Medición de concentración
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Industria de semiconductores
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Monitorización de concentración para procesos de semiconductores: para una producción eficiente, procesos estables y la más alta calidad.
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Hasta ±0,02% en peso
Medición en tiempo real
Sin mantenimiento
Ahorro de costes
Desafíos en la medición de la concentración en procesos de semiconductores
En la producción de semiconductores, la proporción exacta de las concentraciones químicas es crucial, pero los análisis de laboratorio clásicos a menudo arrojan resultados demasiado tarde. Con LiquiSonic® SensoTech permite un monitoreo confiable en tiempo real que se puede integrar fácilmente en los procesos existentes. El sistema proporciona datos de medición precisos sin mantenimiento, lo que aumenta la confiabilidad y eficiencia del proceso.
desafíos
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Concentraciones químicas que no están en el rango objetivo
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Análisis de laboratorio que requieren mucho tiempo
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No hay información inmediata y confiable sobre la composición química.
Solución: LiquiSonic®
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Monitoreo claro con LiquiSonic®
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Visualización instantánea de la concentración química.
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Integración perfecta en sistemas existentes
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Sin mantenimiento y sin consumibles
Tus ventajas
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Resultados de medición trazables y fiables
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Resultados de medición en tiempo real
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Sensores completamente libres de mantenimiento y materiales resistentes a productos químicos.
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Fácil integración en sistemas de cualquier tamaño y configuración
Nuestra solución: el LiquiSonic® Sistema de medición
Monitoriza la concentración en tiempo real.
LiquiSonic® combina tecnología de ultrasonido moderna con medición con compensación de temperatura para ofrecer resultados precisos para mezclas químicas críticas en la fabricación de semiconductores. El monitoreo en tiempo real garantiza una calidad estable del producto, reduce las desviaciones y proporciona datos para la optimización del proceso. Esto reduce los costos operativos y el consumo de productos químicos, mientras que la confiabilidad y la eficiencia del proceso aumentan.
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Garantizar la calidad: El monitoreo en tiempo real garantiza resultados precisos y sin desviaciones.
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Reducir costos: Procesos optimizados para máxima confiabilidad y menos Consumo.
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Aumentar la eficiencia: Mayor calidad del producto costos operativos reducidos.
Detalles técnicos y especificaciones.
Principio de medición ultrasónico
La velocidad del sonido en los líquidos está directamente relacionada con la concentración de sustancias disueltas. Las mediciones de tiempo de alta precisión permiten determinar exactamente la concentración.
Integración de conductividad
En los sistemas de tres componentes, la conductividad se utiliza como segundo parámetro físico para determinar claramente ambas concentraciones.
Compensación de temperatura
Dos sensores PT1000 integrados en la celda de medición garantizan una compensación automática de la temperatura y, por tanto, valores medidos precisos en todas las condiciones. Al detectar directamente la temperatura del proceso, la velocidad del sonido se corrige en tiempo real, mejorando la estabilidad y precisión incluso en caso de fluctuaciones.
Beneficio económico
Aumenta la medición de la concentración en tiempo real Calidad, eficiencia y confiabilidad, mientras que al mismo tiempo Los costos y el consumo de recursos disminuyen:
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Costos operativos reducidos mediante un menor consumo de productos químicos y menos análisis de laboratorio
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Menos desechos y retrabajos, ya que las desviaciones pueden identificarse y corregirse inmediatamente
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Calidad estable del producto garantiza la competitividad y reduce las quejas
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Procesos más eficientes a través de datos en tiempo real en lugar de mediciones de laboratorio retrasadas
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Mayor disponibilidad del sistema gracias a sensores libres de mantenimiento y sin consumibles
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Optimización de procesos a través de datos precisos conduce a una mejora continua y un mejor uso de los recursos
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Rápido retorno de la inversión gracias al ahorro de energía y costes operativos
Especificaciones técnicas
Precisión de medición | Hasta ±0,02% en peso |
Rango de temperatura | 5°C a 60°C |
Área de impresión | Hasta 4 barras |
Material y revestimiento | PFA |
transmisión digital | Hasta 1.000 m (más bajo petición) |
Interfaces | 4-20 mA, Profibus, Ethernet, Modbus, bus de campo, ... |
Clase de protección | IP65 |
calibración | Calibración de fábrica única |
mantenimiento | Completamente libre de mantenimiento |
Ejemplos de aplicación
Típico pasos del proceso químico y el nuestro usado para esto Soluciones de proceso para procesos de limpieza y grabado, así como procesos especiales de grabado y revelado:
SC-1 (APM)
NUEVA HAMPSHIRE4OH2O2
SC-2 (HPM)
HCl/H2O2
SPM (Piraña)
H2ENTONCES4/H2O2
Eliminación de óxido (DHF)
frecuencia cardíaca
Eliminación de óxido (BOE/BHF)
HF/NH24F
Grabado de Si₃N₄
H3CORREOS4
Grabado isotrópico de silicio
HF/ENT3
Grabado de silicio anisotrópico (MEMS)
KOH/Si
TMAH/Si
Desarrollo fotorresistente
TMAH
Ácido nítrico / ácido acético
otorrinolaringólogo3/CH3COOH
HF/HCl
frecuencia cardíaca/HCl
Casos de éxito y referencias:
Nuestro equipo de ventas dispone de estudios de casos detallados y referencias de clientes. Contáctenos para ejemplos de aplicaciones específicas de su industria.
Las ventajas más importantes de un vistazo
Calidad constante
El monitoreo en tiempo real previene desviaciones y garantiza una calidad constante del producto.
Ahorro de costos
Menos consumo de químicos y menores costos operativos a través de procesos optimizados.
Eficacia máxima
Los datos en tiempo real permiten decisiones más rápidas y procesos optimizados.
Sin mantenimiento
Los sensores son resistentes a productos químicos y no requieren consumibles.
Preguntas frecuentes
SensoTech GmbH es una empresa líder en el campo de la tecnología de medición de procesos con sede en Barleben, cerca de Magdeburgo, Alemania. Desarrollamos y producimos soluciones innovadoras para el seguimiento y optimización de procesos industriales. Nuestra especialización radica en la medición precisa de concentraciones, densidades y otros parámetros en líquidos, en tiempo real y directamente durante el proceso.
A diferencia de los métodos ópticos, que se ven afectados por el color o la turbidez, los métodos basados en la conductividad, que son sensibles a la conductividad eléctrica, o los métodos basados en la densidad, que pueden verse alterados por la temperatura o las burbujas de gas, el nuestro Procedimiento de ultrasonido independiente de estas influencias.
El La tecnología de medición LiquiSonic® tampoco contiene piezas móviles ni componentes que puedan desgastarse o agotarse. Por lo tanto, después de la instalación, el sistema de medición es completamente libre de mantenimiento y sin deriva.
Los sensores ofrecen transmisión de señal digital hasta 1000 m y permiten medición continua en línea sin muestreo.
Nuestro sistema utiliza medición ultrasónica del tiempo de tránsito para determinar la velocidad del sonido en líquidos. Esta velocidad del sonido se correlaciona directamente con la concentración química y permite Exactitudes de medición de hasta ±0,02% en peso para la industria de semiconductores. La compensación de temperatura integrada garantiza resultados estables incluso en condiciones de proceso fluctuantes.
El sistema ofrece resultados en tiempo real. Él Se realizan más de 30 mediciones por segundo. Con base en estas medidas se obtiene un valor medido actual cada segundo. Este rápido tiempo de respuesta permite un control eficaz del proceso y la detección temprana de desviaciones.
Nuestros sensores semiconductores funcionan de forma fiable en uno Rango de temperatura de 5°C a 60°C y presiones de hasta 4 bar.
Sí, combinando la medición de la velocidad del sonido con cantidades físicas adicionales (por ejemplo, conductividad). múltiples componentes determinarse simultáneamente. Esto permite controlar también otros aditivos en la producción de semiconductores.
El sistema de medición de semiconductores es completamente libre de mantenimiento. No existen piezas de desgaste mecánico, sellos ni ventanillas ópticas que puedan ser atacadas. No es necesaria una calibración periódica: los sensores LiquiSonic® permanecen estables durante años.
El sistema ofrece varias interfaces digitales (por ejemplo, Profibus, Ethernet/IP, Foundation Fieldbus), así como salidas analógicas de 4-20 mA. La integración se produce fácilmente a través de protocolos estandarizados.
Dado que la velocidad del sonido está influenciada por la temperatura, nuestro LiquiSonic® Sensores equipados con sensores de temperatura de alta precisión. Esto permite la influencia de la temperatura en la medición. compensado directamente convertirse en. Por tanto, no es necesario integrar sensores de temperatura adicionales en el proceso de semiconductores.
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