Wie lassen sich Konzentrationen kritischer Chemikalien in Halbleiterprozessen zuverlässig überwachen? In diesem Webinar zeigen wir, wie der neue "LiquiSonic^® Sensor SC" Konzentrationen in Echtzeit, temperaturkompensiert und wartungsfrei direkt im Prozess misst. So schaffen Sie mehr Transparenz, stabilere Prozesse und eine gleichbleibend hohe Produktqualität.

In diesem Webinar erfahren Sie:

• Wie Echtzeit-Konzentrationsmessung Halbleiterprozesse stabiler macht:
  Sie erfahren, warum klassische Laboranalysen oft zu spät kommen und wie eine kontinuierliche Inline-Messung hilft, Konzentrationsabweichungen sofort zu erkennen und Prozesse sicherer zu steuern.
• Wie der Sensor arbeitet und warum er so präzise misst:
  Im Webinar wird erklärt, wie die schallgeschwindigkeitsbasierte, temperaturkompensierte Messung funktioniert und wie damit Konzentrationen mit hoher Genauigkeit direkt im Prozess bestimmt werden können.
• Für welche Chemikalien und Prozessschritte die Lösung geeignet ist:
  Die Teilnehmenden erhalten einen Überblick über typische Anwendungen in der Halbleiterindustrie, etwa Reinigungs-, Ätz- und Entwicklungsprozesse wie SC-1, SC-2, SPM, DHF, BOE/BHF oder TMAH.
• Wie sich auch komplexere Medien sicher überwachen lassen:
  Sie lernen, wie bei 3-Komponenten-Systemen eine weitere physikalische Größe genutzt werden kann, um mehrere Konzentrationen eindeutig zu bestimmen und dadurch mehr Transparenz in komplexen Chemikalienprozessen zu schaffen.
• Welchen konkreten Nutzen das für den Anlagenbetrieb bringt:
  Gezeigt wird, wie sich durch Echtzeitdaten Chemikalienverbrauch, Laboraufwand, Ausschuss und Nacharbeit reduzieren lassen und wie die wartungsfreie Messtechnik gleichzeitig Anlagenverfügbarkeit und Prozesseffizienz verbessert.