SensoTech GmbH ist ein führendes Unternehmen im Bereich der Prozessmesstechnik mit Sitz in Barleben, in der Nähe von Magdeburg, Deutschland. Wir entwickeln und produzieren innovative Lösungen zur Überwachung und Optimierung industrieller Prozesse. Unsere Spezialisierung liegt hierbei in der präzisen Messung von Konzentrationen, Dichten und anderen Parametern in Flüssigkeiten – in Echtzeit und direkt während des Prozesses.

Was unterscheidet LiquiSonic® von herkömmlicher Messtechnik?

Im Gegensatz zu optischen Verfahren, die durch Farbe oder Trübung beeinflusst werden, leitfähigkeitsbasierten Verfahren, die empfindlich auf elektrische Leitfähigkeit reagieren, oder dichtebasierten Verfahren, die durch Temperatur oder Gasblasen gestört werden können, ist unser Ultraschall-Verfahren unabhängig von diesen Einflüssen. Die LiquiSonic® Messtechnik enthält zudem weder bewegliche Teile noch Komponenten, die verschleißen oder verbraucht werden können. Nach der Installation ist das Messsystem daher vollständig wartungsfrei und driftfrei. Die Sensoren bieten digitale Signalübertragung bis zu 1000 m und ermöglichen kontinuierliche Inline-Messung ohne Probenentnahme.

Wie präzise sind die Konzentrationsmessungen?

Unser System nutzt die Ultraschall-Laufzeitmessung zur Bestimmung der Schallgeschwindigkeit in der Flüssigkeit. Diese Schallgeschwindigkeit korreliert direkt mit der chemischen Konzentration und ermöglicht Messgenauigkeiten von ±0,02 wt%. Die integrierte Temperaturkompensation gewährleistet stabile Ergebnisse auch bei schwankenden Prozessbedingungen.

Wie schnell erhalten Sie Messergebnisse?

Das System liefert Ergebnisse in Echtzeit. Mit einer Frequenz von 4 MHz werden 32 Messungen pro Sekunde durchgeführt. Basierend auf diesen Messungen erhalten Sie jede Sekunde einen aktuellen Messwert. Diese schnelle Reaktionszeit ermöglicht eine effektive Prozessregelung und eine frühzeitige Erkennung von Abweichungen.

Wie reagiert LiquiSonic® auf Temperaturschwankungen?

Da die Schallgeschwindigkeit wie alle anderen physikalischen Größen von der Temperatur beeinflusst wird, sind all unsere LiquiSonic® Sensoren mit hochpräzisen Temperatursensoren ausgestattet. So kann der Einfluss der Temperatur auf die Messung direkt kompensiert werden. Daher ist es nicht nötig, zusätzliche Temperatursensoren einzubinden.

Welche Prozessbedingungen können abgedeckt werden?

Unsere Sensoren arbeiten zuverlässig in einem Temperaturbereich von -40 °C bis 200 °C und Drücken bis zu 500 bar. Durch verschiedene Materialoptionen wie beispielsweise Edelstahl, Hastelloy, oder PFA-Beschichtungen können auch aggressive Medien gemessen werden. Ex-Schutz für Zone 1 und 2 ist ebenfalls verfügbar.

Können auch extreme Betriebsbereiche abgedeckt werden?

Ja, unsere Sensoren sind für extreme Bedingungen ausgelegt. Neben dem erweiterten Temperatur- und Druckbereich bieten wir kundenspezifische Anpassungen wie Sensorlängen bis 3000 mm, spezielle Legierungen für korrosive Medien und verschiedene Schutzarten, zum Beispiel optionalen Ex-Schutz. Jeder Sensor wird individuell nach Ihren Anforderungen konfiguriert.

Können mehrere Komponenten gleichzeitig überwacht werden?

Ja, durch Kombination der Schallgeschwindigkeitsmessung mit zusätzlichen physikalischen Größen (z. B. Leitfähigkeit) können mehrere Komponenten gleichzeitig bestimmt werden. So lassen sich auch weitere Zusatzstoffe überwachen.

Wie erfolgt die Integration in bestehende Automatisierungssysteme?

Das System bietet verschiedene digitale Schnittstellen (z. B. Profibus, Ethernet / IP, Foundation Fieldbus) sowie analoge 4-20 mA Ausgänge. Die Integration erfolgt problemlos über standardisierte Protokolle.

Welche Wartung ist erforderlich?

Das System ist vollständig wartungsfrei. Es gibt keine mechanischen Verschleißteile, Dichtungen oder optische Fenster, die angegriffen werden könnten. Eine regelmäßige Kalibrierung ist nicht erforderlich - die Sensoren bleiben über Jahre stabil.

浓度测量
在
半导体行业

半导体工艺的浓度监控 - 实现高效生产、稳定工艺和最高质量。

请求咨询

±0,02 wt% 精确度

实时测量

免维护

节省成本

半导体工艺中浓度测量的挑战

在半导体生产中，精确的化学浓度至关重要，但传统的实验室分析往往结果太慢。 LiquiSonic® SensoTech 提供可靠的实时监控，易于集成到现有工艺中。系统提供免维护的精确测量数据，从而提高过程安全性和效率。

挑战

化学浓度不在目标范围内
耗时的实验室分析
没有立即和可靠的化学成分信息

解决方案：LiquiSonic®

使用 LiquiSonic® 进行明确监控
即时显示化学浓度
无缝集成到现有系统中
免维护且无耗材

您的优势

可追溯和可靠的测量结果
实时测量结果
完全免维护的传感器和耐化学材料
简单集成到任何规模和配置的系统中

我们的解决方案：LiquiSonic^®测量系统

实时监控浓度

LiquiSonic® 结合现代超声波技术和温度补偿测量，在半导体生产中的关键化学混合物中提供精确结果。实时监控确保产品质量稳定，减少偏差，并为过程优化提供数据，从而降低运营成本和化学品消耗，同时提高过程安全性和效率。

确保质量： 实时监控保证精确结果无偏差。
降低成本： 减少化学品消耗和运营成本。
提高效率： 优化工艺以最大化半导体生产的可靠性。

技术细节和规格

超声波测量原理

液体中的声速与溶解物质的浓度直接相关。高精度的时间测量可以精确确定浓度。

电导率集成

在三组分系统中，电导率作为第二个物理参数用于明确确定两种浓度。

温度补偿

两个集成在测量单元中的PT1000传感器确保自动温度补偿，从而在所有条件下提供精确的测量值。通过直接测量工艺温度，实时校正声速，从而在波动情况下提高稳定性和准确性。

经济效益

实时浓度测量提高 质量、效率和可靠性，同时 降低成本和资源消耗：

降低运营成本 通过减少化学品消耗和实验室分析
减少废品和返工，因为偏差可以立即被检测和纠正
稳定的产品质量 确保竞争力并减少投诉
更高效的流程 通过实时数据而非延迟的实验室测量
更高的设备可用性 通过无需维护的传感器且无耗材
通过精确数据进行流程优化 导致持续改进和更好的资源利用
快速投资回报 由于节省能源和运营成本

技术规格

测量精度	通常为±0.02 wt%
测量频率	4 兆赫
温度范围	-40 °C 至 200 °C
压力范围	高达500巴
传感器长度	高达3000毫米
材料和涂层	不锈钢、哈氏合金、PFA、PVDF、ETFE，...
数字传输	高达1000米（更多信息请咨询）
接口	4-20 mA，Profibus，以太网，Modbus，现场总线，...
防护等级	IP65 & Ex-Schutz verfügbar
校准	一次性工厂校准
维护	完全免维护

应用示例

典型 化学工艺步骤 我们使用的 工艺解决方案 用于清洗和蚀刻工艺以及特殊蚀刻和开发工艺:

SC-1 (APM)

NH₄OH/氢₂O₂

SC-2 (HPM)

HCI/氢₂O₂

SPM（食人鱼）

H₂硫酸₄/氢₂O₂

氧化物去除（DHF）

氢氟酸

氧化物去除（BOE/BHF）

氢氟酸/氨₄F

硅氮化物蚀刻

H₃磷酸₄

各向同性硅蚀刻

氢氟酸/硝酸₃

各向异性硅蚀刻（MEMS）

氢氧化钾/硅

四甲基氢氧化铵/硅

光刻胶显影

四甲基氢氧化铵

硝酸/醋酸

硝酸₃/碳氢₃羧酸

氢氟酸/盐酸

成功案例和参考资料：

您可以从我们的销售团队获得详细的案例研究和客户参考。请联系我们，获取您所在行业的具体应用实例。

免费咨询

一目了然的主要优点

恒定质量

实时监控防止偏差并确保恒定的产品质量。

节省成本

通过优化流程减少化学品消耗和降低运营成本。

最高效率

实时数据可实现更快的决策和优化的操作。

免维护

传感器耐化学品且不需要耗材。

立即获得无义务的咨询

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常见问题

什么是SensoTech？

SensoTech GmbH 是一家领先的过程测量技术公司，总部位于德国马格德堡附近的巴尔莱本。我们开发和生产用于监控和优化工业过程的创新解决方案。我们的专长在于实时和直接测量液体中的浓度、密度和其他参数。

LiquiSonic®与传统测量技术有何不同？

与受颜色或浑浊度影响的光学方法、电导率敏感的电导率方法或可能受温度或气泡干扰的密度方法不同，我们的 超声波方法 不受这些影响。

这些 LiquiSonic®测量技术不包含任何活动部件或可能磨损或消耗的组件。因此，安装后测量系统 完全免维护 且无漂移。

传感器提供高达1000米的数字信号传输，并实现 连续在线测量 无需取样。

浓度测量的精确度如何？

我们的系统利用超声波飞行时间测量来确定液体中的声速。该声速与化学浓度直接相关，并实现 测量精度为±0,02 wt%。集成的温度补偿确保即使在波动的工艺条件下也能获得稳定的结果。

您多快能获得测量结果？

该系统实时提供结果。以4 MHz的频率每秒进行32次测量。基于这些测量，您将获得 每秒一个当前测量值。这种快速响应时间使得有效的过程控制和偏差的早期检测成为可能。

LiquiSonic®如何应对温度波动？

由于声速和所有其他物理量一样受温度影响，我们所有的LiquiSonic®传感器都配备了高精度温度传感器。因此，温度对测量的影响可以 直接补偿 。因此，无需添加额外的温度传感器。

可以涵盖哪些工艺条件？

我们的传感器在以下条件下可靠工作 温度范围为-40°C至200°C 和 压力高达500 bar通过不锈钢、哈氏合金或PFA涂层等多种材料选项，也可以测量腐蚀性介质。Zone 1和Zone 2的防爆保护也可用。

极端操作区域也能覆盖吗？

是的，我们的传感器专为极端条件设计。除了扩展的温度和压力范围外，我们还提供定制调整，如传感器长度可达3000毫米，针对腐蚀性介质的特殊合金和各种保护类型，例如可选的防爆保护。每个传感器都 根据您的要求个性化 配置。

可以同时监测多个组件吗？

是的，通过将声速测量与其他物理量（例如电导率）结合，可以 多个组件 同时确定。因此，还可以监控其他添加剂。

如何集成到现有的自动化系统中？

该系统提供多种数字接口（例如Profibus、以太网/IP、Foundation Fieldbus）以及模拟4-20 mA输出。 集成顺利进行 通过标准化协议。

需要什么维护？

系统是 完全免维护。没有机械磨损部件、密封件或可能被攻击的光学窗口。不需要定期校准——传感器多年来保持稳定。

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