LiquiSonic® измеряет концентрацию HF, используя скорость звука в технологической жидкости. Ультразвуковой импульс проходит через жидкость между передатчиком и приемником; Концентрация рассчитывается в реальном времени на основе времени работы. Процесс не зависит от цвета, мутности или проводимости жидкости и работает непосредственно в процессе, без отбора проб.

Для HF-применений используется измерительная система LiquiSonic®. Она состоит из датчика и контроллера и встраивается непосредственно в основную линию установки.

Точность измерения составляет ± 0,05 масс. %. Такая точность достигается за счет прямого измерения скорости звука в сочетании со встроенной температурной компенсацией, которая выравнивает колебания температуры процесса.

Датчики SensoTech в зависимости от области применения изготавливаются из специальных коррозионностойких материалов, адаптированных к соответствующей химии процесса. Для всех компонентов, контактирующих со средой, используются HF-стойкие материалы, чтобы обеспечить долговременную стабильность даже при работе с агрессивными средами.

Благодаря встроенному inline-измерению LiquiSonic® непосредственно в технологической линии ручной отбор проб полностью исключается. Это снижает не только трудозатраты, но прежде всего риск для безопасности персонала, который в противном случае мог бы вступить в прямой контакт с технологической жидкостью, содержащей HF.

Да, LiquiSonic® непрерывно выдает обновляемые измеренные значения несколько раз в секунду, которые можно отображать онлайн, сохранять и анализировать. В отличие от этого лабораторные анализы дают лишь точечные мгновенные результаты.

Датчики интегрируются непосредственно в существующую основную линию. Это значительно снижает затраты на установку по сравнению с альтернативными методами анализа.

Благодаря прочной и не подверженной износу конструкции датчики работают практически без обслуживания и без расходных материалов. Кроме того, все компоненты, контактирующие со средой, изготавливаются из HF-стойких материалов. Благодаря этому отпадает необходимость в регулярной перекалибровке, как это требуется при традиционных методах измерения.

Да, измерительная система LiquiSonic® предоставляет измерительные данные в цифровом виде и может быть подключена к вышестоящим системам управления. Превышение или недостижение предельных значений немедленно сигнализируется, что позволяет включить эти данные в существующие процедуры безопасности.

Колебания концентрации HF изменяют условия реакции в процессе и могут негативно влиять как на качество продукции, так и на безопасность установки, например из-за повышенного расхода плавиковой кислоты, усиленной коррозии или роста риска утечек. Непрерывное измерение позволяет сразу выявлять такие отклонения и предотвращать риски.

Непрерывное inline-измерение с помощью LiquiSonic® немедленно выявляет изменения в вещественном составе еще до того, как они станут критическими. Это позволяет своевременно принять меры и значительно снизить риск неконтролируемого протекания реакции («Acid Runaway»).

Благодаря постоянному контролю концентрации и фаз с помощью LiquiSonic® можно на ранней стадии выявлять отклонения и утечки, прежде чем плавиковая кислота незаметно попадет в последующие контуры. Непрерывная онлайн-регистрация данных дополнительно поддерживает прослеживаемость в случае неисправностей.

Датчики LiquiSonic® устанавливаются непосредственно в основной линии алкилирующей установки и одновременно измеряют концентрацию плавиковой кислоты, воды и кислоторастворимых масел с точностью ± 0,05 масс. %. Это обеспечивает оптимальное качество продукции при минимальном расходе плавиковой кислоты и снижает риск Acid Runaways, коррозии и утечек.

В полупроводниковом производстве LiquiSonic® контролирует концентрацию HF в процессах травления и очистки, таких как SC1, SC2 или BOE/BHF, в реальном времени и с температурной компенсацией. Это позволяет точно дозировать травильный раствор и поддерживать его в оптимальном диапазоне концентраций, избегая перетравливания или недотравливания пластины.