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Flusssäure sicher beherrschen

HF-Konzentrationsmessung, die keine Kompromisse kennt. Weder beim Werkstoff, noch bei der Genauigkeit.

Kostenlos beraten lassen

Echtzeit-Messung

Kontinuierliche Überwachung ohne Verzögerung

Wartungsfrei

Keine beweglichen Teile oder Verschleißkomponenten

Höchste Genauigkeit

Präzise Messung auch unter schwierigen Bedingungen

Reduzierte Betriebskosten

Kosteneffiziente Lösung mit kurzer Amortisationszeit

Flusssäure (HF) ist die wässrige Lösung von Fluorwasserstoff und nimmt in der Chemie eine Sonderstellung ein: Obwohl sie zu den mittelstarken Säuren zählt, ist sie durch ihre extreme Toxizität und die Fähigkeit, Glas und Silikatmaterialien aufzulösen, eine der gefährlichsten Industriechemikalien überhaupt. Gleichzeitig ist Flusssäure in bestimmten Schlüsselindustrien unverzichtbar, zum Beispiel in der Halbleiterproduktion, in petrochemischen Alkylierungsanlagen oder bei der Metallbehandlung. Die exakte Überwachung der HF-Konzentration ist dabei keine Option, sondern Voraussetzung für Prozesssicherheit, Produktqualität und Anlagenschutz. LiquiSonic® wurde für diese Anforderungen entwickelt, mit speziellen Beschichtungen und einem Messprinzip, die Flusssäure standhalten.

  • HF greift Glas, Quarz und Silikate an - konventionelle Sensoren und Elektroden sind unbrauchbar!
  • Selbst bei kleinen Mengen besteht akute Lebensgefahr - manuelle Probenahme ist ein Sicherheitsrisiko!
  • Die Konzentration verändert sich während des Prozesses - ohne Messung kein stabiler Prozess!

Konzentrationsmessung mit LiquiSonic®
 

LiquiSonic® wurde unter anderem für den sicheren Einsatz in Flusssäure-Prozessen entwickelt. Alle medienberührenden Teile bestehen wahlweise aus PFA, ETFE oder anderen HF-resistenten Materialien. Standardmaterialien, die der Säure nicht standhalten würden, kommen nicht zum Einsatz.

Beispielsweise in petrochemischen Alkylierungsanlagen misst das System gleichzeitig HF-Konzentration, Wassergehalt und ASO-Gehalt, die drei entscheidenden Parameter für Prozesskontrolle und Sicherheit. Vorab definierbare Grenzwerte sorgen dafür, dass das System bei kritischen Abweichungen sofort Alarm auslöst. Zudem lässt sich LiquiSonic® nahtlos in vorhandene Prozessleitsysteme einbinden.

Unser Messsystem misst kontinuierlich und vollautomatisch. Das heißt, manuelle Probenahme entfällt vollständig. Gleichzeitig ermöglichen die präzisen Konzentrationsdaten eine gezielte, bedarfsgerechte Nachdosierung von Flusssäure, was Verbrauch und Betriebskosten spürbar reduziert.

Typische Herausforderungen

  • Extreme Materialkorrosivität – Standardwerkstoffe versagen
  • Toxizität & Personalschutz – manuelle Probenahme hochriskant
  • Konzentrationsdrift – Zusammensetzung verändert sich regelmäßig
  • Sicherheitskritische Reaktionen – z. B. Acid Runaway
  • Leckagerisiko – potentieller HF-Eintrag in Sekundärkreisläufe

Unsere Lösung

  • Alle medienberührenden Komponenten aus HF-resistenten Materialien
  • Vollautomatische Inline-Messung
  • Kontinuierliche Echtzeitmessung
  • Definierbare Grenzwerte und direkte Integration in Prozessleitsysteme
  • Auch kleinste Konzentrationsveränderungen werden erkannt

Anwendungsbeispiele

Flusssäure ist in einigen der anspruchsvollsten Industrieprozesse der Welt unverzichtbar. Genau das macht eine präzise Überwachung kritisch. In petrochemischen Alkylierungsanlagen wirkt HF als Katalysator bei der Herstellung hochoktaniger Kraftstoffe; schon kleine Veränderungen im Wassergehalt können dabei zu unkontrollierbaren Säurereaktionen führen. In der Halbleiterfertigung bestimmt die exakte HF-Konzentration im Ätzbad die Qualität jedes einzelnen Wafers. Und überall dort, wo HF in Rohrleitungen und Wärmetauschern geführt wird, kann ein unerkanntes Leck im Sekundärkreislauf innerhalb kurzer Zeit schwerwiegende Schäden verursachen. Was all diese Anwendungen verbindet: Die exakte Überwachung der HF-Konzentration ist keine Option, sondern Voraussetzung für Prozesssicherheit, Produktqualität und Anlagenschutz.

Halbleiterindustrie

HF ist das Standardätzmittel für SiO₂-Schichten auf Siliziumwafern. Nasschemische Reinigungs- und Ätzprozesse (Wafer-Cleaning, BOE-Lösungen) sind ohne HF nicht denkbar.

Petro­chemische Alkylierung

HF dient als Katalysator in Alkylierungsanlagen zur Herstellung hochoktaniger Treibstoffe (Isoalkylate) aus Butan und Olefinen.

Oberflächenbehandlung

Mattierung, Gravur und Reinigung von Glas, Kristall und Quarz. Ebenso Oberflächenbehandlung von Titan, Tantal und anderen Sondermetallen.

Fluorid-Herstellung

Vorprodukt für Natriumfluorid, Aluminiumfluorid, Flussspat-Derivate und fluorierte Polymere (PTFE-Vorstufen).

Solar­industrie

Ätzung und Reinigung von Siliziumoberflächen in der Photovoltaik-Produktion.

Über 35 Jahre Erfahrung in der Konzentrationsmessung

SensoTech ist seit 1990 führender Anbieter von Inline-Messtechnik und hat sich als Spezialist für präzise Konzentrations- und Dichtemessungen etabliert.

Unsere Systeme sind weltweit, auch in kritischen Anwendungen im Einsatz.

35+

Jahre Erfahrung

1000+

Installierte Systeme

50+

Länder weltweit

ISO 9001

zertifizierte Qualität

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Häufig gestellte Fragen

Welche Auswirkungen haben Konzentrationsschwankungen in HF-Prozessbädern?

Konzentrationsdrift ist in HF-Prozessen unvermeidlich. Entscheidend ist, sie in Echtzeit zu erkennen und gezielt gegenzusteuern. LiquiSonic® misst die Badkonzentration kontinuierlich und gibt sekündlich einen aktuellen Messwert aus. Abweichungen vom Sollwert sind sofort sichtbar, Nachfüllvorgänge können gezielt und bedarfsgerecht gesteuert werden.

Welche Rolle spielt eine kontinuierliche Prozessüberwachung bei der Prävention von Acid Runaways?

Ein Acid Runaway entsteht beispielsweise dann, wenn der Wassergehalt in der HF-Katalysatorphase unkontrolliert ansteigt. LiquiSonic® überwacht in diesem Fall die HF-Konzentration, den Wassergehalt und den ASO-Anteil gleichzeitig und kontinuierlich. Definierte Grenzwerte lösen bei Annäherung an kritische Bereiche einen Alarm aus, bevor eine unkontrollierte Reaktion einsetzen kann. Das System lässt sich direkt in vorhandene Prozessleitsysteme einbinden.

Für welche HF-Konzentrationen und Prozessbedingungen ist LiquiSonic® ausgelegt?

LiquiSonic® deckt den gesamten industriell relevanten Konzentrationsbereich ab. Von verdünnten HF-Lösungen im einstelligen Prozentbereich, wie sie in der Halbleiterfertigung eingesetzt werden, bis hin zu konzentrierten HF-Strömen in petrochemischen Alkylierungsanlagen. Messbereiche, Temperaturgrenzen und Druckbeständigkeit werden applikationsspezifisch konfiguriert.

Kann LiquiSonic® mehrere Komponenten gleichzeitig messen?

Ja, zum Beispiel in Alkylierungsanlagen misst LiquiSonic® gleichzeitig die HF-Konzentration, den Wassergehalt und den ASO-Anteil, die drei entscheidenden Größen für Prozesskontrolle und Sicherheit. Für andere Anwendungen wird der Messumfang entsprechend der Prozessanforderungen konfiguriert.

Wie genau misst LiquiSonic®?

Das System erreicht Genauigkeiten von bis zu ±0,05 wt% bei der Konzentrationsmessung. Die integrierte Temperaturkompensation stellt sicher, dass Messwerte auch bei schwankenden Prozesstemperaturen zuverlässig bleiben.

Lässt sich LiquiSonic® in bestehende Sicherheits- und Leitsysteme einbinden?

Ja. LiquiSonic® unterstützt gängige Industriestandards wie 4–20 mA, Profibus und Modbus und lässt sich damit in nahezu jede bestehende Prozessleittechnik integrieren. Grenzwerte können frei definiert werden. Bei Überschreitung wird, falls gewünscht, Alarm ausgelöst und eine Notabschaltung eingeleitet.

Wie aufwendig ist die Inbetriebnahme des HF-Konzentrations-Messsystems?

Der Sensor wird meistens direkt in die Prozessleitung eingebaut und ist in der Regel zügig in Betrieb zu nehmen. SensoTech liefert applikationsspezifische Voreinstellungen und unterstützt bei Bedarf durch erfahrene Servicekräfte.

Wie hoch ist der Wartungsaufwand im laufenden Betrieb?

LiquiSonic® arbeitet ohne bewegliche Teile und ohne Verbrauchsmaterialien. Im Normalbetrieb sind keine Eingriffe erforderlich. Das reduziert Betriebskosten spürbar und eliminiert Stillstandszeiten durch Sensortausch.

Wie lässt sich eine sichere Prozessüberwachung bei der HF-Konzentrationsmessung realisieren?

LiquiSonic® misst vollautomatisch und kontinuierlich direkt im Prozess. Eine manuelle Probenahme ist nicht mehr erforderlich. Die Messwerte stehen jederzeit im Leitsystem zur Verfügung, sodass vollständige Prozessübersicht gewährleistet ist, ohne dass Bedienpersonal in Kontakt mit der Säure kommen muss.

Wie kann verhindert werden, dass Flusssäure in Sekundärkreisläufe gerät?

Bereits kleinste HF-Einträge in Sekundärkreisläufe können schwerwiegende Folgen haben. Die eingesetzte Messtechnik muss daher in der Lage sein, minimale Konzentrationsveränderungen schnell und sicher zu detektieren. LiquiSonic® erkennt Veränderungen in der Säurekonzentration zuverlässig und löst bei Überschreitung definierter Grenzwerte automatisch ein Signal aus.

Welche Anforderungen müssen Messsysteme erfüllen, um die HF-Konzentration zuverlässig bestimmen zu können?

Konventionelle Sensoren scheitern an Flusssäure, weil ihre Werkstoffe der Säure nicht standhalten. LiquiSonic® wurde von Grund auf für den Einsatz in verschiedenen Medien entwickelt und wird immer kundenspezifisch an die jeweilige Applikation angepasst. Bei der HF-Konzentrationsmessung bestehen alle medienberührenden Teile aus PFA, ETFE oder vergleichbaren HF-resistenten Materialien. Weitere Anpassungen sind je nach Kundenwunsch möglich!

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