浓度测量
在
半导体行业
在
半导体行业
高达 ±0.02 重量%
实时测量
免维护
节省成本
测量半导体工艺中浓度的挑战
在半导体生产中，化学浓度的精确比例至关重要，但经典的实验室分析常常为时已晚提供结果。和 力声® SensoTech 可实现可靠的实时监控，并可轻松集成到现有流程中。该系统无需维护即可提供精确的测量数据，从而提高过程可靠性和效率。
挑战
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化学浓度不在目标范围内
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耗时的实验室分析
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没有即时可靠的化学成分信息
解决方案：LiquiSonic®
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使用 LiquiSonic® 进行清晰监控
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即时显示化学浓度
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无缝集成到现有系统
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免维护、无耗材
您的优势
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测量结果可追溯且可靠
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实时测量结果
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完全免维护的传感器和耐化学材料
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轻松集成到任何规模和配置的系统中
我们的解决方案：LiquiSonic® 测量系统
实时监测浓度
力声® 将现代超声波技术与温度补偿测量相结合，为半导体制造中的关键化学混合物提供精确的结果。实时监控确保产品质量稳定，减少偏差，为工艺优化提供数据。这降低了运营成本和化学品消耗，同时提高了工艺可靠性和效率。
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确保质量： 实时监控保证结果精确无偏差。
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降低成本： 优化流程以实现最大可靠性 以及更少 消耗。
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提高效率： 更高的产品质量 降低运营成本。
技术细节和规格
超声波测量原理
声音在液体中的传播速度与溶解物质的浓度直接相关。高精度的时间测量可以准确地确定浓度。
电导率积分
在三组分系统中，电导率用作第二个物理参数来清楚地确定两种浓度。
温度补偿
集成到测量单元中的两个 PT1000 传感器可确保自动温度补偿，从而在所有条件下提供精确的测量值。通过直接检测过程温度，实时校正声速，即使在出现波动时也能提高稳定性和准确性。
经济效益
实时浓度测量增加 质量、效率和可靠性，同时 成本和资源消耗减少：
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降低运营成本 通过降低化学品消耗和减少实验室分析
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减少废品和返工，因为可以立即识别并纠正偏差
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产品质量稳定 确保竞争力并减少投诉
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更高效的流程 通过实时数据而不是延迟的实验室测量
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更高的系统可用性 得益于无需消耗品的免维护传感器
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通过精确数据优化流程 导致持续改进和更好地利用资源
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快速投资回报 得益于能源和运营成本的节省
技术规格
测量精度 | 高达 ±0.02 重量% |
温度范围 | 5°C 至 60°C |
打印区域 | 高达 4 巴 |
材质及涂层 | 粉煤灰 |
数字传输 | 长达 1,000 m（更多可应要求提供） |
接口 | 4-20 mA、Profibus、以太网、Modbus、现场总线... |
防护等级 | IP65 |
校准 | 一次性工厂校准 |
维护 | 完全免维护 |
应用实例
典型的 化学工艺步骤 我们的用于此 工艺解决方案 用于清洁和蚀刻工艺以及特殊蚀刻和显影工艺：
SC-1（APM）
NH4羟基/氢2O2
SC-2（HPM）
盐酸/H2O2
SPM（食人鱼）
H2所以4/H2O2
氧化物去除（DHF）
高频
氧化物去除（BOE/BHF）
氟化氢/氨4F
Si₃N₄蚀刻
H3邮政信箱4
各向同性硅蚀刻
高频/耳鼻喉科3
各向异性硅蚀刻 (MEMS)
氢氧化钾/硅
四甲基氢氧化铵/硅
光刻胶显影
四甲基氢氧化铵
硝酸/醋酸
耳鼻喉科3/CH3羟基
氢氟酸/盐酸
氢氟酸/盐酸
成功案例和参考：
我们的销售团队可以提供详细的案例研究和客户参考。请联系我们获取您所在行业的具体应用示例。
最重要的优势一览
品质稳定
实时监控可防止偏差并确保一致的产品质量。
节省成本
通过优化工艺减少化学品消耗并降低运营成本。
最高效率
实时数据有助于更快地做出决策并优化流程。
免维护
传感器具有耐化学性，无需消耗品。
常见问题
森索泰克有限公司 是一家过程测量技术领域的领先公司，总部位于德国马格德堡附近的巴莱本。我们开发和生产用于监控和优化工业流程的创新解决方案。我们的专长在于直接在过程中实时精确测量液体中的浓度、密度和其他参数。
与受颜色或雾度影响的光学方法、对电导率敏感的基于电导率的方法或可能受到温度或气泡干扰的基于密度的方法不同，我们的方法 超声波程序 独立于这些影响。
这 LiquiSonic® 测量技术也不包含移动部件，也不包含会磨损或用完的组件。安装后，测量系统 完全免维护 并且无漂移。
这些传感器提供长达 1000 m 的数字信号传输，并能够 连续在线测量 无需采样。
我们的系统使用超声波传播时间测量来确定液体中的声速。这种声速与化学浓度直接相关，并允许 测量精度高达 ±0.02 wt% 用于半导体行业。即使在波动的过程条件下，集成的温度补偿也能确保稳定的结果。
系统实时提供结果。它 每秒执行超过 30 次测量。根据这些测量结果，您得到 每秒一个当前测量值。这种快速响应时间可以实现有效的过程控制和及早检测偏差。
我们的半导体传感器集成在一起可靠工作 温度范围为 5°C 至 60°C 压力高达 4 bar。
是的，通过将声速测量与其他物理量（例如电导率）相结合。 多个组件 同时确定。这意味着半导体生产中的其他添加剂也可以受到监控。
半导体测量系统是 完全免维护。没有可能受到攻击的机械磨损部件、密封件或光学窗口。无需定期校准 - LiquiSonic® 传感器可保持稳定多年。
该系统提供各种数字接口（例如 Profibus、以太网/IP、基金会现场总线）以及模拟 4-20 mA 输出。整合发生 通过标准化协议轻松实现。
由于声速受温度影响，我们的 LiquiSonic® 传感器配备高精度温度传感器。这允许温度对测量的影响 直接补偿 变得。因此，无需将额外的温度传感器集成到半导体工艺中。