SensoTech GmbH ist ein führendes Unternehmen im Bereich der Prozessmesstechnik mit Sitz in Barleben, in der Nähe von Magdeburg, Deutschland. Wir entwickeln und produzieren innovative Lösungen zur Überwachung und Optimierung industrieller Prozesse. Unsere Spezialisierung liegt hierbei in der präzisen Messung von Konzentrationen, Dichten und anderen Parametern in Flüssigkeiten - in Echtzeit und direkt während des Prozesses.

Was unterscheidet LiquiSonic von herkömmlicher Messtechnik?

Im Gegensatz zu optischen Verfahren, die durch Farbe oder Trübung beeinflusst werden, leitfähigkeitsbasierten Verfahren, die empfindlich auf elektrische Leitfähigkeit reagieren, oder dichtebasierten Verfahren, die durch Temperatur oder Gasblasen gestört werden können, ist unser Ultraschall-Verfahren unabhängig von diesen Einflüssen. Die LiquiSonic® Messtechnik enthält zudem weder bewegliche Teile noch Komponenten, die verschleißen oder verbraucht werden können. Nach der Installation ist das Messsystem daher vollständig wartungsfrei und driftfrei. Die Sensoren bieten digitale Signalübertragung bis zu 1000 m und ermöglichen kontinuierliche Inline-Messung ohne Probenentnahme.

Wie präzise sind die Konzentrationsmessungen in der Halbleiterindustrie?

Unser System nutzt die Ultraschall-Laufzeitmessung zur Bestimmung der Schallgeschwindigkeit in Flüssigkeiten. Diese Schallgeschwindigkeit korreliert direkt mit der chemischen Konzentration und ermöglicht Messgenauigkeiten von bis zu ±0,02 wt% für die Halbleiterindustrie. Die integrierte Temperaturkompensation gewährleistet stabile Ergebnisse auch bei schwankenden Prozessbedingungen.

Wie schnell liefert LiquiSonic Messergebnisse?

Das System liefert Ergebnisse in Echtzeit. Es werden über 30 Messungen pro Sekunde durchgeführt. Basierend auf diesen Messungen erhalten Sie jede Sekunde einen aktuellen Messwert. Diese schnelle Reaktionszeit ermöglicht eine effektive Prozessregelung und eine frühzeitige Erkennung von Abweichungen.

Welche Prozessbedingungen können abgedeckt werden?

Unsere Halbleiter-Sensoren arbeiten zuverlässig in einem Temperaturbereich von 5 °C bis 60 °C und Drücken bis zu 4 bar.

Können mehrere Komponenten gleichzeitig überwacht werden?

Ja, durch Kombination der Schallgeschwindigkeitsmessung mit zusätzlichen physikalischen Größen (z. B. Leitfähigkeit) können mehrere Komponenten gleichzeitig bestimmt werden. So lassen sich auch weitere Zusatzstoffe in der Halbleiterfertigung überwachen.

Welche Wartung ist für zuverlässige Messergebnisse erforderlich?

Das Halbleiter-Messsystem ist vollständig wartungsfrei. Es gibt keine mechanischen Verschleißteile, Dichtungen oder optische Fenster, die angegriffen werden könnten. Eine regelmäßige Kalibrierung ist nicht erforderlich - die LiquiSonic® Sensoren bleiben über Jahre stabil.

Wie erfolgt die Integration in bestehende Automatisierungssysteme?

Das System bietet verschiedene digitale Schnittstellen (z. B. Profibus, Ethernet / IP, Foundation Fieldbus) sowie analoge 4-20 mA Ausgänge. Die Integration erfolgt problemlos über standardisierte Protokolle.

Wie reagiert LiquiSonic auf Temperaturschwankungen im Halbleiterprozess?

Da die Schallgeschwindigkeit von der Temperatur beeinflusst wird, sind unsere LiquiSonic® Sensoren mit hochpräzisen Temperatursensoren ausgestattet. So kann der Einfluss der Temperatur auf die Messung direkt kompensiert werden. Daher ist es nicht nötig, zusätzliche Temperatursensoren in den Halbleiterprozess einzubinden.

浓度测量
在
半导体行业

半导体工艺的浓度监测 - 实现高效生产、稳定工艺和最高质量。

请求咨询

高达±0.02 wt%

实时测量

免维护

节约成本

半导体工艺中浓度测量的挑战

在半导体制造中，化学浓度的精确比例至关重要，但传统的实验室分析往往提供结果过晚。通过 LiquiSonic® SensoTech 提供可靠的实时监测，能够轻松集成到现有工艺中。该系统提供免维护的精确测量数据，从而提高工艺安全性和效率。

挑战

化学浓度不在目标范围内
耗时的实验室分析
没有关于化学成分的即时和可靠的信息

解决方案：LiquiSonic®

使用 LiquiSonic® 的明确监测
即时显示化学浓度
无缝集成到现有系统中
免维护且无需耗材

您的优势

可追溯且可靠的测量结果
实时测量结果
完全免维护的传感器和耐化学品材料
轻松集成到任何规模和配置的系统中

我们的解决方案：LiquiSonic^®测量系统

实时监测浓度

LiquiSonic^® 结合现代超声波技术和温度补偿测量，在半导体制造中的关键化学混合物中提供精确结果。实时监测确保稳定的产品质量，减少偏差，并提供数据以进行工艺优化。这降低了运营成本和化学品消耗，同时提高了工艺安全性和效率。

确保质量： 实时监测保证无偏差的精确结果。
降低成本： 优化流程以实现最大可靠性和较低的消耗。
提高效率： 在更高的产品质量降低运营成本。

技术细节和规格

超声波测量原理

液体中的声速与溶解物质的浓度直接相关。高精度的时间测量可以精确确定浓度。

电导率集成

在三组分系统中，电导率作为第二物理参数用于明确确定两种浓度。

温度补偿

集成在测量单元中的两个PT1000传感器提供自动温度补偿，从而在所有条件下实现精确的测量值。通过直接测量过程温度，实时校正声速，从而在波动时提高稳定性和精度。

经济效益

实时浓度测量提高 质量、效率和可靠性，同时 降低成本和资源消耗：

降低运营成本 通过减少化学品消耗和减少实验室分析
减少废品和返工，因为偏差可以立即被检测和纠正
稳定的产品质量 确保竞争力并减少投诉
更高效的流程 通过实时数据而非延迟的实验室测量
更高的设备可用性 通过无耗材的免维护传感器
通过精确数据进行过程优化 导致持续改进和更好的资源利用
快速投资回报 由于节省能源和运营成本

技术规格

测量精度	高达±0.02 wt%
温度范围	5 °C至60 °C
压力范围	高达4巴
材料和涂层	PFA
数字传输	高达1,000米（更多信息请咨询）
接口	4-20 mA，Profibus，以太网，Modbus，现场总线，...
防护等级	IP65
校准	一次性工厂校准
维护	完全免维护

应用实例

典型 化学过程步骤 以及我们使用的 过程解决方案 用于清洗和蚀刻过程以及特殊蚀刻和开发过程：

SC-1（APM）

氨水₄氧化/氢化₂O₂

SC-2（HPM）

氢氯酸/氢化₂O₂

SPM（食人鱼）

H₂硫化物₄/氢₂O₂

氧化物去除 (DHF)

氢氟酸

氧化物去除 (BOE/BHF)

氢氟酸/氨₄F

氮化硅蚀刻

H₃磷酸盐₄

各向同性硅蚀刻

氢氟酸/硝酸₃

各向异性硅蚀刻 (MEMS)

氢氧化钾/硅

四甲基氢氧化铵/硅

光刻胶显影

四甲基氢氧化铵

硝酸/醋酸

硝酸₃/碳氢₃羧酸

氢氟酸/盐酸

成功案例和参考资料：

您可以从我们的销售团队获得详细的案例研究和客户参考。请联系我们以获取您所在行业的具体应用示例。

免费咨询

一目了然的主要优势

恒定质量

实时监控防止偏差，确保恒定的产品质量。

成本节约

通过优化流程减少化学品消耗和降低运营成本。

最高效率

实时数据支持更快的决策和优化的流程。

免维护

传感器耐化学品，不需要耗材。

描述您的应用 - 我们将联系您进行专业协调！
我们将共同澄清边界条件和可能的解决方案。

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常见问题

什么是SensoTech？

SensoTech GmbH 是一家位于德国马格德堡附近巴尔勒本的领先过程测量技术公司。我们开发和生产用于监测和优化工业流程的创新解决方案。我们的专长在于液体中浓度、密度和其他参数的精确测量 - 实时并直接在过程中进行。

是什么让LiquiSonic与传统测量技术不同？

与通过颜色或浑浊度受影响的光学方法、对电导率敏感的基于电导率的方法或可能受到温度或气泡干扰的基于密度的方法不同，我们的 超声波技术 不受这些影响。

该 LiquiSonic®测量技术还不包含任何可磨损或消耗的活动部件或组件。因此，安装后，测量系统 完全免维护 且无漂移。

传感器提供高达1000米的数字信号传输，并允许 连续在线测量 无需取样。

在半导体行业中，浓度测量的精确度如何？

我们的系统使用超声波飞行时间测量来确定液体中的声速。该声速与化学浓度直接相关，并允许 测量精度高达±0.02 wt% 用于半导体行业。集成的温度补偿即使在波动的工艺条件下也能保证稳定的结果。

LiquiSonic多快能提供测量结果？

该系统实时提供结果。它每秒进行超过30次测量。基于这些测量，您可以 每秒获得一个当前测量值。这种快速反应时间使得有效的过程控制和偏差的早期检测成为可能。

可以涵盖哪些工艺条件？

我们的半导体传感器在以下环境中可靠运行 温度范围为5°C至60°C 以及压力高达4巴。

可以同时监测多个组件吗？

是的，通过将声速测量与其他物理量（例如电导率）结合，可以 多个组件 同时确定。因此，还可以监测半导体生产中的其他添加剂。

为了获得可靠的测量结果，需要进行哪些维护？

半导体测量系统是 完全免维护。没有机械磨损部件、密封件或光学窗口可能会受到影响。无需定期校准 - LiquiSonic® 传感器多年保持稳定。

如何集成到现有的自动化系统中？

该系统提供多种数字接口（例如Profibus、以太网/IP、Foundation Fieldbus）以及模拟4-20 mA输出。集成是 通过标准化协议轻松实现。

LiquiSonic在半导体过程中的温度波动中如何反应？

由于声速受温度影响，我们的LiquiSonic^® 传感器配备了高精度温度传感器。因此，温度对测量的影响可以 直接补偿 。因此，无需在半导体过程中集成额外的温度传感器。

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