Medición de concentración
en la
industria de semiconductores
en la
industria de semiconductores
Monitoreo de concentración para procesos de semiconductores: para una producción eficiente, procesos estables y la más alta calidad.
±0,02 % en peso Precisión
Medición en tiempo real
Sin mantenimiento
Ahorro de costes
Desafíos en la medición de concentración en procesos de semiconductores
En la fabricación de semiconductores, las concentraciones químicas precisas son cruciales, pero los análisis de laboratorio clásicos a menudo proporcionan resultados demasiado tarde. Con LiquiSonic® SensoTech permite un monitoreo confiable en tiempo real que se integra fácilmente en los procesos existentes. El sistema proporciona datos de medición precisos sin mantenimiento, aumentando así la seguridad del proceso y la eficiencia.
Desafíos
-
Concentraciones químicas fuera del rango deseado
-
Análisis de laboratorio que consumen mucho tiempo
-
No hay información inmediata y confiable sobre la composición química
Solución: LiquiSonic®
-
Monitoreo claro con LiquiSonic®
-
Visualización inmediata de la concentración química
-
Integración perfecta en sistemas existentes
-
Sin mantenimiento y sin materiales de consumo
Sus ventajas
-
Resultados de medición rastreables y confiables
-
Resultados de medición en tiempo real
-
Sensores completamente libres de mantenimiento y materiales resistentes a productos químicos
-
Integración sencilla en sistemas de cualquier tamaño y configuración
Nuestra solución: El LiquiSonic® Sistema de medición
Monitorear la concentración en tiempo real
LiquiSonic® combina tecnología ultrasónica moderna con medición compensada por temperatura para proporcionar resultados precisos en mezclas químicas críticas en la fabricación de semiconductores. El monitoreo en tiempo real garantiza una calidad de producto estable, reduce las desviaciones y proporciona datos para optimizaciones de procesos. Esto reduce los costos operativos y el consumo de productos químicos, mientras que aumenta la seguridad del proceso y la eficiencia.
-
Asegurar la calidad: El monitoreo en tiempo real garantiza resultados precisos sin desviaciones.
-
Reducir costos: Menor consumo de productos químicos y costos operativos reducidos.
-
Aumentar la eficiencia: Procesos optimizados para máxima confiabilidad en la fabricación de semiconductores.
Detalles técnicos y especificaciones
Principio de medición ultrasónica
La velocidad del sonido en líquidos está directamente relacionada con la concentración de sustancias disueltas. Las mediciones de tiempo de alta precisión permiten una determinación exacta de la concentración.
Integración de conductividad
En sistemas de tres componentes, la conductividad se utiliza como segundo parámetro físico para determinar ambas concentraciones de manera inequívoca.
Compensación de temperatura
Dos sensores PT1000 integrados en la celda de medición aseguran una compensación automática de temperatura y, por lo tanto, mediciones precisas en todas las condiciones. La medición directa de la temperatura del proceso corrige la velocidad del sonido en tiempo real, lo que mejora la estabilidad y precisión incluso con fluctuaciones.
Beneficio económico
La medición de concentración en tiempo real aumenta calidad, eficiencia y confiabilidad, mientras que al mismo tiempo los costos y el consumo de recursos disminuyen:
-
Costos operativos reducidos debido al menor consumo de productos químicos y menos análisis de laboratorio
-
Menos desperdicio y retrabajo, ya que las desviaciones pueden ser detectadas y corregidas inmediatamente
-
Calidad de producto estable asegura la competitividad y reduce las reclamaciones
-
Procesos más eficientes mediante datos en tiempo real en lugar de mediciones de laboratorio con retraso
-
Mayor disponibilidad de la planta mediante sensores sin mantenimiento y sin materiales de consumo
-
Optimización de procesos mediante datos precisos conduce a una mejora continua y un mejor uso de los recursos
-
Rápido retorno de inversión gracias a los ahorros en costos energéticos y operativos
Especificaciones técnicas
Precisión de medición | típicamente ±0,02 wt% |
Frecuencia de medición | 4 MHz |
Rango de temperatura | -40 °C a 200 °C |
Rango de presión | Hasta 500 bar |
Longitud del sensor | Hasta 3000 mm |
Material y recubrimiento | Acero inoxidable, Hastelloy, PFA, PVDF, ETFE, ... |
Transmisión digital | Hasta 1.000 m (más a pedido) |
Interfaces | 4-20 mA, Profibus, Ethernet, Modbus, Fieldbus, ... |
Grado de protección | IP65 & Ex-Schutz verfügbar |
Calibración | Calibración de fábrica única |
Mantenimiento | Completamente libre de mantenimiento |
Ejemplos de aplicación
Típico pasos del proceso químico y nuestros utilizados para esto soluciones de proceso para procesos de limpieza y grabado, así como procesos especiales de grabado y desarrollo:
SC-1 (APM)
NH4OH/H2O2
SC-2 (HPM)
HCI/H2O2
SPM (Piraña)
H2SO4/H2O2
Eliminación de óxido (DHF)
HF
Eliminación de óxido (BOE/BHF)
HF/NH4F
Grabado de Si₃N₄
H3PO4
Grabado isotrópico de silicio
HF/HNO3
Grabado anisotrópico de silicio (MEMS)
KOH/Si
TMAH/Si
Desarrollo de fotolito
TMAH
Ácido nítrico / Ácido acético
HNO3/CH3COOH
HF / HCl
HF/HCl
Historias de éxito y referencias:
Puede obtener estudios de caso detallados y referencias de clientes de nuestro equipo de ventas. Contáctenos para ejemplos de aplicaciones específicas de su industria.
Las principales ventajas de un vistazo
Calidad constante
La monitorización en tiempo real previene desviaciones y asegura una calidad constante del producto.
Ahorro de costos
Menor consumo de productos químicos y costos operativos reducidos gracias a procesos optimizados.
Máxima eficiencia
Los datos en tiempo real permiten decisiones más rápidas y procesos optimizados.
Sin mantenimiento
Los sensores son resistentes a los productos químicos y no requieren consumibles.
Preguntas frecuentes
SensoTech GmbH es una empresa líder en el campo de la tecnología de medición de procesos con sede en Barleben, cerca de Magdeburgo, Alemania. Desarrollamos y producimos soluciones innovadoras para monitorear y optimizar procesos industriales. Nuestra especialización radica en la medición precisa de concentraciones, densidades y otros parámetros en líquidos, en tiempo real y directamente durante el proceso.
A diferencia de los métodos ópticos, que son influenciados por el color o la turbidez, los métodos basados en conductividad, que son sensibles a la conductividad eléctrica, o los métodos basados en densidad, que pueden ser perturbados por la temperatura o las burbujas de gas, nuestro Procedimiento de ultrasonido independiente de estas influencias.
Los La tecnología de medición LiquiSonic® tampoco contiene partes móviles ni componentes que puedan desgastarse o consumirse. Por lo tanto, después de la instalación, el sistema de medición es completamente libre de mantenimiento y libre de deriva.
Los sensores ofrecen transmisión de señal digital hasta 1000 m y permiten medición continua en línea sin toma de muestras.
Nuestro sistema utiliza la medición del tiempo de tránsito del ultrasonido para determinar la velocidad del sonido en el líquido. Esta velocidad del sonido se correlaciona directamente con la concentración química y permite precisiones de medición de ±0,02 wt%. La compensación de temperatura integrada garantiza resultados estables incluso con condiciones de proceso variables.
El sistema proporciona resultados en tiempo real. Con una frecuencia de 4 MHz se realizan 32 mediciones por segundo. Basado en estas mediciones, usted obtiene un valor de medición actual cada segundo. Este tiempo de respuesta rápido permite un control de procesos efectivo y una detección temprana de desviaciones.
Dado que la velocidad del sonido, como todas las demás magnitudes físicas, está influenciada por la temperatura, todos nuestros sensores LiquiSonic® están equipados con sensores de temperatura de alta precisión. Así, la influencia de la temperatura en la medición puede ser compensada directamente . Por lo tanto, no es necesario incorporar sensores de temperatura adicionales.
Nuestros sensores funcionan de manera confiable en un rango de temperatura de -40 °C a 200 °C y presiones de hasta 500 barA través de varias opciones de materiales como acero inoxidable, Hastelloy o recubrimientos PFA, también se pueden medir medios agresivos. La protección contra explosiones para las zonas 1 y 2 también está disponible.
Sí, nuestros sensores están diseñados para condiciones extremas. Además del rango ampliado de temperatura y presión, ofrecemos adaptaciones personalizadas como longitudes de sensor de hasta 3000 mm, aleaciones especiales para medios corrosivos y varios tipos de protección, por ejemplo, protección contra explosiones opcional. Cada sensor es individualmente según sus requisitos configurado.
Sí, mediante la combinación de la medición de la velocidad del sonido con cantidades físicas adicionales (por ejemplo, conductividad) se pueden varios componentes determinar al mismo tiempo. De esta manera, también se pueden monitorear otros aditivos.
El sistema ofrece varias interfaces digitales (por ejemplo, Profibus, Ethernet / IP, Foundation Fieldbus) así como salidas analógicas de 4-20 mA. La integración se realiza sin problemas a través de protocolos estandarizados.
El sistema es completamente libre de mantenimientoNo hay piezas mecánicas de desgaste, juntas o ventanas ópticas que puedan ser atacadas. No se requiere calibración regular: los sensores permanecen estables durante años.
Aplicaciones relacionadas
Baños de textura y grabado
En los baños de grabado, las capas de material se eliminan selectivamente para crear estructuras de superficie deseadas.
Limpieza de placas de circuito impreso
La limpieza elimina residuos orgánicos, partículas y óxidos para que las pistas de los circuitos se puedan procesar de manera confiable.
Monitoreo de baños de decapado
Los baños de decapado eliminan óxidos o contaminantes de las superficies metálicas y deben mantenerse constantemente en el rango de concentración correcto.
Monitoreo de lejía verde
La lejía verde es un subproducto altamente alcalino en la fabricación de papel, cuya concentración debe ser monitoreada para procesos posteriores estables.
Medición de concentración de ácido
La determinación precisa de concentraciones en productos químicos agresivos es crucial para permitir que las reacciones se desarrollen de manera controlada y segura.
Lavador de gases
En los lavadores de gases o plantas de neutralización, los contaminantes se eliminan del aire de escape o de los líquidos, lo que requiere un control preciso de los productos químicos utilizados.