Измерение концентрации
в
полупроводниковой промышленности
в
полупроводниковой промышленности
Контроль концентрации для полупроводниковых процессов – для эффективного производства, стабильных процессов и высочайшего качества.
До ±0,02 вес.%
Измерение в реальном времени
Не требует обслуживания
Экономично
Проблемы при измерении концентрации в полупроводниковых процессах
В производстве полупроводников точное соотношение химических концентраций имеет решающее значение, но классические лабораторные анализы часто дают результаты слишком поздно. С LiquiSonic® позволяет SensoTech обеспечить надежный контроль в реальном времени, который легко интегрируется в существующие процессы. Система предоставляет точные данные без обслуживания, повышая безопасность и эффективность процессов.
Проблемы
-
Химические концентрации не в заданном диапазоне
-
Трудоемкие лабораторные анализы
-
Нет немедленной и надежной информации о химическом составе
Решение: LiquiSonic®
-
Явный контроль с LiquiSonic®
-
Немедленный показ химической концентрации
-
Бесшовная интеграция в существующие системы
-
Не требует обслуживания и расходных материалов
Ваши преимущества
-
Отслеживаемые и надежные результаты измерений
-
Результаты измерений в реальном времени
-
Полностью не требующие обслуживания датчики и химически стойкие материалы
-
Легкая интеграция в системы любого размера и конфигурации
Наше решение: LiquiSonic® Измерительная система
Контроль концентрации в реальном времени
LiquiSonic® совмещает современную ультразвуковую технологию с температурно-компенсированным измерением, чтобы обеспечить точные результаты при критических химических смесях в производстве полупроводников. Контроль в реальном времени обеспечивает стабильное качество продукции, снижает отклонения и предоставляет данные для оптимизации процессов. Это снижает эксплуатационные расходы и потребление химикатов, повышая безопасность и эффективность процессов.
-
Обеспечение качества: Контроль в реальном времени гарантирует точные результаты без отклонений.
-
Снижение затрат: Оптимизированные процессы для максимальной надежности и меньшего потребления.
-
Повышение эффективности: Повышенное качество продукции при сниженных эксплуатационных расходах.
Технические детали и спецификации
Принцип ультразвукового измерения
Скорость звука в жидкостях находится в прямой зависимости от концентрации растворенных веществ. Высокоточные измерения времени позволяют точно определить концентрацию.
Интеграция проводимости
В трехкомпонентных системах проводимость используется в качестве второго физического параметра для точного определения обеих концентраций.
Температурная компенсация
Два интегрированных в измерительную ячейку датчика PT1000 обеспечивают автоматическую температурную компенсацию, обеспечивая точные измерения при любых условиях. Прямая регистрация температуры процесса позволяет в реальном времени корректировать скорость звука, что улучшает стабильность и точность даже при колебаниях.
Экономическая выгода
Измерение концентрации в реальном времени повышает качество, эффективность и надежность, в то время как одновременно снижаются затраты и потребление ресурсов:
-
Сниженные эксплуатационные расходы за счет меньшего потребления химикатов и сокращения лабораторных анализов
-
Меньше брака и доработок, так как отклонения могут быть обнаружены и исправлены немедленно
-
Стабильное качество продукции обеспечивает конкурентоспособность и снижает количество претензий
-
Более эффективные процессы благодаря данным в реальном времени вместо задержанных лабораторных измерений
-
Более высокая доступность оборудования благодаря безобслуживательной сенсорике без расходных материалов
-
Оптимизация процессов благодаря точным данным приводит к постоянному улучшению и более эффективному использованию ресурсов
-
Быстрая окупаемость благодаря экономии на энергозатратах и эксплуатационных расходах
Технические спецификации
Точность измерения | До ±0,02 вес.% |
Диапазон температур | от 5 °C до 60 °C |
Диапазон давления | До 4 бар |
Материал и покрытие | PFA |
Цифровая передача | До 1.000 м (больше по запросу) |
Интерфейсы | 4-20 мА, Profibus, Ethernet, Modbus, Feldbus, ... |
Степень защиты | IP65 |
Калибровка | Однократная заводская калибровка |
Обслуживание | Полностью без обслуживания |
Примеры применения
Типичные химические процессные этапы и наши используемые для этого Процессные решения для процессов очистки и травления, а также специальных процессов травления и разработки:
SC-1 (APM)
NH4OH/Ч2O2
SC-2 (HPM)
HCI/Ч2O2
SPM (Пиранья)
H2ЮЗ4/Ч2O2
Удаление оксида (DHF)
HF
Удаление оксида (BOE/BHF)
HF/NH4F
Травление Si₃N₄
H3PO4
Изотропное травление кремния
HF/ЧNO3
Анизотропное травление кремния (MEMS)
KOH/Si
TMAH/Si
Проявка фоторезиста
TMAH
Азотная кислота / уксусная кислота
HNO3/CH3COOH
HF / HCl
HF/ЧCl
Истории успеха и рекомендации:
Подробные кейсы и клиентские рекомендации вы можете получить от нашей команды продаж. Свяжитесь с нами для получения конкретных примеров применения в вашей отрасли.
Основные преимущества
Постоянное качество
Мониторинг в реальном времени предотвращает отклонения и обеспечивает постоянное качество продукции.
Экономия затрат
Меньшее потребление химикатов и снижение эксплуатационных расходов благодаря оптимизированным процессам.
Высочайшая эффективность
Данные в реальном времени позволяют принимать более быстрые решения и оптимизировать процессы.
Не требует обслуживания
Датчики устойчивы к химикатам и не требуют расходных материалов.
Часто задаваемые вопросы
SensoTech GmbH является ведущей компанией в области процессного измерения с расположением в Барлебене, недалеко от Магдебурга, Германия. Мы разрабатываем и производим инновационные решения для мониторинга и оптимизации промышленных процессов. Наша специализация заключается в точном измерении концентраций, плотностей и других параметров в жидкостях - в реальном времени и непосредственно во время процесса.
В отличие от оптических методов, которые подвержены влиянию цвета или мутности, методов на основе проводимости, чувствительных к электрической проводимости, или методов на основе плотности, которые могут быть нарушены температурой или газовыми пузырьками, наш ультразвуковой метод независим от этих влияний.
Эта Измерительная технология LiquiSonic® также не содержит ни движущихся частей, ни компонентов, которые могут изнашиваться или изнашиваться. Таким образом, после установки измерительная система полностью не требует обслуживания и не подвержена дрейфу.
Датчики обеспечивают цифровую передачу сигнала на расстояние до 1000 м и позволяют непрерывное измерение в режиме реального времени без отбора проб.
Наша система использует измерение времени прохождения ультразвука для определения скорости звука в жидкостях. Эта скорость звука напрямую коррелирует с химической концентрацией и позволяет достигать точности измерений до ±0,02 мас.% для полупроводниковой промышленности. Интегрированная температурная компенсация обеспечивает стабильные результаты даже при изменяющихся условиях процесса.
Система предоставляет результаты в режиме реального времени. Она проводит более 30 измерений в секунду. На основе этих измерений вы получаете каждую секунду актуальное значение измерения.. Такое быстрое время реакции обеспечивает эффективный контроль процесса и раннее обнаружение отклонений.
Наши полупроводниковые датчики надежно работают в диапазоне температур от 5 °C до 60 °C и давлении до 4 бар.
Да, сочетая измерение скорости звука с дополнительными физическими величинами (например, проводимостью), можно определять несколько компонентов одновременно. Таким образом, можно также контролировать дополнительные добавки в производстве полупроводников.
Полупроводниковая измерительная система полностью не требует обслуживания. Нет механических изнашиваемых частей, уплотнений или оптических окон, которые могут быть повреждены. Регулярная калибровка не требуется - датчики LiquiSonic® остаются стабильными в течение многих лет.
Система предлагает различные цифровые интерфейсы (например, Profibus, Ethernet/IP, Foundation Fieldbus), а также аналоговые выходы 4-20 мА. Интеграция осуществляется без проблем через стандартизированные протоколы.
Поскольку скорость звука зависит от температуры, наши LiquiSonic® Датчики оснащены высокоточным температурным датчиком. Таким образом, влияние температуры на измерение напрямую компенсируется поэтому нет необходимости включать дополнительные температурные датчики в полупроводниковый процесс.
Связанные приложения
Текстурные и травильные ванны
В травильных ваннах целенаправленно удаляются слои материала для создания желаемых поверхностных структур.
Очистка печатных плат
Очистка удаляет органические остатки, частицы и оксиды, чтобы дорожки могли быть надежно обработаны.
Мониторинг травильной ванны
Травильные ванны растворяют оксиды или загрязнения с металлических поверхностей и должны постоянно поддерживаться в правильном диапазоне концентраций.
Мониторинг зеленого щелока
Зеленый щелок - это высокощелочной побочный продукт в производстве бумаги, концентрация которого должна контролироваться для стабильных последующих процессов.
Измерение концентрации кислоты
Точное определение концентраций в агрессивных химикатах имеет решающее значение для контролируемого и безопасного протекания реакций.
Газоочиститель
В газоочистителях или нейтрализующих установках загрязняющие вещества удаляются из выхлопных газов или жидкостей, для чего необходим точный контроль используемых химикатов.