How can concentrations of critical chemicals in semiconductor processes be reliably monitored? In this webinar we show how the new 'LiquiSonic^® Sensor SC' measures concentrations in real time, temperature compensated and maintenance-free directly in the process. This way you create more transparency, more stable processes and consistently high product quality.

In diesem Webinar erfahren Sie:

• How real-time concentration measurement makes semiconductor processes more stable:
  You will learn why classic laboratory analyzes often come too late and how continuous inline measurement helps to immediately detect concentration deviations and control processes more reliably.
• Wie der Sensor arbeitet und warum er so präzise misst:
  Im Webinar wird erklärt, wie die schallgeschwindigkeitsbasierte, temperaturkompensierte Messung funktioniert und wie damit Konzentrationen mit hoher Genauigkeit direkt im Prozess bestimmt werden können.
• For which chemicals and process steps the solution is suitable:
  Participants receive an overview of typical applications in the semiconductor industry, such as cleaning, etching and development processes such as SC-1, SC-2, SPM, DHF, BOE/BHF or TMAH.
• Wie sich auch komplexere Medien sicher überwachen lassen:
  Sie lernen, wie bei 3-Komponenten-Systemen eine weitere physikalische Größe genutzt werden kann, um mehrere Konzentrationen eindeutig zu bestimmen und dadurch mehr Transparenz in komplexen Chemikalienprozessen zu schaffen.
• Welchen konkreten Nutzen das für den Anlagenbetrieb bringt:
  Gezeigt wird, wie sich durch Echtzeitdaten Chemikalienverbrauch, Laboraufwand, Ausschuss und Nacharbeit reduzieren lassen und wie die wartungsfreie Messtechnik gleichzeitig Anlagenverfügbarkeit und Prozesseffizienz verbessert.