Перейти к содержимому

Измерение концентрации
в
полупроводниковой промышленности

Контроль концентрации для полупроводниковых процессов – для эффективного производства, стабильных процессов и высочайшего качества.

Запросить консультацию

До ±0,02 вес%

Измерение в реальном времени

Не требует обслуживания

Kostensparend

Проблемы при измерении концентрации в полупроводниковых процессах

В производстве полупроводников точное соотношение химических концентраций имеет решающее значение, но классические лабораторные анализы часто дают результаты слишком поздно. С LiquiSonic® позволяет SensoTech осуществлять надежный контроль в реальном времени, который легко интегрируется в существующие процессы. Система предоставляет точные данные без необходимости обслуживания, повышая безопасность и эффективность процессов.

Проблемы

  • Химические концентрации не в заданном диапазоне
  • Трудоемкие лабораторные анализы
  • Нет немедленной и надежной информации о химическом составе

Решение: LiquiSonic®

  • Явный контроль с LiquiSonic®
  • Немедленное отображение химической концентрации
  • Бесшовная интеграция в существующие системы
  • Без обслуживания и расходных материалов

Ваши преимущества

  • Отслеживаемые и надежные результаты измерений
  • Результаты измерений в реальном времени
  • Полностью не требующие обслуживания датчики и устойчивые к химическим веществам материалы
  • Легкая интеграция в системы любого размера и конфигурации

Наше решение: LiquiSonic® Измерительная система

Контроль концентрации в реальном времени

LiquiSonic® сочетает современную ультразвуковую технологию с температурно-компенсированным измерением, чтобы обеспечивать точные результаты при критических химических смесях в производстве полупроводников. Контроль в реальном времени обеспечивает стабильное качество продукции, снижает отклонения и предоставляет данные для оптимизации процессов. Это снижает эксплуатационные расходы и потребление химикатов, повышая безопасность и эффективность процессов.

  • Обеспечение качества: Контроль в реальном времени гарантирует точные результаты без отклонений.
  • Снижение затрат: Оптимизированные процессы для максимальной надежности и меньшего потребления.
  • Повышение эффективности: Более высокое качество продукции при сниженных эксплуатационных затратах.

Технические детали и спецификации

Принцип ультразвукового измерения

Скорость звука в жидкостях находится в прямой зависимости от концентрации растворенных веществ. Высокоточные измерения времени позволяют точно определить концентрацию.

Интеграция проводимости

В трехкомпонентных системах проводимость используется в качестве второго физического параметра для точного определения обеих концентраций.

Температурная компенсация

Два интегрированных в измерительную ячейку датчика PT1000 обеспечивают автоматическую температурную компенсацию и, следовательно, точные измерения при любых условиях. Прямая фиксация температуры процесса позволяет корректировать скорость звука в реальном времени, что улучшает стабильность и точность даже при колебаниях.

Экономическая выгода

Измерение концентрации в реальном времени повышает качество, эффективность и надежность, в то время как одновременно снижаются затраты и потребление ресурсов:

  • Сниженные эксплуатационные затраты за счет уменьшения потребления химикатов и меньшего количества лабораторных анализов
  • Меньше брака и доработок, так как отклонения могут быть обнаружены и исправлены сразу
  • Стабильное качество продукции обеспечивает конкурентоспособность и снижает количество рекламаций
  • Более эффективные процессы благодаря данным в реальном времени вместо задержанных лабораторных измерений
  • Более высокая доступность оборудования благодаря безобслуживаемым датчикам без расходных материалов
  • Оптимизация процессов за счет точных данных приводит к непрерывному улучшению и более эффективному использованию ресурсов
  • Быстрая окупаемость благодаря экономии на затратах на энергию и эксплуатацию

Технические спецификации

Точность измерений

До ±0,02 вес%

Диапазон температур

от 5 °C до 60 °C

Диапазон давления

До 4 бар

Материал и покрытие

PFA

Цифровая передача

До 1.000 м (больше по запросу)

Интерфейсы

4-20 мА, Profibus, Ethernet, Modbus, Feldbus, ...

Степень защиты

IP65

Калибровка

Однократная заводская калибровка

Обслуживание

Полностью не требует обслуживания

Примеры применения

Типичные химические процессные шаги и используемые нами для этого Процессные решения для процессов очистки и травления, а также специальных процессов травления и разработки:

SC-1 (APM)

NH4OH/Ч2O2

SC-2 (HPM)

HCI/Ч2O2

SPM (Пиранья)

H2SO4/Ч2O2

Удаление окисла (DHF)

HF

Удаление окисла (BOE/BHF)

HF/NH4F

Травление Si₃N₄

H3PO4

Изотропное травление кремния

HF/ЧNO3

Анизотропное травление кремния (MEMS)

KOH/Si

TMAH/Si

Проявка фоторезиста

TMAH

Азотная кислота / Уксусная кислота

HNO3/CH3COOH

HF / HCl

HF/ЧCl

Истории успеха и рекомендации:

Подробные примеры и рекомендации клиентов вы можете получить от нашей команды продаж. Свяжитесь с нами для получения конкретных примеров применения в вашей отрасли.

Получите бесплатную консультацию

Основные преимущества на первый взгляд

Постоянное качество

Мониторинг в реальном времени предотвращает отклонения и обеспечивает постоянное качество продукции.

Экономия затрат

Меньшее потребление химикатов и снижение эксплуатационных затрат за счет оптимизированных процессов.

Высочайшая эффективность

Данные в реальном времени позволяют принимать более быстрые решения и оптимизировать процессы.

Не требует обслуживания

Датчики стойки к химическим веществам и не требуют расходных материалов.

Получите консультацию без обязательств

* Обязательные поля

Детали

* Обязательные поля
Назад

Часто задаваемые вопросы

Что такое SensoTech?

SensoTech GmbH является ведущей компанией в области технологии измерения процессов с местоположением в Барлебене, недалеко от Магдебурга, Германия. Мы разрабатываем и производим инновационные решения для мониторинга и оптимизации промышленных процессов. Наша специализация заключается в точном измерении концентраций, плотностей и других параметров в жидкостях — в реальном времени и непосредственно во время процесса.

Чем LiquiSonic® отличается от традиционной измерительной техники?

В отличие от оптических методов, которые подвержены влиянию цвета или мутности, методов на основе проводимости, которые чувствительны к электрической проводимости, или методов на основе плотности, которые могут быть нарушены температурой или газовыми пузырями, наш ультразвуковой метод независимо от этих влияний.

они LiquiSonic® измерительная техника также не содержит подвижных частей или компонентов, которые могут изнашиваться или потребляться. После установки измерительная система поэтому полностью не требует обслуживания и не имеет дрейфа.

Датчики обеспечивают цифровую передачу сигнала на расстояние до 1000 м и позволяют непрерывное измерение в линии без отбора проб.

Насколько точны измерения концентрации?

Наша система использует измерение времени прохождения ультразвука для определения скорости звука в жидкости. Эта скорость звука напрямую коррелирует с химической концентрацией и позволяет точность измерения до ±0,02 мас.% .. Встроенная температурная компенсация обеспечивает стабильные результаты даже при изменяющихся условиях процесса.

Как быстро вы получаете результаты измерений?

Система предоставляет результаты в реальном времени. Она выполняет более 30 измерений в секунду. На основе этих измерений вы получаете каждую секунду актуальное значение измерения.. Это быстрое время реакции позволяет эффективно управлять процессом и своевременно выявлять отклонения.

Как реагирует LiquiSonic® на колебания температуры?

Поскольку скорость звука, как и все другие физические величины, зависит от температуры, все наши датчики LiquiSonic® оснащены высокоточными температурными датчиками. Таким образом, влияние температуры на измерение напрямую компенсируется поэтому нет необходимости в установке дополнительных температурных датчиков.

Какие условия процесса могут быть охвачены?

Наши полупроводниковые датчики надежно работают в температурном диапазоне от 5 °C до 60 °C и при давлении до 4 бар.

Можно ли одновременно контролировать несколько компонентов?

Да, путем комбинирования измерения скорости звука с дополнительными физическими величинами (например, проводимостью) можно несколько компонентов одновременно определяются. Таким образом, можно контролировать и другие добавки.

Как осуществляется интеграция в существующие системы автоматизации?

Система предлагает различные цифровые интерфейсы (например, Profibus, Ethernet / IP, Foundation Fieldbus), а также аналоговые выходы 4-20 мА. Интеграция осуществляется без проблем по стандартизированным протоколам.

Какое обслуживание требуется?

Система является полностью не требует обслуживания. Нет механических изнашиваемых частей, уплотнений или оптических окон, которые могут быть повреждены. Регулярная калибровка не требуется - датчики остаются стабильными в течение многих лет.

Связанные приложения


Текстурные и травильные ванны

В травильных ваннах материал удаляется целенаправленно, чтобы создать желаемые поверхностные структуры.

Очистка печатных плат

Очистка удаляет органические остатки, частицы и оксиды, чтобы проводники могли быть надежно обработаны.

Контроль травильной ванны

Травильные ванны удаляют оксиды или загрязнения с металлических поверхностей и должны поддерживаться в правильном концентрационном диапазоне.

Контроль зеленого щелока

Зеленый щелок - это высоко щелочное побочное продукт в производстве бумаги, концентрация которого должна контролироваться для стабильных последующих процессов.

Измерение концентрации кислоты

Точное определение концентраций в агрессивных химикатах имеет решающее значение для контролируемого и безопасного протекания реакций.

Газоочиститель

В газоочистителях или нейтрализационных установках загрязняющие вещества удаляются из выхлопных газов или жидкостей, для чего необходим точный контроль используемых химикатов.