Mesure de concentration
dans la
industrie des semi-conducteurs
dans la
industrie des semi-conducteurs
Surveillance de la concentration pour les processus de semi-conducteurs – pour une production efficace, des processus stables et une qualité maximale.
Jusqu'à ±0,02 % en poids
Mesure en temps réel
Sans entretien
Économique
Défis de la mesure de concentration dans les processus de semi-conducteurs
Dans la fabrication de semi-conducteurs, le rapport précis des concentrations chimiques est crucial, mais les analyses de laboratoire classiques fournissent souvent des résultats trop tard. Avec LiquiSonic® SensoTech permet une surveillance en temps réel fiable, qui s'intègre facilement dans les processus existants. Le système fournit des données de mesure précises sans entretien, augmentant ainsi la sécurité et l'efficacité des processus.
Défis
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Concentrations chimiques hors de la plage cible
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Analyses de laboratoire chronophages
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Pas d'informations immédiates et fiables sur la composition chimique
Solution : LiquiSonic®
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Surveillance claire avec LiquiSonic®
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Affichage immédiat de la concentration chimique
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Intégration transparente dans les systèmes existants
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Sans entretien et sans consommables
Vos avantages
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Résultats de mesure traçables et fiables
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Résultats de mesure en temps réel
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Capteurs entièrement sans entretien et matériaux résistants aux produits chimiques
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Intégration facile dans des systèmes de toute taille et configuration
Notre solution : Le LiquiSonic® Système de mesure
Surveiller la concentration en temps réel
LiquiSonic® combine la technologie ultrasonique moderne avec une mesure compensée en température pour fournir des résultats précis pour les mélanges chimiques critiques dans la fabrication de semi-conducteurs. La surveillance en temps réel assure une qualité de produit stable, réduit les écarts et fournit des données pour les optimisations de processus. Cela réduit les coûts d'exploitation et la consommation de produits chimiques, tout en augmentant la sécurité et l'efficacité des processus.
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Assurer la qualité : La surveillance en temps réel garantit des résultats précis sans écarts.
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Réduire les coûts : Processus optimisés pour une fiabilité maximale et une moindre consommation.
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Augmenter l'efficacité : Qualité de produit supérieure grâce à des coûts d'exploitation réduits.
Détails techniques et spécifications
Principe de mesure par ultrasons
La vitesse du son dans les liquides est directement liée à la concentration de substances dissoutes. Des mesures de temps de haute précision permettent une détermination exacte de la concentration.
Intégration de la conductivité
Dans les systèmes à trois composants, la conductivité est utilisée comme deuxième paramètre physique pour déterminer clairement les deux concentrations.
Compensation de température
Deux capteurs PT1000 intégrés dans la cellule de mesure assurent une compensation automatique de la température, garantissant ainsi des mesures précises dans toutes les conditions. La capture directe de la température du processus permet de corriger la vitesse du son en temps réel, améliorant ainsi la stabilité et la précision même en cas de fluctuations.
Avantage économique
La mesure de concentration en temps réel augmente la qualité, l'efficacité et la fiabilité, tout en réduisant les coûts et la consommation de ressources :
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Coûts d'exploitation réduits grâce à une consommation réduite de produits chimiques et moins d'analyses en laboratoire
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Moins de déchets et de retouches, car les écarts peuvent être détectés et corrigés immédiatement
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Qualité de produit stable assure la compétitivité et réduit les réclamations
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Processus plus efficaces grâce aux données en temps réel au lieu de mesures de laboratoire retardées
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Disponibilité accrue des installations grâce à des capteurs sans entretien et sans consommables
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Optimisation des processus grâce à des données précises conduit à une amélioration continue et à une meilleure utilisation des ressources
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Retour sur investissement rapide grâce aux économies d'énergie et de coûts d'exploitation
Spécifications techniques
Précision de mesure | Jusqu'à ±0,02 % en poids |
Plage de température | 5 °C à 60 °C |
Plage de pression | Jusqu'à 4 bars |
Matériau et revêtement | PFA |
Transmission numérique | Jusqu'à 1 000 m (plus sur demande) |
Interfaces | 4-20 mA, Profibus, Ethernet, Modbus, Fieldbus, ... |
Indice de protection | IP65 |
Étalonnage | Étalonnage d'usine unique |
Entretien | Entièrement sans entretien |
Exemples d'application
Typiques étapes de processus chimiques et ceux que nous utilisons pour cela Solutions de processus pour les processus de nettoyage et de gravure ainsi que les processus de gravure et de développement spéciaux:
SC-1 (APM)
NH4OH/H2O2
SC-2 (HPM)
HCI/H2O2
SPM (Piranha)
H2SO4/H2O2
Élimination des oxydes (DHF)
HF
Élimination des oxydes (BOE/BHF)
HF/NH4F
Gravure Si₃N₄
H3PO4
Gravure isotrope du silicium
HF/HNO3
Gravure anisotrope du silicium (MEMS)
KOH/Si
TMAH/Si
Développement de photorésist
TMAH
Acide nitrique / acide acétique
HNO3/CH3COOH
HF / HCl
HF/HCl
Histoires de réussite et références :
Vous pouvez obtenir des études de cas détaillées et des références clients auprès de notre équipe commerciale. Contactez-nous pour des exemples d'applications spécifiques à votre secteur.
Les principaux avantages en un coup d'œil
Qualité constante
La surveillance en temps réel empêche les écarts et garantit une qualité de produit constante.
Économies de coûts
Moins de consommation de produits chimiques et coûts d'exploitation réduits grâce à des processus optimisés.
Efficacité maximale
Les données en temps réel permettent des décisions plus rapides et des processus optimisés.
Sans entretien
Les capteurs sont résistants aux produits chimiques et ne nécessitent pas de consommables.
Questions fréquemment posées
SensoTech GmbH est une entreprise leader dans le domaine de la technologie de mesure de processus, située à Barleben, près de Magdebourg, en Allemagne. Nous développons et produisons des solutions innovantes pour la surveillance et l'optimisation des processus industriels. Notre spécialisation réside dans la mesure précise des concentrations, des densités et d'autres paramètres dans les liquides - en temps réel et directement pendant le processus.
Contrairement aux méthodes optiques, qui sont influencées par la couleur ou la turbidité, aux méthodes basées sur la conductivité, qui sont sensibles à la conductivité électrique, ou aux méthodes basées sur la densité, qui peuvent être perturbées par la température ou les bulles de gaz, notre procédé à ultrasons est indépendant de ces influences.
La technologie de mesure LiquiSonic® ne contient aucune pièce mobile ni composant qui pourrait s'user ou être consommé. Après l'installation, le système de mesure est donc entièrement sans maintenance et sans dérive.
Les capteurs offrent une transmission de signal numérique jusqu'à 1000 m et permettent une mesure en ligne continue sans prélèvement d'échantillon.
Notre système utilise la mesure du temps de transit ultrasonore pour déterminer la vitesse du son dans les liquides. Cette vitesse du son est directement corrélée à la concentration chimique et permet des précisions de mesure allant jusqu'à ±0,02 % en poids pour l'industrie des semi-conducteurs. La compensation de température intégrée garantit des résultats stables même en cas de conditions de processus fluctuantes.
Le système fournit des résultats en temps réel. Il effectue plus de 30 mesures par seconde. Sur la base de ces mesures, vous obtenez une valeur de mesure actuelle chaque seconde. Ce temps de réaction rapide permet un contrôle efficace du processus et une détection précoce des écarts.
Nos capteurs à semi-conducteurs fonctionnent de manière fiable dans un plage de température de 5 °C à 60 °C et des pressions allant jusqu'à 4 bars.
Oui, en combinant la mesure de la vitesse du son avec d'autres grandeurs physiques (par exemple, la conductivité), il est possible de déterminer plusieurs composants simultanément. Cela permet également de surveiller d'autres additifs dans la fabrication de semi-conducteurs.
Le système de mesure des semi-conducteurs est entièrement sans maintenance. Il n'y a pas de pièces d'usure mécaniques, de joints ou de fenêtres optiques susceptibles d'être endommagés. Un étalonnage régulier n'est pas nécessaire - les capteurs LiquiSonic® restent stables pendant des années.
Le système offre différentes interfaces numériques (par exemple, Profibus, Ethernet/IP, Foundation Fieldbus) ainsi que des sorties analogiques 4-20 mA. L'intégration s'effectue sans problème via des protocoles standardisés.
Étant donné que la vitesse du son est influencée par la température, nos capteurs LiquiSonic® sont équipés de capteurs de température haute précision. Ainsi, l'influence de la température sur la mesure peut être directement compensée . Il n'est donc pas nécessaire d'intégrer des capteurs de température supplémentaires dans le processus des semi-conducteurs.
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