Misurazione della concentrazione
nel
Industria dei semiconduttori
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Industria dei semiconduttori
Monitoraggio della concentrazione nei processi di semiconduttori: per una produzione efficiente, processi stabili e la massima qualità.
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Fino a ±0,02% in peso
Misurazione in tempo reale
Senza manutenzione
Risparmio sui costi
Sfide nella misurazione della concentrazione nei processi di semiconduttori
Nella produzione di semiconduttori il rapporto esatto delle concentrazioni chimiche è fondamentale, ma le classiche analisi di laboratorio spesso forniscono risultati troppo tardi. Con LiquiSonic® SensoTech consente un monitoraggio affidabile in tempo reale che può essere facilmente integrato nei processi esistenti. Il sistema fornisce dati di misurazione precisi senza manutenzione, aumentando così l'affidabilità e l'efficienza del processo.
sfide
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Concentrazioni chimiche non nell'intervallo target
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Analisi di laboratorio che richiedono molto tempo
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Nessuna informazione immediata e affidabile sulla composizione chimica
Soluzione: LiquiSonic®
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Monitoraggio chiaro con LiquiSonic®
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Visualizzazione istantanea della concentrazione chimica
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Integrazione perfetta nei sistemi esistenti
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Esente da manutenzione e senza materiali di consumo
I tuoi vantaggi
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Risultati di misurazione tracciabili e affidabili
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Risultati della misurazione in tempo reale
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Sensori completamente esenti da manutenzione e materiali resistenti agli agenti chimici
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Facile integrazione in sistemi di qualsiasi dimensione e configurazione
La nostra soluzione: il LiquiSonic® Sistema di misurazione
Monitora la concentrazione in tempo reale
LiquiSonic® combina la moderna tecnologia a ultrasuoni con la misurazione con compensazione della temperatura per fornire risultati precisi per miscele chimiche critiche nella produzione di semiconduttori. Il monitoraggio in tempo reale garantisce una qualità stabile del prodotto, riduce le deviazioni e fornisce dati per l'ottimizzazione del processo. Ciò riduce i costi operativi e il consumo di prodotti chimici, mentre aumentano l’affidabilità e l’efficienza del processo.
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Garantire la qualità: Il monitoraggio in tempo reale garantisce risultati precisi senza deviazioni.
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Ridurre i costi: Processi ottimizzati per la massima affidabilità e meno Consumo.
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Aumentare l'efficienza: Maggiore qualità del prodotto costi operativi ridotti.
Dettagli tecnici e specifiche
Principio di misura ad ultrasuoni
La velocità del suono nei liquidi è direttamente correlata alla concentrazione delle sostanze disciolte. Le misurazioni temporali ad alta precisione consentono di determinare con precisione la concentrazione.
Integrazione della conducibilità
Nei sistemi a tre componenti, la conduttività viene utilizzata come secondo parametro fisico per determinare chiaramente entrambe le concentrazioni.
Compensazione della temperatura
Due sensori PT1000 integrati nella cella di misura garantiscono la compensazione automatica della temperatura e quindi valori misurati precisi in tutte le condizioni. Rilevando direttamente la temperatura di processo, la velocità del suono viene corretta in tempo reale, migliorando stabilità e precisione anche in caso di fluttuazioni.
Beneficio economico
Aumenta la misurazione della concentrazione in tempo reale Qualità, efficienza e affidabilità, mentre allo stesso tempo Diminuiscono i costi e il consumo di risorse:
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Costi operativi ridotti attraverso un minor consumo di prodotti chimici e meno analisi di laboratorio
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Meno scarti e rilavorazioni, poiché le deviazioni possono essere identificate e corrette immediatamente
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Qualità del prodotto stabile garantisce la competitività e riduce i reclami
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Processi più efficienti attraverso dati in tempo reale anziché misurazioni di laboratorio ritardate
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Maggiore disponibilità del sistema grazie ai sensori esenti da manutenzione e senza materiali di consumo
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Ottimizzazione dei processi attraverso dati precisi porta al miglioramento continuo e ad un migliore utilizzo delle risorse
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ROI veloce grazie al risparmio energetico e di costi operativi
Specifiche tecniche
Precisione della misurazione | Fino a ±0,02% in peso |
Intervallo di temperatura | da 5°C a 60°C |
Area di stampa | Fino a 4 bar |
Materiale e rivestimento | PFA |
Trasmissione digitale | Fino a 1.000 m (altri su richiesta) |
Interfacce | 4-20 mA, Profibus, Ethernet, Modbus, bus di campo, ... |
Classe di protezione | IP65 |
calibrazione | Calibrazione di fabbrica una tantum |
manutenzione | Completamente esente da manutenzione |
Esempi di applicazione
Tipico fasi del processo chimico e il nostro utilizzato per questo Soluzioni di processo per processi di pulizia e incisione nonché processi speciali di incisione e sviluppo:
SC-1 (APM)
NH4OH/H2O2
SC-2 (HPM)
HCl/H2O2
SPM (Piranha)
H2COSÌ4/H2O2
Rimozione dell'ossido (DHF)
HF
Rimozione dell'ossido (BOE/BHF)
HF/NH4F
Incisione al Si₃N₄
H3P.O4
Incisione su silicio isotropo
HF/ORL3
Attacco del silicio anisotropico (MEMS)
KOH/Si
TMAH/Si
Sviluppo del fotoresist
TMAH
Acido nitrico/acido acetico
ORL3/CH3COOH
HF/HCl
HF/HCl
Storie di successo e referenze:
Casi di studio dettagliati e referenze dei clienti sono disponibili presso il nostro team di vendita. Contattaci per esempi di applicazioni specifiche del tuo settore.
I vantaggi più importanti in breve
Qualità costante
Il monitoraggio in tempo reale previene deviazioni e garantisce una qualità costante del prodotto.
Risparmio sui costi
Meno consumo di prodotti chimici e minori costi operativi grazie a processi ottimizzati.
Massima efficienza
I dati in tempo reale consentono decisioni più rapide e processi ottimizzati.
Senza manutenzione
I sensori sono resistenti agli agenti chimici e non richiedono materiali di consumo.
Domande frequenti
SensoTech GmbH è un'azienda leader nel campo della tecnologia di misurazione di processo con sede a Barleben, vicino a Magdeburgo, in Germania. Sviluppiamo e produciamo soluzioni innovative per il monitoraggio e l'ottimizzazione dei processi industriali. La nostra specializzazione risiede nella misurazione precisa di concentrazioni, densità e altri parametri nei liquidi, in tempo reale e direttamente durante il processo.
A differenza dei metodi ottici, che sono influenzati dal colore o della foschia, dei metodi basati sulla conduttività, che sono sensibili alla conduttività elettrica, o dei metodi basati sulla densità, che possono essere disturbati dalla temperatura o dalle bolle di gas, il nostro Procedura ad ultrasuoni indipendente da queste influenze.
IL Inoltre, la tecnologia di misurazione LiquiSonic® non contiene né parti mobili né componenti che possano usurarsi o consumarsi. Dopo l'installazione, il sistema di misurazione è quindi completamente esente da manutenzione e senza deriva.
I sensori offrono la trasmissione del segnale digitale fino a 1000 me abilitano misurazione continua in linea senza campionamento.
Il nostro sistema utilizza la misurazione del tempo di transito a ultrasuoni per determinare la velocità del suono nei liquidi. Questa velocità del suono è direttamente correlata alla concentrazione chimica e consente Precisioni di misura fino a ±0,02% in peso per l'industria dei semiconduttori. La compensazione della temperatura integrata garantisce risultati stabili anche in condizioni di processo variabili.
Il sistema fornisce risultati in tempo reale. Esso Vengono effettuate oltre 30 misurazioni al secondo. In base a queste misurazioni ottieni un valore misurato attuale ogni secondo. Questo rapido tempo di risposta consente un controllo efficace del processo e il rilevamento tempestivo delle deviazioni.
I nostri sensori a semiconduttore funzionano in modo affidabile in uno Intervallo di temperatura da 5°C a 60°C e pressioni fino a 4 bar.
Sì, combinando la misurazione della velocità del suono con quantità fisiche aggiuntive (ad esempio conduttività). più componenti essere determinati simultaneamente. Ciò significa che è possibile monitorare anche altri additivi nella produzione di semiconduttori.
Il sistema di misurazione dei semiconduttori è completamente esente da manutenzione. Non sono presenti parti meccaniche soggette ad usura, guarnizioni o finestre ottiche che potrebbero essere attaccate. Non è necessaria una calibrazione regolare: i sensori LiquiSonic® rimangono stabili per anni.
Il sistema offre varie interfacce digitali (ad es. Profibus, Ethernet/IP, Foundation Fieldbus) e uscite analogiche da 4-20 mA. L'integrazione avviene facilmente tramite protocolli standardizzati.
Poiché la velocità del suono è influenzata dalla temperatura, il nostro LiquiSonic® Sensori dotati di sensori di temperatura ad alta precisione. Ciò consente l'influenza della temperatura sulla misurazione direttamente compensato diventare. Non è quindi necessario integrare ulteriori sensori di temperatura nel processo dei semiconduttori.
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