SensoTech GmbH ist ein führendes Unternehmen im Bereich der Prozessmesstechnik mit Sitz in Barleben, in der Nähe von Magdeburg, Deutschland. Wir entwickeln und produzieren innovative Lösungen zur Überwachung und Optimierung industrieller Prozesse. Unsere Spezialisierung liegt hierbei in der präzisen Messung von Konzentrationen, Dichten und anderen Parametern in Flüssigkeiten – in Echtzeit und direkt während des Prozesses.

Was unterscheidet LiquiSonic® von herkömmlicher Messtechnik?

Im Gegensatz zu optischen Verfahren, die durch Farbe oder Trübung beeinflusst werden, leitfähigkeitsbasierten Verfahren, die empfindlich auf elektrische Leitfähigkeit reagieren, oder dichtebasierten Verfahren, die durch Temperatur oder Gasblasen gestört werden können, ist unser Ultraschall-Verfahren unabhängig von diesen Einflüssen. Die LiquiSonic® Messtechnik enthält zudem weder bewegliche Teile noch Komponenten, die verschleißen oder verbraucht werden können. Nach der Installation ist das Messsystem daher vollständig wartungsfrei und driftfrei. Die Sensoren bieten digitale Signalübertragung bis zu 1000 m und ermöglichen kontinuierliche Inline-Messung ohne Probenentnahme.

Wie präzise sind die Konzentrationsmessungen?

Unser System nutzt die Ultraschall-Laufzeitmessung zur Bestimmung der Schallgeschwindigkeit in der Flüssigkeit. Diese Schallgeschwindigkeit korreliert direkt mit der chemischen Konzentration und ermöglicht Messgenauigkeiten von bis zu ±0,02 wt%. Die integrierte Temperaturkompensation gewährleistet stabile Ergebnisse auch bei schwankenden Prozessbedingungen.

Wie schnell erhalten Sie Messergebnisse?

Das System liefert Ergebnisse in Echtzeit. Es werden über 30 Messungen pro Sekunde durchgeführt. Basierend auf diesen Messungen erhalten Sie jede Sekunde einen aktuellen Messwert. Diese schnelle Reaktionszeit ermöglicht eine effektive Prozessregelung und eine frühzeitige Erkennung von Abweichungen.

Wie reagiert LiquiSonic® auf Temperaturschwankungen?

Da die Schallgeschwindigkeit wie alle anderen physikalischen Größen von der Temperatur beeinflusst wird, sind all unsere LiquiSonic® Sensoren mit hochpräzisen Temperatursensoren ausgestattet. So kann der Einfluss der Temperatur auf die Messung direkt kompensiert werden. Daher ist es nicht nötig, zusätzliche Temperatursensoren einzubinden.

Welche Prozessbedingungen können abgedeckt werden?

Unsere Halbleiter-Sensoren arbeiten zuverlässig in einem Temperaturbereich von 5 °C bis 60 °C und Drücken bis zu 4 bar.

Können mehrere Komponenten gleichzeitig überwacht werden?

Ja, durch Kombination der Schallgeschwindigkeitsmessung mit zusätzlichen physikalischen Größen (z. B. Leitfähigkeit) können mehrere Komponenten gleichzeitig bestimmt werden. So lassen sich auch weitere Zusatzstoffe überwachen.

Wie erfolgt die Integration in bestehende Automatisierungssysteme?

Das System bietet verschiedene digitale Schnittstellen (z. B. Profibus, Ethernet / IP, Foundation Fieldbus) sowie analoge 4-20 mA Ausgänge. Die Integration erfolgt problemlos über standardisierte Protokolle.

Welche Wartung ist erforderlich?

Das System ist vollständig wartungsfrei. Es gibt keine mechanischen Verschleißteile, Dichtungen oder optische Fenster, die angegriffen werden könnten. Eine regelmäßige Kalibrierung ist nicht erforderlich - die Sensoren bleiben über Jahre stabil.

浓度测量
在
半导体行业

针对半导体工艺的浓度监控 - 提高生产效率、稳定性和质量。

咨询请求

高达±0,02 wt%

实时测量

免维护

Kostensparend

半导体工艺中浓度测量的挑战

在半导体制造中，化学浓度的精确比例至关重要，但传统的实验室分析往往提供结果太晚。使用 LiquiSonic® SensoTech 提供可靠的实时监控，可以轻松集成到现有流程中。该系统提供免维护的精确测量数据，从而提高过程安全性和效率。

挑战

化学浓度不在目标范围内
耗时的实验室分析
没有即时和可靠的化学成分信息

解决方案：LiquiSonic®

使用 LiquiSonic® 进行明确监控
即时显示化学浓度
无缝集成到现有系统中
免维护且无耗材

您的优势

可追溯且可靠的测量结果
实时测量结果
完全免维护的传感器和耐化学材料
轻松集成到任何规模和配置的系统中

我们的解决方案：LiquiSonic^®测量系统

实时监控浓度

LiquiSonic® 将现代超声波技术与温度补偿测量相结合，在半导体制造的关键化学混合物中提供精确结果。实时监控确保产品质量稳定，减少偏差，并提供数据以进行过程优化。由此降低运营成本和化学品消耗，同时提高过程安全性和效率。

确保质量： 实时监控保证结果精确无偏差。
降低成本： 优化流程以实现最大可靠性和较少的消耗。
提高效率： 更高的产品质量在降低运营成本。

技术细节和规格

超声波测量原理

液体中的声速与溶解物质的浓度直接相关。高精度的时间测量可以精确确定浓度。

电导率集成

在三组分系统中，电导率作为第二个物理参数用于明确确定两种浓度。

温度补偿

测量单元中集成的两个PT1000传感器确保自动温度补偿，从而在所有条件下实现精确测量。通过直接获取过程温度，实时修正声速，提高了在波动情况下的稳定性和精确性。

经济效益

实时浓度测量提高 质量、效率和可靠性，同时 降低成本和资源消耗：

降低运营成本 通过减少化学品消耗和实验室分析
减少废品和返工，因为可以立即发现和纠正偏差
稳定的产品质量 确保竞争力并减少投诉
更高效的流程 通过实时数据而非延迟的实验室测量
更高的设备可用性 通过无耗材的免维护传感器
通过精确数据进行过程优化 导致持续改进和更好的资源利用
快速投资回报 由于节省了能源和运营成本

技术规格

测量精度	高达±0,02 wt%
温度范围	5 °C至60 °C
压力范围	高达4 bar
材料和涂层	PFA
数字传输	高达1,000米（更多信息请咨询）
接口	4-20 mA，Profibus，以太网，Modbus，现场总线，...
防护等级	IP65
校准	一次性工厂校准
维护	完全免维护

应用实例

典型的 化学工艺步骤 以及我们为此使用的 工艺解决方案 用于清洗和蚀刻过程以及特殊蚀刻和开发过程：

SC-1（APM）

氨水₄氢氧化钠₂O₂

SC-2（HPM）

盐酸₂O₂

SPM（食肉鱼）

H₂硫酸₄/氢₂O₂

氧化物去除 (DHF)

氢氟酸

氧化物去除 (BOE/BHF)

氢氟酸/氨水₄F

氮化硅蚀刻

H₃磷酸₄

各向同性硅蚀刻

氢氟酸/硝酸₃

各向异性硅蚀刻 (MEMS)

氢氧化钾/硅

四甲基氢氧化铵/硅

光刻胶显影

四甲基氢氧化铵

硝酸/醋酸

硝酸₃/碳氢化合物₃羧基

氢氟酸/盐酸

成功案例和参考资料：

您可以从我们的销售团队获得详细的案例研究和客户参考。请联系我们以获取您所在行业的具体应用示例。

免费咨询

一目了然的主要优势

恒定质量

实时监控防止偏差并确保产品质量恒定。

成本节约

通过优化流程减少化学品消耗和降低运营成本。

最高效率

实时数据支持更快的决策和优化的流程。

免维护

传感器耐化学腐蚀且无需消耗品。

现在免费咨询

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常见问题

什么是SensoTech？

SensoTech GmbH 是一家位于德国马格德堡附近巴勒本的领先的过程测量技术公司。我们开发和生产用于监控和优化工业过程的创新解决方案。我们的专长在于精确测量液体中的浓度、密度和其他参数——实时且直接在过程中进行。

LiquiSonic®与传统测量技术有何不同？

与受颜色或浑浊度影响的光学方法、电导率敏感的电导率测量方法或可能受温度或气泡干扰的密度测量方法不同，我们的 超声波过程 不受这些影响。

该 LiquiSonic® 测量技术也不包含任何可移动部件或会磨损或消耗的组件。因此，安装后测量系统 完全免维护 且无漂移。

传感器提供高达 1000 米的数字信号传输，并实现 连续在线测量 无需取样。

浓度测量的精度如何？

我们的系统利用超声波飞行时间测量来确定液体中的声速。该声速直接与化学浓度相关，并实现 测量精度高达 ±0,02 wt%。集成的温度补偿确保即使在波动的工艺条件下也能获得稳定的结果。

您多快能获得测量结果？

系统实时提供结果。它每秒进行超过 30 次测量。基于这些测量，您可以 每秒获得一个当前测量值。这种快速响应时间实现了有效的过程控制和对偏差的早期检测。

LiquiSonic® 如何应对温度波动？

由于声速与其他物理量一样受温度影响，我们所有的 LiquiSonic® 传感器都配备了高精度温度传感器。因此，温度对测量的影响可以 直接补偿 。因此，不需要集成额外的温度传感器。

可以覆盖哪些工艺条件？

我们的半导体传感器在 5 °C 至 60 °C 的温度范围内可靠工作 和高达 4 bar 的压力下。

可以同时监测多个组件吗？

是的，通过将声速测量与其他物理量（例如电导率）结合，可以 同时确定多个组件 。因此，还可以监控其他添加剂。

如何集成到现有的自动化系统中？

该系统提供多种数字接口（例如Profibus、以太网/IP、Foundation Fieldbus）以及模拟4-20 mA输出。 集成无缝进行 通过标准化协议。

需要哪些维护？

该系统是 完全免维护。没有机械磨损件、密封件或可能损坏的光学窗口。无需定期校准——传感器可保持多年稳定。

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