Medição de concentração
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Indústria de semicondutores
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Indústria de semicondutores
Monitoramento de concentração para processos de semicondutores – para produção eficiente, processos estáveis e a mais alta qualidade.
Visite nosso webinar gratuito sobre o tema Medição de concentração no Indústria de semicondutores em 20 de maio de 2026!
Até ±0,02% em peso
Medição em tempo real
Livre de manutenção
Economia de custos
Desafios na medição da concentração em processos semicondutores
Na produção de semicondutores, a proporção exata das concentrações químicas é crucial, mas as análises laboratoriais clássicas muitas vezes fornecem resultados tarde demais. Com Liqui Sonic® SensoTech permite monitoramento confiável em tempo real que pode ser facilmente integrado aos processos existentes. O sistema fornece dados de medição precisos sem manutenção, aumentando assim a confiabilidade e a eficiência do processo.
desafios
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Concentrações químicas fora da faixa alvo
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Análises laboratoriais demoradas
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Nenhuma informação imediata e confiável sobre a composição química
Solução: LiquiSonic®
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Monitoramento claro com LiquiSonic®
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Exibição instantânea da concentração química
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Integração perfeita em sistemas existentes
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Livre de manutenção e sem consumíveis
Suas vantagens
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Resultados de medição rastreáveis e confiáveis
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Resultados de medição em tempo real
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Sensores totalmente isentos de manutenção e materiais resistentes a produtos químicos
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Fácil integração em sistemas de qualquer tamanho e configuração
Nossa solução: O LiquiSonic® Sistema de medição
Monitore a concentração em tempo real
Liqui Sonic® combina tecnologia moderna de ultrassom com medição com compensação de temperatura para fornecer resultados precisos para misturas químicas críticas na fabricação de semicondutores. O monitoramento em tempo real garante qualidade estável do produto, reduz desvios e fornece dados para otimização de processos. Isto reduz os custos operacionais e o consumo de produtos químicos, enquanto a confiabilidade e a eficiência do processo aumentam.
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Garantindo qualidade: O monitoramento em tempo real garante resultados precisos e sem desvios.
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Reduzir custos: Processos otimizados para máxima confiabilidade e menos Consumo.
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Aumentar a eficiência: Maior qualidade do produto custos operacionais reduzidos.
Detalhes técnicos e especificações
Princípio de medição ultrassônica
A velocidade do som em líquidos está diretamente relacionada à concentração de substâncias dissolvidas. Medições de tempo de alta precisão permitem que a concentração seja determinada com precisão.
Integração de condutividade
Em sistemas de três componentes, a condutividade é usada como um segundo parâmetro físico para determinar claramente ambas as concentrações.
Compensação de temperatura
Dois sensores PT1000 integrados na célula de medição garantem compensação automática de temperatura e, portanto, valores medidos precisos em todas as condições. Ao detectar diretamente a temperatura do processo, a velocidade do som é corrigida em tempo real, melhorando a estabilidade e a precisão mesmo em caso de flutuações.
Benefício econômico
A medição da concentração em tempo real aumenta Qualidade, eficiência e confiabilidade, enquanto ao mesmo tempo Os custos e o consumo de recursos diminuem:
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Custos operacionais reduzidos através de menor consumo de produtos químicos e menos análises laboratoriais
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Menos sucata e retrabalho, pois os desvios podem ser identificados e corrigidos imediatamente
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Qualidade de produto estável garante competitividade e reduz reclamações
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Processos mais eficientes através de dados em tempo real em vez de medições laboratoriais atrasadas
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Maior disponibilidade do sistema graças a sensores isentos de manutenção e sem consumíveis
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Otimização de processos através de dados precisos leva à melhoria contínua e ao melhor uso dos recursos
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ROI rápido graças à economia de energia e custos operacionais
Especificações técnicas
Precisão de medição | Até ±0,02% em peso |
Faixa de temperatura | 5°C a 60°C |
Área de impressão | Até 4 barras |
Material e revestimento | PFA |
Transmissão digital | Até 1.000 m (mais sob consulta) |
Interfaces | 4-20 mA, Profibus, Ethernet, Modbus, fieldbus, ... |
Classe de proteção | IP65 |
calibração | Calibração única de fábrica |
manutenção | Totalmente livre de manutenção |
Exemplos de aplicação
Típico etapas do processo químico e o nosso usado para isso Soluções de processo para processos de limpeza e gravação, bem como processos especiais de gravação e revelação:
SC-1 (APM)
NH4OH/H2O2
SC-2 (HPM)
HCI/H2O2
SPM (Piranha)
H2ENTÃO4/H2O2
Remoção de óxido (DHF)
AF
Remoção de óxido (BOE/BHF)
AF/NH4F
Gravura Si₃N₄
H3PO4
Gravura isotrópica de silício
AF/ENT3
Gravura de silício anisotrópico (MEMS)
KOH/Si
TMAH/Si
Desenvolvimento fotorresistente
TMAH
Ácido nítrico / ácido acético
Otorrinolaringologista3/CH3COOH
HF/HCl
AF/HCl
Casos de sucesso e referências:
Estudos de caso detalhados e referências de clientes estão disponíveis em nossa equipe de vendas. Contate-nos para obter exemplos de aplicações específicas do seu setor.
As vantagens mais importantes em resumo
Qualidade constante
O monitoramento em tempo real evita desvios e garante qualidade consistente do produto.
Economia de custos
Menor consumo de produtos químicos e menores custos operacionais através de processos otimizados.
Eficiência máxima
Os dados em tempo real permitem decisões mais rápidas e processos otimizados.
Livre de manutenção
Os sensores são resistentes a produtos químicos e não requerem consumíveis.
Perguntas frequentes
SensoTech GmbH é uma empresa líder na área de tecnologia de medição de processos com sede em Barleben, perto de Magdeburg, Alemanha. Desenvolvemos e produzimos soluções inovadoras para monitoramento e otimização de processos industriais. Nossa especialização reside na medição precisa de concentrações, densidades e outros parâmetros em líquidos - em tempo real e diretamente durante o processo.
Ao contrário dos métodos ópticos, que são afetados pela cor ou névoa, dos métodos baseados na condutividade, que são sensíveis à condutividade elétrica, ou dos métodos baseados na densidade, que podem ser perturbados pela temperatura ou por bolhas de gás, o nosso Procedimento de ultrassom independente dessas influências.
O A tecnologia de medição LiquiSonic® também não contém peças móveis nem componentes que possam se desgastar ou se desgastar. Após a instalação, o sistema de medição é, portanto, completamente livre de manutenção e sem deriva.
Os sensores oferecem transmissão de sinal digital até 1000 m e permitem medição contínua em linha sem amostragem.
Nosso sistema usa medição ultrassônica do tempo de trânsito para determinar a velocidade do som em líquidos. Esta velocidade do som se correlaciona diretamente com a concentração química e permite Precisão de medição de até ±0,02% em peso para a indústria de semicondutores. A compensação de temperatura integrada garante resultados estáveis mesmo sob condições de processo flutuantes.
O sistema entrega resultados em tempo real. Isto Mais de 30 medições são realizadas por segundo. Com base nessas medidas você obtém um valor medido atual a cada segundo. Este tempo de resposta rápido permite o controle eficaz do processo e a detecção precoce de desvios.
Nossos sensores semicondutores funcionam de forma confiável em um Faixa de temperatura de 5°C a 60°C e pressões de até 4 bar.
Sim, combinando a medição da velocidade do som com quantidades físicas adicionais (por exemplo, condutividade). vários componentes ser determinado simultaneamente. Isto significa que outros aditivos na produção de semicondutores também podem ser monitorados.
O sistema de medição de semicondutores é completamente livre de manutenção. Não existem peças mecânicas de desgaste, vedações ou janelas ópticas que possam ser atacadas. A calibração regular não é necessária – os sensores LiquiSonic® permanecem estáveis por anos.
O sistema oferece diversas interfaces digitais (por exemplo, Profibus, Ethernet/IP, Foundation Fieldbus), bem como saídas analógicas de 4-20 mA. A integração ocorre facilmente através de protocolos padronizados.
Como a velocidade do som é influenciada pela temperatura, nosso LiquiSonic® Sensores equipados com sensores de temperatura de alta precisão. Isso permite a influência da temperatura na medição compensado diretamente tornar-se. Portanto, não é necessário integrar sensores de temperatura adicionais no processo de semicondutores.
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