistants aux produits chimiques et ne nécessitent aucun consommable.
Questions fréquemment posées
SensoTech GmbH est une entreprise leader dans le domaine de la technologie de mesure de processus basée à Barleben, près de Magdebourg, en Allemagne. Nous développons et produisons des solutions innovantes pour surveiller et optimiser les processus industriels. Notre spécialisation réside dans la mesure précise des concentrations, densités et autres paramètres dans les liquides - en temps réel et directement pendant le processus.
Contrairement aux méthodes optiques, qui sont affectées par la couleur ou le voile, aux méthodes basées sur la conductivité, qui sont sensibles à la conductivité électrique, ou aux méthodes basées sur la densité, qui peuvent être perturbées par la température ou les bulles de gaz, les nôtres Procédure d'échographie indépendant de ces influences.
Le La technologie de mesure LiquiSonic® ne contient pas non plus de pièces mobiles ni de composants susceptibles de s'user ou de s'épuiser. Après l'installation, le système de mesure est donc totalement sans entretien et sans dérive.
Les capteurs offrent une transmission de signal numérique jusqu'à 1 000 m et permettent mesure en ligne continue sans prélèvement.
Notre système utilise la mesure du temps de transit par ultrasons pour déterminer la vitesse du son dans les liquides. Cette vitesse du son est directement corrélée à la concentration chimique et permet Précisions de mesure allant jusqu'à ±0,02 % en poids pour l'industrie des semi-conducteurs. La compensation de température intégrée garantit des résultats stables même dans des conditions de processus fluctuantes.
Le système fournit des résultats en temps réel. Il Plus de 30 mesures sont effectuées par seconde. Sur la base de ces mesures, vous obtenez une valeur mesurée actuelle toutes les secondes. Ce temps de réponse rapide permet un contrôle efficace des processus et une détection précoce des écarts.
Nos capteurs à semi-conducteurs fonctionnent de manière fiable en un seul Plage de température de 5°C à 60°C et des pressions jusqu'à 4 bars.
Oui, en combinant la mesure de la vitesse du son avec des grandeurs physiques supplémentaires (par exemple la conductivité). plusieurs composants être déterminés simultanément. Cela signifie que d'autres additifs utilisés dans la production de semi-conducteurs peuvent également être surveillés.
Le système de mesure des semi-conducteurs est totalement sans entretien. Il n'y a pas de pièces d'usure mécaniques, de joints ou de fenêtres optiques qui pourraient être attaquées. Un étalonnage régulier n'est pas nécessaire - les capteurs LiquiSonic® restent stables pendant des années.
Le système offre diverses interfaces numériques (par exemple Profibus, Ethernet/IP, Foundation Fieldbus) ainsi que des sorties analogiques 4-20 mA. L'intégration s'effectue facilement via des protocoles standardisés.
Puisque la vitesse du son est influencée par la température, notre LiquiSonic® Capteurs équipés de capteurs de température de haute précision. Cela permet l'influence de la température sur la mesure directement compensé devenir. Il n'est donc pas nécessaire d'intégrer des capteurs de température supplémentaires dans le processus des semi-conducteurs.
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