LiquiSonic® измеряет концентрацию HF с помощью скорости звука в технологической жидкости. Ультразвуковой импульс проходит через жидкость между передатчиком и приемником; по времени прохождения концентрация рассчитывается в реальном времени. Метод не зависит от цвета, мутности или проводимости жидкости и работает непосредственно в процессе, без отбора проб.

Для применений с HF используется измерительная система LiquiSonic®. Она состоит из датчика и контроллера и устанавливается непосредственно в основную линию установки.

Точность измерения составляет ± 0,05 wt%. Такая точность достигается за счет прямого измерения скорости звука в сочетании со встроенной температурной компенсацией, которая нивелирует колебания технологической температуры.

Датчики SensoTech в зависимости от области применения изготавливаются из специальных коррозионностойких материалов, адаптированных к соответствующей химии процесса. Для всех компонентов, контактирующих со средой, используются материалы, устойчивые к HF, чтобы обеспечить долговременную стабильность даже при работе с агрессивными средами.

Благодаря inline-измерению LiquiSonic® непосредственно в технологической линии ручной отбор проб полностью исключается. Это не только снижает трудозатраты, но и, прежде всего, уменьшает риск для безопасности персонала, который иначе мог бы вступить в прямой контакт с технологической жидкостью, содержащей HF.

Да, LiquiSonic® непрерывно выдает обновляемые измеренные значения несколько раз в секунду, которые отображаются онлайн, сохраняются и анализируются. В отличие от этого лабораторные анализы дают лишь точечные моментальные снимки.

Датчики интегрируются непосредственно в существующую основную линию. Это значительно снижает затраты на монтаж по сравнению с альтернативными методами анализа.

Благодаря прочной и не подверженной износу конструкции датчики работают практически без обслуживания и без расходных материалов. Кроме того, все компоненты, контактирующие со средой, изготавливаются из материалов, устойчивых к HF. Это устраняет необходимость в регулярной повторной калибровке, как это требуется при традиционных методах измерения.

Да, измерительная система LiquiSonic® предоставляет данные измерений в цифровом виде и может быть подключена к вышестоящим системам управления. Превышение или недостижение предельных значений немедленно сигнализируется, что позволяет включать эти данные в существующие процессы обеспечения безопасности.

Колебания концентрации HF изменяют условия реакции в процессе и могут негативно повлиять как на качество продукции, так и на безопасность установки, например из-за повышенного расхода плавиковой кислоты, усиленной коррозии или возрастающего риска утечек. Непрерывное измерение позволяет сразу выявлять такие отклонения и предотвращать риски.

Непрерывное inline-измерение с помощью LiquiSonic® немедленно распознает изменения в составе вещества еще до того, как они станут критическими. Это позволяет своевременно принять меры и значительно снизить риск неконтролируемого протекания реакции («Acid Runaway»).

Благодаря постоянному контролю концентрации и фаз с помощью LiquiSonic® можно на ранней стадии обнаруживать отклонения и утечки, прежде чем плавиковая кислота незаметно попадет в последующие контуры. Непрерывная онлайн-регистрация данных дополнительно поддерживает отслеживаемость в случае сбоя.

Датчики LiquiSonic® устанавливаются непосредственно в основной линии установки алкилирования и одновременно измеряют концентрацию плавиковой кислоты, воды и кислоторастворимых масел с точностью ± 0,05 wt%. Это обеспечивает оптимальное качество продукта при минимальном расходе плавиковой кислоты и снижает риск Acid Runaways, коррозии и утечек.

В производстве полупроводников LiquiSonic® контролирует концентрацию HF в процессах травления и очистки, таких как SC1, SC2 или BOE/BHF, в реальном времени и с температурной компенсацией. Это позволяет точно дозировать травильный раствор и поддерживать его в оптимальном диапазоне концентраций, избегая чрезмерного или недостаточного травления пластины.