Измерение концентрации
в
Полупроводниковая промышленность
в
Полупроводниковая промышленность
Мониторинг концентрации в полупроводниковых процессах – для эффективного производства, стабильности процессов и высочайшего качества.
Посетите наш бесплатный вебинар по этой теме. Измерение концентрации в Полупроводниковая промышленность 20 мая 2026 года!
До ±0,02% масс.
Измерение в реальном времени
Не требует обслуживания
Экономия затрат
Проблемы измерения концентрации в полупроводниковых процессах
В производстве полупроводников точное соотношение химических концентраций имеет решающее значение, но классические лабораторные анализы часто дают результаты слишком поздно. С ЛиквиСоник® SensoTech обеспечивает надежный мониторинг в реальном времени, который можно легко интегрировать в существующие процессы. Система предоставляет точные данные измерений без необходимости технического обслуживания, тем самым повышая надежность и эффективность процесса.
вызовы
-
Концентрации химических веществ выходят за пределы целевого диапазона
-
Лабораторные анализы, отнимающие много времени
-
Нет немедленной и надежной информации о химическом составе.
Решение: LiquiSonic®
-
Четкий мониторинг с помощью LiquiSonic®
-
Мгновенное отображение концентрации химикатов
-
Бесшовная интеграция в существующие системы
-
Не требует обслуживания и расходных материалов
Ваши преимущества
-
Прослеживаемые и надежные результаты измерений
-
Результаты измерений в реальном времени
-
Полностью необслуживаемые датчики и химически стойкие материалы.
-
Простая интеграция в системы любого размера и конфигурации.
Наше решение: LiquiSonic® Измерительная система
Контролируйте концентрацию в режиме реального времени
ЛиквиСоник® сочетает в себе современную ультразвуковую технологию с измерениями с температурной компенсацией для получения точных результатов для критических химических смесей в производстве полупроводников. Мониторинг в режиме реального времени обеспечивает стабильное качество продукции, снижает отклонения и предоставляет данные для оптимизации процесса. Это снижает эксплуатационные расходы и расход химикатов, одновременно повышая надежность и эффективность процесса.
-
Обеспечение качества: Мониторинг в режиме реального времени гарантирует точные результаты без отклонений.
-
Сократите затраты: Оптимизированные процессы для максимальной надежности и меньше Потребление.
-
Повышение эффективности: Более высокое качество продукции снижение эксплуатационных расходов.
Технические детали и характеристики
Принцип ультразвукового измерения
Скорость звука в жидкостях напрямую связана с концентрацией растворенных веществ. Высокоточные измерения времени позволяют точно определить концентрацию.
Интеграция проводимости
В трехкомпонентных системах проводимость используется в качестве второго физического параметра для четкого определения обеих концентраций.
Температурная компенсация
Два датчика PT1000, встроенные в измерительную ячейку, обеспечивают автоматическую температурную компенсацию и, следовательно, точные измеренные значения при любых условиях. Путем непосредственного определения температуры процесса скорость звука корректируется в реальном времени, что повышает стабильность и точность даже в случае колебаний.
Экономическая выгода
Увеличение измерения концентрации в реальном времени Качество, эффективность и надежность, и в то же время Снижаются затраты и потребление ресурсов:
-
Снижение эксплуатационных расходов за счет меньшего потребления химикатов и меньшего количества лабораторных анализов
-
Меньше брака и переделок, поскольку отклонения можно сразу выявить и исправить.
-
Стабильное качество продукции обеспечивает конкурентоспособность и снижает количество жалоб
-
Более эффективные процессы посредством данных в реальном времени вместо лабораторных измерений с задержкой по времени
-
Более высокая доступность системы благодаря необслуживаемым датчикам без расходных материалов
-
Оптимизация процесса посредством точных данных приводит к постоянному совершенствованию и лучшему использованию ресурсов
-
Быстрая окупаемость инвестиций благодаря экономии энергии и эксплуатационных расходов
Технические характеристики
Точность измерения | До ±0,02% масс. |
Диапазон температур | от 5°С до 60°С |
Область печати | До 4 бар |
Материал и покрытие | ПФА |
Цифровая передача | До 1000 м (больше по запросу) |
Интерфейсы | 4–20 мА, Profibus, Ethernet, Modbus, полевая шина, ... |
Класс защиты | IP65 |
калибровка | Однократная заводская калибровка |
обслуживание | Полностью не требует обслуживания |
Примеры применения
Типичный этапы химического процесса и наши для этого использовали Технологические решения для процессов очистки и травления, а также для специальных процессов травления и проявления:
СК-1 (АПМ)
Нью-Хэмпшир4ОХ2O2
СК-2 (ХПМ)
HCI/Ч2O2
СПМ (Пиранья)
H2ТАК4/ЧАС2O2
Удаление оксидов (DHF)
ВЧ
Удаление оксидов (BOE/BHF)
ВЧ/НГ4F
Si₃N₄ травление
H3ПО4
Травление изотропного кремния
ВЧ/ЛОР3
Анизотропное травление кремния (МЭМС)
КОН/Si
ТМАХ/Си
Разработка фоторезиста
ТМАХ
Азотная кислота/уксусная кислота
ЛОР3/CH3COOH
HF/HCl
ВЧ/HCl
Истории успеха и рекомендации:
Подробные тематические исследования и отзывы клиентов можно получить в нашем отделе продаж. Свяжитесь с нами для получения конкретных примеров применения из вашей отрасли.
Краткий обзор важнейших преимуществ
Постоянное качество
Мониторинг в режиме реального времени предотвращает отклонения и обеспечивает стабильное качество продукции.
Экономия затрат
Меньшее потребление химикатов и снижение эксплуатационных расходов за счет оптимизации процессов.
Максимальная эффективность
Данные в режиме реального времени позволяют быстрее принимать решения и оптимизировать процессы.
Не требует обслуживания
Датчики химически устойчивы и не требуют расходных материалов.
Часто задаваемые вопросы
СенсоТех ГмбХ — ведущая компания в области технологий измерения технологических процессов, расположенная в Барлебене, недалеко от Магдебурга, Германия. Мы разрабатываем и производим инновационные решения для мониторинга и оптимизации промышленных процессов. Наша специализация заключается в точном измерении концентрации, плотности и других параметров жидкостей – в режиме реального времени и непосредственно во время процесса.
В отличие от оптических методов, на которые влияет цвет или дымка, методов, основанных на проводимости, которые чувствительны к электропроводности, или методов, основанных на плотности, на которые могут повлиять температура или пузырьки газа, наши Процедура УЗИ независимо от этих влияний.
Измерительная технология LiquiSonic® также не содержит ни движущихся частей, ни компонентов, которые могут изнашиваться или изнашиваться. Таким образом, после установки измерительная система полностью не требует обслуживания и без дрейфа.
Датчики обеспечивают передачу цифрового сигнала на расстояние до 1000 м и позволяют непрерывное линейное измерение без выборки.
Наша система использует ультразвуковое измерение времени прохождения для определения скорости звука в жидкостях. Эта скорость звука напрямую коррелирует с химической концентрацией и позволяет Точность измерения до ±0,02% масс. для полупроводниковой промышленности. Встроенная температурная компенсация обеспечивает стабильные результаты даже при нестабильных условиях процесса.
Система выдает результаты в режиме реального времени. Это В секунду выполняется более 30 измерений. На основании этих измерений вы получите текущее измеренное значение каждую секунду. Такое быстрое время реакции обеспечивает эффективный контроль процесса и раннее обнаружение отклонений.
Наши полупроводниковые датчики надежно работают в одном Диапазон температур от 5°C до 60°C и давлением до 4 бар.
Да, путем объединения измерения скорости звука с дополнительными физическими величинами (например, проводимостью). несколько компонентов определяться одновременно. Это означает, что можно контролировать и другие добавки в производстве полупроводников.
Полупроводниковая измерительная система полностью не требует обслуживания. В нем нет механически изнашиваемых деталей, уплотнений или оптических окон, которые могли бы быть повреждены. Регулярная калибровка не требуется — датчики LiquiSonic® остаются стабильными в течение многих лет.
Система предлагает различные цифровые интерфейсы (например, Profibus, Ethernet/IP, Foundation Fieldbus), а также аналоговые выходы 4–20 мА. Интеграция происходит легко через стандартизированные протоколы.
Поскольку скорость звука зависит от температуры, наш LiquiSonic® Датчики оснащены высокоточными датчиками температуры. Это позволяет учитывать влияние температуры на измерение. прямая компенсация становиться. Поэтому нет необходимости интегрировать дополнительные датчики температуры в полупроводниковый процесс.
Связанные приложения
Ванны для текстурирования и травления
Слои материала специально удаляются в травильных ваннах для создания желаемой структуры поверхности.
Очистка печатной платы
Очистка удаляет органические остатки, частицы и оксиды, обеспечивая надежную обработку проводящих дорожек.
Мониторинг травильной ванны
Травильные ванны растворяют оксиды и примеси с металлических поверхностей и должны постоянно поддерживаться в правильном диапазоне концентраций.
Мониторинг зеленого щелока
Зеленый щелок – высокощелочной побочный продукт бумажного производства, концентрацию которого необходимо контролировать для стабильности последующих процессов.
Измерение концентрации кислоты
Точное определение концентрации агрессивных химикатов имеет решающее значение для протекания реакций контролируемым и безопасным образом.
газовый скруббер
В газоочистителях или системах нейтрализации загрязняющие вещества удаляются из отработанного воздуха или жидкостей, что требует точного контроля используемых химикатов.