Mesure de concentration
dans la
industrie des semi-conducteurs
dans la
industrie des semi-conducteurs
Surveillance de la concentration pour les processus de semi-conducteurs – pour une production efficace, des processus stables et une qualité maximale.
±0,02 % en poids Précision
Mesure en temps réel
Sans entretien
Économique
Défis de la mesure de concentration dans les processus de semi-conducteurs
Dans la fabrication de semi-conducteurs, des concentrations chimiques précises sont essentielles, mais les analyses de laboratoire classiques fournissent souvent des résultats trop tard. Avec LiquiSonic® permet à SensoTech une surveillance fiable en temps réel, qui peut être facilement intégrée dans les processus existants. Le système fournit des données de mesure précises sans entretien, augmentant ainsi la sécurité et l'efficacité des processus.
Défis
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Concentrations chimiques hors de la plage cible
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Analyses de laboratoire chronophages
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Pas d'informations immédiates et fiables sur la composition chimique
Solution : LiquiSonic®
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Surveillance claire avec LiquiSonic®
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Affichage immédiat de la concentration chimique
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Intégration transparente dans les systèmes existants
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Sans entretien et sans consommables
Vos avantages
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Résultats de mesure traçables et fiables
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Résultats de mesure en temps réel
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Capteurs entièrement sans entretien et matériaux résistants aux produits chimiques
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Intégration facile dans des systèmes de toute taille et configuration
Notre solution : Le LiquiSonic® Système de mesure
Surveiller la concentration en temps réel
LiquiSonic® combine une technologie ultrasonique moderne avec une mesure compensée en température pour fournir des résultats précis pour les mélanges chimiques critiques dans la fabrication de semi-conducteurs. La surveillance en temps réel assure une qualité de produit stable, réduit les écarts et fournit des données pour l'optimisation des processus. Cela réduit les coûts d'exploitation et la consommation de produits chimiques, tout en augmentant la sécurité et l'efficacité des processus.
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Assurer la qualité : La surveillance en temps réel garantit des résultats précis sans écarts.
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Réduire les coûts : Moins de consommation de produits chimiques et coûts d'exploitation réduits.
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Augmenter l'efficacité : Processus optimisés pour une fiabilité maximale dans la fabrication de semi-conducteurs.
Détails techniques et spécifications
Principe de mesure par ultrasons
La vitesse du son dans les liquides est directement liée à la concentration de substances dissoutes. Des mesures temporelles de haute précision permettent une détermination exacte de la concentration.
Intégration de la conductivité
Dans les systèmes à trois composants, la conductivité est utilisée comme deuxième paramètre physique pour déterminer clairement les deux concentrations.
Compensation de température
Deux capteurs PT1000 intégrés dans la cellule de mesure assurent une compensation automatique de la température, garantissant ainsi des mesures précises dans toutes les conditions. La capture directe de la température du processus corrige la vitesse du son en temps réel, améliorant ainsi la stabilité et la précision même en cas de variations.
Avantages économiques
La mesure de concentration en temps réel augmente la qualité, l'efficacité et la fiabilité, tout en réduisant les coûts et la consommation de ressources:
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Réduction des coûts d'exploitation grâce à une consommation réduite de produits chimiques et à moins d'analyses de laboratoire
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Moins de rebuts et de retouches, car les écarts peuvent être détectés et corrigés immédiatement
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Qualité de produit stable assure la compétitivité et réduit les réclamations
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Processus plus efficaces grâce aux données en temps réel au lieu de mesures de laboratoire retardées
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Disponibilité accrue des installations grâce à des capteurs sans entretien et sans consommables
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Optimisation des processus grâce à des données précises conduit à une amélioration continue et à une meilleure utilisation des ressources
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Retour sur investissement rapide grâce aux économies d'énergie et de coûts d'exploitation
Spécifications techniques
Précision de mesure | typiquement ±0,02 % en poids |
Fréquence de mesure | 4 MHz |
Plage de température | -40 °C à 200 °C |
Plage de pression | Jusqu'à 500 bar |
Longueur du capteur | Jusqu'à 3000 mm |
Matériau et revêtement | Acier inoxydable, Hastelloy, PFA, PVDF, ETFE, ... |
Transmission numérique | Jusqu'à 1 000 m (plus sur demande) |
Interfaces | 4-20 mA, Profibus, Ethernet, Modbus, Fieldbus, ... |
Indice de protection | IP65 & Ex-Schutz verfügbar |
Étalonnage | Étalonnage en usine unique |
Entretien | Entièrement sans entretien |
Exemples d'application
Typiques étapes de processus chimiques et nos solutions utilisées solutions de processus pour les processus de nettoyage et de gravure ainsi que les processus de gravure et de développement spéciaux:
SC-1 (APM)
NH4OH/H2O2
SC-2 (HPM)
HCI/H2O2
SPM (Piranha)
H2SO4/H2O2
Élimination de l'oxyde (DHF)
HF
Élimination de l'oxyde (BOE/BHF)
HF/NH4F
Gravure Si₃N₄
H3PO4
Gravure isotrope du silicium
HF/HNO3
Gravure anisotrope du silicium (MEMS)
KOH/Si
TMAH/Si
Développement de résine photosensible
TMAH
Acide nitrique / Acide acétique
HNO3/CH3COOH
HF / HCl
HF/HCl
Histoires de réussite et références :
Vous pouvez obtenir des études de cas détaillées et des références clients auprès de notre équipe commerciale. Contactez-nous pour des exemples d'applications spécifiques à votre secteur.
Les principaux avantages en un coup d'œil
Qualité constante
La surveillance en temps réel empêche les écarts et assure une qualité de produit constante.
Économies de coûts
Moins de consommation de produits chimiques et des coûts d'exploitation réduits grâce à des processus optimisés.
Efficacité maximale
Les données en temps réel permettent des décisions plus rapides et des processus optimisés.
Sans entretien
Les capteurs sont résistants aux produits chimiques et ne nécessitent pas de consommables.
Questions fréquentes
SensoTech GmbH est une entreprise leader dans le domaine de la technologie de mesure de processus, basée à Barleben, près de Magdebourg, en Allemagne. Nous développons et produisons des solutions innovantes pour la surveillance et l'optimisation des processus industriels. Notre spécialisation réside dans la mesure précise des concentrations, des densités et d'autres paramètres dans les liquides - en temps réel et directement pendant le processus.
Contrairement aux méthodes optiques influencées par la couleur ou la turbidité, aux méthodes basées sur la conductivité sensibles à la conductivité électrique ou aux méthodes basées sur la densité perturbées par la température ou les bulles de gaz, notre méthode à ultrasons est indépendante de ces influences.
La technologie de mesure LiquiSonic® ne contient ni pièces mobiles ni composants susceptibles de s'user ou de s'épuiser. Une fois installé, le système de mesure est donc entièrement sans maintenance et sans dérive.
Les capteurs offrent une transmission de signal numérique jusqu'à 1000 m et permettent une mesure en ligne continue sans prélèvement d'échantillon.
Notre système utilise la mesure du temps de transit des ultrasons pour déterminer la vitesse du son dans le liquide. Cette vitesse du son est directement corrélée à la concentration chimique et permet des précisions de mesure de ±0,02 % en poids.. La compensation de température intégrée garantit des résultats stables même en cas de conditions de processus fluctuantes.
Le système fournit des résultats en temps réel. Avec une fréquence de 4 MHz 32 mesures par seconde sont effectuées. Basé sur ces mesures, vous obtenez une valeur de mesure actuelle chaque seconde.. Ce temps de réaction rapide permet un contrôle efficace du processus et une détection précoce des écarts.
Comme la vitesse du son, comme toutes les autres grandeurs physiques, est influencée par la température, tous nos capteurs LiquiSonic® sont équipés de capteurs de température haute précision. Ainsi, l'influence de la température sur la mesure peut être directement compensée Il n'est donc pas nécessaire d'incorporer des capteurs de température supplémentaires.
Nos capteurs fonctionnent de manière fiable dans une plage de température de -40 °C à 200 °C. et Pression jusqu'à 500 bar. Grâce à diverses options de matériaux comme l'acier inoxydable, Hastelloy ou les revêtements PFA, des médias agressifs peuvent également être mesurés. Une protection Ex pour les zones 1 et 2 est également disponible.
Oui, nos capteurs sont conçus pour des conditions extrêmes. Outre la plage étendue de température et de pression, nous proposons des adaptations personnalisées telles que des longueurs de capteur allant jusqu'à 3000 mm, des alliages spéciaux pour les milieux corrosifs et différents types de protection, par exemple une protection Ex en option. Chaque capteur est individualisé selon vos exigences configuré.
Oui, en combinant la mesure de la vitesse du son avec d'autres grandeurs physiques (par exemple, la conductivité), il est possible de plusieurs composants déterminer simultanément. Ainsi, d'autres additifs peuvent également être surveillés.
Le système offre différentes interfaces numériques (par exemple, Profibus, Ethernet / IP, Foundation Fieldbus) ainsi que des sorties analogiques 4-20 mA. L' intégration se fait sans problème via des protocoles standardisés.
Le système est entièrement sans maintenance. Il n'y a pas de pièces d'usure mécaniques, de joints ou de fenêtres optiques susceptibles d'être attaqués. Un étalonnage régulier n'est pas nécessaire - les capteurs restent stables pendant des années.
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