浓度测量
在
半导体行业
在
半导体行业
高达±0.02 wt%
实时测量
免维护
节省成本
半导体工艺中浓度测量的挑战
在半导体制造中，化学浓度的精确比例至关重要，但传统的实验室分析往往提供结果太晚。通过 LiquiSonic® SensoTech实现了可靠的实时监控，能够轻松集成到现有工艺中。该系统提供免维护的精确测量数据，从而提高了工艺安全性和效率。
挑战
-
化学浓度不在目标范围内
-
耗时的实验室分析
-
没有即时和可靠的化学成分信息
解决方案：LiquiSonic®
-
使用LiquiSonic®进行明确的监控
-
即时显示化学浓度
-
无缝集成到现有系统中
-
免维护且无耗材
您的优势
-
可追溯和可靠的测量结果
-
实时测量结果
-
完全免维护的传感器和耐化学品材料
-
轻松集成到任何大小和配置的系统中
我们的解决方案：LiquiSonic® 测量系统
实时监控浓度
LiquiSonic® kombiniert moderne Ultraschalltechnologie mit temperaturkompensierter Messung, um präzise Ergebnisse bei kritischen Chemikalienmischungen 在 Halbleiterfertigung zu liefern. Die Echtzeitüberwachung sorgt für eine stabile Produktqualität, reduziert Abweichungen und stellt Daten für Prozessoptimierungen bereit. Dadurch sinken Betriebskosten und Chemikalienverbrauch, während Prozesssicherheit und Effizienz steigen.
-
确保质量： 实时监控保证无偏差的精确结果。
-
降低成本： 优化的流程以实现最大可靠性 和更少的 消耗。
-
提高效率： 更高的产品质量 降低运营成本。
技术细节和规格
超声波测量原理
液体中的声速与溶解物质的浓度直接相关。高精度时间测量可实现浓度的精确确定。
电导率集成
在三组分系统中，电导率作为第二个物理参数用于明确确定两种浓度。
温度补偿
两个集成在测量池中的PT1000传感器确保自动温度补偿，从而在所有条件下提供精确的测量值。通过直接捕获过程温度，实时校正声速，提高了在波动情况下的稳定性和准确性。
经济效益
实时浓度测量提高 质量、效率和可靠性，同时 成本和资源消耗降低：
-
降低运营成本 通过减少化学品消耗和实验室分析
-
更少的废品和返工，因为偏差可以立即被识别和纠正
-
稳定的产品质量 确保竞争力并减少投诉
-
更高效的流程 通过实时数据而不是延迟的实验室测量
-
更高的设备可用性 通过无耗材的免维护传感器
-
通过精确数据进行过程优化 导致持续改进和更好的资源利用
-
快速投资回报 由于节省能源和运营成本
技术规格
测量精度 | 高达±0.02 wt% |
温度范围 | 5 °C至60 °C |
压力范围 | 高达4 bar |
材料和涂层 | PFA |
数字传输 | 高达1,000 m（更多信息请咨询） |
接口 | 4-20 mA, Profibus, Ethernet, Modbus, Feldbus, ... |
防护等级 | IP65 |
校准 | 一次性工厂校准 |
维护 | 完全免维护 |
应用实例
典型的 化学工艺步骤 和我们为此使用的 工艺解决方案 用于清洗和蚀刻工艺以及特殊蚀刻和开发工艺：
SC-1（APM）
氨4氧化物/氢2O2
SC-2（HPM）
氯化氢/氢2O2
SPM（食人鱼）
H2硫氧化物4/氢2O2
氧化物去除 (DHF)
氢氟酸
氧化物去除 (BOE/BHF)
氢氟酸/氨4F
氮化硅蚀刻
H3磷酸4
各向同性硅蚀刻
氢氟酸/硝酸3
各向异性硅蚀刻 (MEMS)
氢氧化钾/硅
四甲基氢氧化铵/硅
光刻胶显影
四甲基氢氧化铵
硝酸/醋酸
硝酸3/碳氢3羧酸
氢氟酸/盐酸
氢氟酸/盐酸
成功案例和参考资料：
您可以从我们的销售团队获得详细的案例研究和客户参考。请联系我们以获取您所在行业的具体应用示例。
一览主要优势
恒定的质量
实时监控防止偏差并确保恒定的产品质量。
成本节约
通过优化流程减少化学品消耗和降低运营成本。
最高效率
实时数据支持更快的决策和优化的流程。
免维护
传感器耐化学品且不需要消耗品。
常见问题
SensoTech GmbH ist ein führendes 公司 im Bereich der Prozessmesstechnik mit Sitz in Barleben, in der Nähe von Magdeburg, Deutschland. Wir entwickeln und produzieren innovative Lösungen zur Überwachung und Optimierung industrieller Prozesse. Unsere Spezialisierung liegt hierbei in der präzisen Messung von Konzentrationen, Dichten und anderen Parametern in Flüssigkeiten - in Echtzeit und direkt während des Prozesses.
与受颜色或浊度影响的光学方法、对电导率敏感的导电性方法或受温度或气泡干扰的密度方法不同，我们的 超声波方法 不受这些影响。
该 LiquiSonic® 测量技术也不包含任何活动部件或会磨损或消耗的组件。因此，安装后测量系统 完全免维护 且无漂移。
传感器提供长达1000米的数字信号传输，并允许 连续在线测量 无需取样。
Unser System nutzt die Ultraschall-Laufzeitmessung zur Bestimmung der Schallgeschwindigkeit in Flüssigkeiten. 该 se Schallgeschwindigkeit korreliert direkt mit der chemischen Konzentration und ermöglicht 测量精度高达±0.02 wt% für die Halbleiterindustrie。集成的温度补偿确保即使在波动的工艺条件下也能获得稳定的结果。
系统实时提供结果。它 每秒进行超过30次测量。基于这些测量，您会获得 每秒一个当前测量值。这种快速响应时间使有效的过程控制和偏差的早期检测成为可能。
我们的半导体传感器在以下方面可靠工作 温度范围为5°C至60°C 和压力高达4巴。
是的，通过将声速测量与其他物理量（例如电导率）结合，可以 多个组件 gleichzeitig bestimmt werden. So lassen sich auch weitere Zusatzstoffe 在 Halbleiterfertigung überwachen.
Das Halbleiter-测量系统 ist 完全免维护. Es gibt keine mechanischen Verschleißteile, Dichtungen oder optische Fenster, die angegriffen werden könnten. Eine regelmäßige 校准 ist nicht erforderlich - die LiquiSonic® Sensoren bleiben über Jahre stabil.
该系统提供多种数字接口（例如Profibus、以太网/IP、Foundation Fieldbus）以及模拟4-20 mA输出。 Integration erfolgt problemlos 通过标准化协议。
Da die Schallgeschwindigkeit von der Temperatur beeinflusst wird, sind unsere LiquiSonic® Sensoren mit hochpräzisen Temperatursensoren ausgestattet. So kann der Einfluss der Temperatur auf die Messung 直接补偿 werden. Daher ist es nicht nötig, zusätzliche Temperatursensoren in den Halbleiterprozess einzubinden.