Medición de concentración
en la
industria de semiconductores
en la
industria de semiconductores
Monitoreo de concentración para procesos de semiconductores: para una producción eficiente, procesos estables y la más alta calidad.
Hasta ±0,02 % en peso
Medición en tiempo real
Sin mantenimiento
Kostensparend
Desafíos en la medición de concentración en procesos de semiconductores
En la fabricación de semiconductores, la relación exacta de concentraciones químicas es crucial, pero los análisis de laboratorio clásicos a menudo entregan resultados demasiado tarde. Con LiquiSonic® SensoTech permite un monitoreo confiable en tiempo real, que se integra fácilmente en los procesos existentes. El sistema proporciona datos de medición precisos sin mantenimiento, aumentando así la seguridad del proceso y la eficiencia.
Desafíos
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Concentraciones químicas fuera del rango objetivo
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Análisis de laboratorio que consumen mucho tiempo
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No hay información inmediata y confiable sobre la composición química
Solución: LiquiSonic®
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Monitoreo claro con LiquiSonic®
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Visualización inmediata de la concentración química
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Integración sin problemas en sistemas existentes
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Sin mantenimiento y sin consumibles
Sus ventajas
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Resultados de medición rastreables y confiables
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Resultados de medición en tiempo real
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Sensores completamente libres de mantenimiento y materiales resistentes a químicos
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Fácil integración en sistemas de cualquier tamaño y configuración
Nuestra solución: El LiquiSonic® Sistema de medición
Monitorear la concentración en tiempo real
LiquiSonic® combina tecnología ultrasónica moderna con medición compensada por temperatura para proporcionar resultados precisos en mezclas químicas críticas en la fabricación de semiconductores. El monitoreo en tiempo real asegura una calidad de producto estable, reduce desviaciones y proporciona datos para optimizaciones de procesos. Esto reduce los costos operativos y el consumo de químicos, mientras aumenta la seguridad y eficiencia del proceso.
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Asegurar la calidad: El monitoreo en tiempo real garantiza resultados precisos sin desviaciones.
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Reducir costos: Procesos optimizados para máxima confiabilidad y menor consumo.
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Aumentar la eficiencia: Mayor calidad del producto en costos operativos reducidos.
Detalles técnicos y especificaciones
Principio de medición ultrasónica
La velocidad del sonido en los líquidos está directamente relacionada con la concentración de sustancias disueltas. Las mediciones de tiempo de alta precisión permiten una determinación exacta de la concentración.
Integración de conductividad
En sistemas de tres componentes, la conductividad se utiliza como un segundo parámetro físico para determinar ambas concentraciones de manera inequívoca.
Compensación de temperatura
Dos sensores PT1000 integrados en la celda de medición aseguran una compensación automática de temperatura y, por lo tanto, valores de medición precisos en todas las condiciones. La captura directa de la temperatura del proceso corrige la velocidad del sonido en tiempo real, mejorando la estabilidad y precisión incluso en fluctuaciones.
Beneficio económico
La medición de concentración en tiempo real aumenta calidad, eficiencia y fiabilidad, mientras que al mismo tiempo los costos y el consumo de recursos disminuyen:
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Costos operativos reducidos debido a un menor consumo de productos químicos y menos análisis de laboratorio
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Menos desechos y retrabajos, ya que las desviaciones pueden ser detectadas y corregidas inmediatamente
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Calidad de producto estable garantiza la competitividad y reduce las reclamaciones
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Procesos más eficientes mediante datos en tiempo real en lugar de mediciones de laboratorio con retraso
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Mayor disponibilidad de la planta mediante sensores sin mantenimiento y sin materiales de consumo
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Optimización de procesos mediante datos precisos conduce a una mejora continua y un mejor uso de los recursos
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Rápido retorno de la inversión gracias a ahorros en costos de energía y operación
Especificaciones técnicas
Precisión de medición | Hasta ±0,02 % en peso |
Rango de temperatura | 5 °C a 60 °C |
Rango de presión | Hasta 4 bar |
Material y recubrimiento | PFA |
Transmisión digital | Hasta 1.000 m (más a pedido) |
Interfaces | 4-20 mA, Profibus, Ethernet, Modbus, Fieldbus, ... |
Grado de protección | IP65 |
Calibración | Calibración de fábrica única |
Mantenimiento | Completamente libre de mantenimiento |
Ejemplos de aplicación
Típico pasos del proceso químico y los que utilizamos para ello Soluciones de proceso para procesos de limpieza y grabado así como procesos especiales de grabado y desarrollo:
SC-1 (APM)
NH4OH/H2O2
SC-2 (HPM)
HCI/H2O2
SPM (Piranha)
H2SO4/H2O2
Eliminación de óxido (DHF)
HF
Eliminación de óxido (BOE/BHF)
HF/NH4F
Grabado de Si₃N₄
H3Nalga4
Grabado isotrópico de silicio
HF/ENT3
Grabado anisotrópico de silicio (MEMS)
Koh/si
TMAH/SI
Desarrollo de fotolito
Tmah
Ácido nítrico / Ácido acético
Enterarse3/CH3Cooh
HF / HCL
HF/HCL
Historias de éxito y referencias:
Puede obtener estudios de caso detallados y referencias de clientes de nuestro equipo de ventas. Contáctenos para ejemplos de aplicaciones específicas de su industria.
Las principales ventajas de un vistazo
Calidad constante
La supervisión en tiempo real previene desviaciones y asegura una calidad constante del producto.
Ahorro de costos
Menor consumo de productos químicos y costos operativos reducidos gracias a procesos optimizados.
Máxima eficiencia
Los datos en tiempo real permiten decisiones más rápidas y procesos optimizados.
Sin mantenimiento
Los sensores son resistentes a los productos químicos y no requieren materiales de consumo.
Preguntas frecuentes
SensoTech GmbH es una empresa líder en el campo de la tecnología de medición de procesos con sede en Barleben, cerca de Magdeburgo, Alemania. Desarrollamos y producimos soluciones innovadoras para la supervisión y optimización de procesos industriales. Nuestra especialización radica en la medición precisa de concentraciones, densidades y otros parámetros en líquidos, en tiempo real y directamente durante el proceso.
A diferencia de los métodos ópticos, que pueden verse afectados por el color o la turbidez, los métodos basados en conductividad, que son sensibles a la conductividad eléctrica, o los métodos basados en densidad, que pueden verse perturbados por la temperatura o las burbujas de gas, el nuestro método ultrasónico independiente de estas influencias.
La tecnología de medición LiquiSonic® tampoco contiene partes móviles ni componentes que puedan desgastarse o consumirse. Por lo tanto, después de la instalación, el sistema de medición es completamente libre de mantenimiento y sin deriva.
Los sensores ofrecen transmisión de señal digital hasta 1000 m y permiten medición continua en línea sin toma de muestras.
Nuestro sistema utiliza la medición del tiempo de tránsito ultrasónico para determinar la velocidad del sonido en el líquido. Esta velocidad del sonido se correlaciona directamente con la concentración química y permite precisiones de medición de hasta ±0,02 wt%. La compensación de temperatura integrada garantiza resultados estables incluso en condiciones de proceso variables.
El sistema proporciona resultados en tiempo real. Se realizan más de 30 mediciones por segundo. Basado en estas mediciones, usted recibe un valor de medición actual cada segundo. Este tiempo de respuesta rápido permite un control de proceso efectivo y una detección temprana de desviaciones.
Dado que la velocidad del sonido, como todas las demás magnitudes físicas, se ve afectada por la temperatura, todos nuestros sensores LiquiSonic® están equipados con sensores de temperatura de alta precisión. Así, la influencia de la temperatura en la medición puede ser compensada directamente . Por lo tanto, no es necesario incorporar sensores de temperatura adicionales.
Nuestros sensores semiconductores funcionan de manera confiable en un Temperature range from 5 °C to 60 °C and pressures up to 4 bar.
Yes, by combining sound velocity measurement with additional physical quantities (e.g., conductivity), multiple components can be determined simultaneously. This also allows monitoring of additional additives.
The system offers various digital interfaces (e.g., Profibus, Ethernet/IP, Foundation Fieldbus) as well as analog 4-20 mA outputs. The integration is seamless via standardized protocols.
The system is completamente libre de mantenimiento. There are no mechanical wear parts, seals, or optical windows that could be compromised. Regular calibration is not required - sensors remain stable for years.
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