Baños de texturizado y grabado
En la producción de células fotovoltaicas, el silicio mono o multicristalino se procesa en bloques. De estos bloques, también llamados lingotes, se fabrican obleas del grosor deseado mediante sierras de hilo. En este proceso de corte, se producen daños por corte y residuos en la superficie de la oblea debido a la tensión mecánica. Estos deben eliminarse mediante grabado y texturizado antes de un procesamiento posterior, ya que la capa dañada contiene una gran acumulación de defectos cristalinos inducidos mecánicamente y estoacorta la vida útil de la célula solar.
La textura de la superficie de una oblea también crea una superficie óptima y optimizada estructural que absorbe más luz y, por lo tanto, influye significativamente en la eficiencia de la célula posterior. Dependiendo del proceso y el tipo de oblea, se lleva a cabo un grabado ácido o alcalino con ojo de sodio o potasa o ácido nítrico, azufre y río. La neutralización y la eliminación de los residuos siguen.
LiquiSonic® Medición de la velocidad del sonido en el ojo de potasa
Solicitud
Las obleas se limpian en baños de grabado alcalino o ácido, liberadas y texturizadas por daños por sierra. Las soluciones de grabado básicas como KOH, NaOH o TMAH se usan en el grabado anisotrópico de silicio, mientras que se usan soluciones de grabado ácido como HF y ENT3, beim isotropen Ätzen genutzt werden. Durch die Texturbäder wird die Oberflächenstruktur des Wafers optimiert, sodass eine Art Lichtfalle erzeugt und die Energieaufnahmekapazität erhöht wird. Während des Prozess wird die Ätztiefe bzw. der Abtrag über die Badkonzentration sowie die Verweilzeit gesteuert.
Debido al consumo y la salida durante la textura, las soluciones de grabado ácido o alcalino y el agua deben ser monitoreadas constantemente y, si es necesario, dosificada. Con la ayuda del LiquiSonic® Tecnología de medición en línea La concentración actual de baño cáustico se puede determinar y la dosificación posterior se controla a través de un sistema de control. Esto garantiza la calidad del producto continuamente constante.
Instalación
El LiquiSonic® Sensores de buceo se puede instalar fácilmente en las tuberías de la corriente del circuito del baño o directamente en la piscina de textura. El LiquiSonic® Controlador 30 se puede conectar a hasta 4 sensores. Por lo tanto, es posible monitorear varios puntos de medición al mismo tiempo.
Rango de medición típico:
Konzentrationsbereich KOH: 0 bis 55 m% | Temperaturbereich: 80 to 120 °C
Beneficio del cliente
La construcción robusta del sensor y la elección de materiales especiales, como Halar o PFA, aseguran procesos largos del sistema. LiquiSonic®Reduce las mediciones de laboratorio de consumo de tiempo:
- Gasto de tiempo: 1 h por día
Evitar la sobre y la subredosis también ahorra costos de material.
LiquiSonic® asegura un análisis preciso de la concentración del baño de grabado con registro de datos permanente. Esto permite controlar la dosificación de la solución de grabado para mantener el baño de grabado en la concentración óptima y garantizar la máxima eficiencia. Así se pueden evitar las dosis insuficientes o excesivas de la solución de grabado.