Mesure de concentration
dans la
industrie des semi-conducteurs
dans la
industrie des semi-conducteurs
Surveillance de la concentration pour les processus de semi-conducteurs - pour une production efficace, des processus stables et une qualité supérieure.
Jusqu'à ±0,02 % en poids
Mesure en temps réel
Sans maintenance
Kostensparend
Défis de la mesure de concentration dans les processus de semi-conducteurs
Dans la fabrication de semi-conducteurs, le rapport exact des concentrations chimiques est crucial, mais les analyses de laboratoire classiques fournissent souvent des résultats trop tard. Avec LiquiSonic® SensoTech permet une surveillance fiable en temps réel, qui s'intègre facilement dans les processus existants. Le système fournit des données de mesure précises sans maintenance, augmentant ainsi la sécurité et l'efficacité des processus.
Défis
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Concentrations chimiques hors de la plage cible
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Analyses de laboratoire chronophages
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Pas d'informations immédiates et fiables sur la composition chimique
Solution : LiquiSonic®
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Surveillance claire avec LiquiSonic®
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Affichage immédiat de la concentration chimique
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Intégration transparente dans les systèmes existants
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Sans maintenance et sans consommables
Vos avantages
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Résultats de mesure traçables et fiables
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Résultats de mesure en temps réel
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Capteurs entièrement sans maintenance et matériaux résistants aux produits chimiques
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Intégration facile dans des systèmes de toutes tailles et configurations
Notre solution : Le LiquiSonic® Système de mesure
Surveiller la concentration en temps réel
LiquiSonic® combine une technologie ultrasonique moderne avec une mesure compensée en température pour fournir des résultats précis dans les mélanges chimiques critiques de la fabrication de semi-conducteurs. La surveillance en temps réel garantit une qualité de produit stable, réduit les écarts et fournit des données pour l'optimisation des processus. Cela réduit les coûts d'exploitation et la consommation de produits chimiques, tout en augmentant la sécurité et l'efficacité des processus.
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Assurer la qualité : La surveillance en temps réel garantit des résultats précis sans écarts.
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Réduire les coûts : Processus optimisés pour une fiabilité maximale et une moindre consommation.
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Augmenter l'efficacité : Qualité de produit supérieure à coûts d'exploitation réduits.
Détails techniques et spécifications
Principe de mesure par ultrasons
La vitesse du son dans les liquides est directement liée à la concentration de substances dissoutes. Des mesures temporelles de haute précision permettent une détermination exacte de la concentration.
Intégration de la conductivité
Dans les systèmes à trois composants, la conductivité est utilisée comme deuxième paramètre physique pour déterminer clairement les deux concentrations.
Compensation de température
Deux capteurs PT1000 intégrés dans la cellule de mesure assurent une compensation automatique de la température, garantissant ainsi des mesures précises dans toutes les conditions. La capture directe de la température du processus permet de corriger la vitesse du son en temps réel, améliorant ainsi la stabilité et la précision même en cas de fluctuations.
Avantage économique
La mesure de concentration en temps réel augmente la qualité, l'efficacité et la fiabilité, tout en réduisant les coûts et la consommation de ressources:
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Coûts d'exploitation réduits grâce à une consommation réduite de produits chimiques et à moins d'analyses en laboratoire
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Moins de rebuts et de retouches, car les écarts peuvent être détectés et corrigés immédiatement
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Qualité de produit stable assure la compétitivité et réduit les réclamations
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Processus plus efficaces grâce à des données en temps réel au lieu de mesures de laboratoire retardées
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Disponibilité accrue des installations grâce à des capteurs sans entretien et sans consommables
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Optimisation des processus grâce à des données précises conduit à une amélioration continue et à une meilleure utilisation des ressources
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Retour sur investissement rapide grâce aux économies sur les coûts énergétiques et d'exploitation
Spécifications techniques
Précision de mesure | Jusqu'à ±0,02 % en poids |
Plage de température | 5 °C à 60 °C |
Plage de pression | Jusqu'à 4 bars |
Matériau et revêtement | PFA |
Transmission numérique | Jusqu'à 1 000 m (plus sur demande) |
Interfaces | 4-20 mA, Profibus, Ethernet, Modbus, Fieldbus, ... |
Degré de protection | IP65 |
Étalonnage | Étalonnage en usine unique |
Entretien | Entièrement sans entretien |
Exemples d'application
Typiques étapes de processus chimiques et nos utilisés à cet effet Solutions de processus pour les processus de nettoyage et de gravure ainsi que les processus de gravure et de développement spéciaux:
SC-1 (APM)
NH4OH/H2O2
SC-2 (HPM)
HCI/H2O2
SPM (Piranha)
H2SO4/H2O2
Élimination de l'oxyde (DHF)
HF
Élimination de l'oxyde (BOE/BHF)
HF/NH4F
Gravure Si₃N₄
H3PO4
Gravure isotrope du silicium
HF/HNO3
Gravure anisotrope du silicium (MEMS)
KOH/Si
TMAH/Si
Développement de photorésist
TMAH
Acide nitrique / Acide acétique
HNO3/CH3COOH
HF / HCl
HF/HCl
Histoires de réussite et références :
Vous pouvez obtenir des études de cas détaillées et des références clients auprès de notre équipe commerciale. Contactez-nous pour des exemples d'applications spécifiques à votre secteur.
Les principaux avantages en un coup d'œil
Qualité constante
La surveillance en temps réel empêche les écarts et assure une qualité de produit constante.
Économies de coûts
Moins de consommation de produits chimiques et coûts d'exploitation réduits grâce à des processus optimisés.
Efficacité maximale
Les données en temps réel permettent des décisions plus rapides et des processus optimisés.
Sans maintenance
Les capteurs sont résistants aux produits chimiques et ne nécessitent pas de consommables.
Questions fréquemment posées
SensoTech GmbH est une entreprise leader dans le domaine de la technologie de mesure de processus basée à Barleben, près de Magdebourg, en Allemagne. Nous développons et produisons des solutions innovantes pour la surveillance et l'optimisation des processus industriels. Notre spécialisation réside dans la mesure précise des concentrations, des densités et d'autres paramètres dans les liquides - en temps réel et directement pendant le processus.
Contrairement aux méthodes optiques, influencées par la couleur ou la turbidité, aux méthodes basées sur la conductivité, sensibles à la conductivité électrique, ou aux méthodes basées sur la densité, perturbées par la température ou les bulles de gaz, notre procédé à ultrasons indépendant de ces influences.
La La technologie de mesure LiquiSonic® ne contient ni pièces mobiles ni composants susceptibles de s'user ou d'être consommés. Après l'installation, le système de mesure est donc entièrement sans entretien et sans dérive.
Les capteurs offrent une transmission de signal numérique jusqu'à 1000 m et permettent mesure en ligne continue sans prélèvement d'échantillons.
Notre système utilise la mesure du temps de transit des ultrasons pour déterminer la vitesse du son dans le liquide. Cette vitesse du son est directement corrélée à la concentration chimique et permet précisions de mesure jusqu'à ±0,02 % en poids. La compensation de température intégrée garantit des résultats stables même en cas de conditions de processus fluctuantes.
Le système fournit des résultats en temps réel. Il effectue plus de 30 mesures par seconde. Sur la base de ces mesures, vous obtenez une valeur de mesure actuelle chaque seconde. Ce temps de réaction rapide permet un contrôle efficace du processus et une détection précoce des écarts.
Comme la vitesse du son, comme toutes les autres grandeurs physiques, est influencée par la température, tous nos capteurs LiquiSonic® sont équipés de capteurs de température de haute précision. Ainsi, l'influence de la température sur la mesure peut être compensée directement être. Il n'est donc pas nécessaire d'intégrer des capteurs de température supplémentaires.
Nos capteurs à semi-conducteurs fonctionnent de manière fiable dans une plage de température de 5 °C à 60 °C et des pressions allant jusqu'à 4 bars.
Oui, en combinant la mesure de la vitesse du son avec d'autres grandeurs physiques (par exemple, la conductivité), plusieurs composants peuvent déterminé simultanément. Cela permet également de surveiller d'autres additifs.
Le système offre différentes interfaces numériques (par exemple, Profibus, Ethernet / IP, Foundation Fieldbus) ainsi que des sorties analogiques 4-20 mA. Les L'intégration se fait sans problème via des protocoles standardisés.
Le système est entièrement sans entretienIl n'y a pas de pièces d'usure mécaniques, de joints ou de fenêtres optiques qui pourraient être endommagés. Un étalonnage régulier n'est pas nécessaire - les capteurs restent stables pendant des années.
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